你了解低溫探針臺嗎？估計了解的人很少，因為它主要用于科研我們平時很少用到。但是，一些關于它的基礎知識還是需要了解一下的。下面小編就給大家介紹一下，希望能對大家有所幫助。低溫探針臺是用來無損檢測樣品的電性能，用于半導體、微電子、固體物理、超導等研究冷域，是研究材料的電阻率、磁電阻等各種物理特性的有力工具。穩定、可靠、方便的改變在很低的真空和溫度下對器件和電路的探測。內置振動隔離，智能熱管理，使用低排放的材料，先進的密封性，使該系統非常適合一系列需要更好的真空水平的應用，如石墨烯的研究，分子電子學等的，系統采用閉式循環制冷機和專有的熱管理，可以經濟快速的操作。內置的隔振小化振動符合行業標準。超穩定的微操縱滿足設備探針的準確和可重復的接觸。低溫探針臺集成系統有以下特點：1、變溫范圍10k-400k，采用閉循環制冷機制冷，不需要消耗制冷劑。2、包含8400軟件，可以做簡單的系統操作、數據采集和分析。3、在真空探針臺下進行完整的霍爾效應測試的系統。2、支持一系列直流條件下霍爾效應測試。5、支持多載流子分析數據導出。給大家普及一下探針臺是干什么用的。浙江直流探針臺

手動探針臺基本配置（包含探針臺主體、顯微鏡、針座、探針等），探針臺主體-可測試晶圓尺寸：4英寸weili-樣品臺行程：100mm*100mm-移動分辨率：~：360度-低漏電底柵接口，標準Triax輸出-可選400度高溫樣品臺顯微鏡-三目連續變倍體鏡，LED環形照明-光學變倍總倍率45倍，物鏡，總放大倍率約700倍針座-磁性吸附底座，XYZ移動范圍：12mm-移動分辨率2um-標配4個，可裝6個-漏電設計，漏電流探針低于100fA-Triax標準接口輸出，Keithley原裝低噪聲Triax線纜-低漏設計電探針，針尖探針探針直徑標配10um，1um尺寸。 PIV測試探針臺全自動探針臺相比普通探針臺添加了晶圓材料處理搬運單元（MHU）和模式識別（自動對準）。

到手動探針臺，它的主要用途是為半導體芯片的電參數測試提供一個測試平臺，配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數檢測。它是陳本比較高的儀器，不光是要在使用時好好維護，不用時也需要好好保存。怎樣保存呢？1、儀器的運輸：儀器運輸時，請先拔掉電源線插頭。儀器運輸應使用專門的包裝箱，避免碰到探針臺的任何運動部件。2、避免碰撞：在安裝，操作CS探針臺時應避免碰撞，機體放置需平坦，不可傾斜或橫倒，避免機器發生故障或異常異音。3、停電或長期不用、外出旅行時，請將電源線插頭拔掉以維護手動探針臺壽命。4、手動探針臺應放在穩定可靠的臺面上，比如具有防震裝置的工作臺上，避免在高溫，潮濕激烈震動，陽光直接照射和灰塵較多的環境下使用。5、使用完后需要注意保持清潔，盡量把灰塵吹干盡，以免灰塵將機械部件，光學部件，電學接觸面污染，導致儀器精度降低。探針臺機體清潔時，避免直接潑水清理，以無塵布輕輕擦拭并吹干即可。不可用硬物接觸機器，以免發生故障或危險。探針臺光學部件清潔時，可用鏡頭紙蘸無水酒精從中間向外輕輕的擦拭。無水酒精是易燃物，使用是要注意。

很多人都不了解探針臺，因為很少接觸到。但是，它在的作用是非常大的，它的使用步驟我們還是需要了解的。下面，小編就帶大家了解一下它的使用步驟。希望能對大家有所幫助。1、將樣品載入真空卡盤，開啟真空閥門控制開關，使樣品平安且牢固地吸附在卡盤上。2、運用卡盤X軸、Y軸控制旋鈕挪動卡盤平臺，在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。3、顯微鏡切換為高倍率物鏡，在大倍率下找到待測點，再微調顯微鏡聚焦和樣品x-y，將影像調整明晰,帶測點在顯微鏡視場中間。4、待測點地位確認好后,再調整探針座的地位,將探針臺探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點的地位旁邊,再運用探針座X-Y-Z三個微調旋鈕,漸漸的將探針移至被測點,此時舉措要小心且遲緩，以防舉措過大誤傷芯片，當探針針尖懸空于被測點上空時，可先用Y軸旋鈕將探針行進少許，再運用Z軸旋鈕停止下針，剛開始則運用X軸旋鈕左右滑動，察看能否有少許劃痕，證明能否曾經接觸。5、確保針尖和被測點接觸良好后，則可以經過銜接的測試設備開端測試。探針臺應用需求持續攀升，行業發展前景較好。

無論是芯片設計的可靠性驗證測試，或是晶圓量產中的WAT測試和CP測試，探針臺在其中起著至關重要的作用。探針臺設備主要技術壁壘在系統的精細定位、微米級運動以及高準確率通信等關鍵參數。目前全球主要探針臺市場仍主要被美、日、韓等國所占據。近年來在國家對半導體產業的大力扶持下，國產化技術的發展進程不斷加快，中國半導體設備企業將加速迎來國產替代的機會。在國內半導體設備市場中，探針臺是我國目前能實現高國產化率的設備。探針臺采用高剛性顯微鏡龍門設計。武漢SiC探針臺

高低溫真空探針測試系統。浙江直流探針臺

手動探針臺的使用方式：1.將樣品載入真空卡盤，開啟真空閥門控制開關，使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。2.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺，在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。3.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺將樣品待測試點移動至顯微鏡下。4.顯微鏡切換為高倍率物鏡，在大倍率下找到待測點，再微調顯微鏡聚焦和樣品x-y，將影像調節清晰,帶測點在顯微鏡視場中心。5.待測點位置確認好后,再調節探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個微調旋鈕,慢慢的將探針移至被測點,此時動作要小心且緩慢，以防動作過大誤傷芯片，當探針針尖懸空于被測點上空時，可先用Y軸旋鈕將探針退后少許，再使用Z軸旋鈕進行下針，***則使用X軸旋鈕左右滑動，觀察是否有少許劃痕，證明是否已經接觸。6.確保針尖和被測點接觸良好后，則可以通過連接的測試設備開始測試。浙江直流探針臺

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