聚焦離子束（FIB）顯微鏡

隨著納米科技的發展，納米尺度制造業發展迅速，而納米加工就是納米制造業的重要部分，納米加工的代表性方法就是聚焦離子束。近年來發展起來的聚焦離子束（FIB）技術利用聚焦離子束對材料進行納米加工，配合掃描電鏡（SEM）等高倍數電子顯微鏡實時觀察，成為了納米級分析、制造的主要方法。目前已廣泛應用于半導體集成電路修改、切割和故障分析等。

技術特征

1、比較高束流可以達到100nA,且加工性能優異。可以實現快速切割和納米加工。

2、最高分辨率小于3nm，可以實現精細加工，并顯示優異的FIB成像質量。

3、電壓范圍在500V-30KV可調，可以實現精細拋光，降低樣品表面非晶層厚度。

4、離子源比較穩定，使用壽命長。行業內**長離子源壽命1500小時（3000uAh），72小時束流變化在5%以內。5、與SEM鏡筒完美配合，可以實現FIB加工過程中可以利用SEM進行實時觀察。 顯微鏡常見故障的排除；體式顯微鏡調試

共聚焦顯微鏡是由顯微鏡光學系統、激光光源、掃描器及檢測及處理系統4部分組成，采用相干性較好的激光作為光源，在傳統光學顯微鏡基礎上采用共軛聚焦原理和裝置，并利用計算機對圖象進行處理的一套觀察、分析和輸出系統。激光掃描束通過光柵針（zhen）孔形成點光源，經過分光鏡反射至物鏡，聚焦在在標本上并進行掃描。樣品受到激發后，發出的熒光回到分光鏡聚集到探測針（zhen）孔，之后經過光電倍增管轉化為電信號傳輸到計算機上顯示為清晰的焦平面圖像。激發光通過光柵針（zhen）孔聚焦在樣品上，熒光通過物鏡聚焦在針（zhen）孔上，此過程中形成兩次聚焦，故被稱為共聚焦顯微鏡。

主要應用于：生物學領域、高分子化學領域、表面粗糙度領域。 山東顯微鏡升級掃描隧道顯微鏡(STM)和原子力顯微鏡(AFM)是比較常用的兩類掃描探針顯微鏡。

顯微鏡的觀察方法

明視場觀察：垂直照射測量物表面，適用于金屬、印刷電路板、淺孔的表面觀察。

暗視場觀察：通過對從工件發出的散射光進行觀察，可完成在明視場下觀察不到的劃痕、塵埃、凹凸，以及勝任低反射工件的觀察。

偏光觀察：觀察具有偏光特性的物質，適用于半導體材料、液晶、結晶、金屬組織、礦物等表面觀察。

微分干涉（DIC）觀察：利用Nomarski棱鏡將光線分為兩束，形成明暗和對比度變化，可進行立體觀察。適用于觀察硅片的結晶缺陷、磁頭研磨面的損傷檢查、涂裝面、金屬組織、礦石表面等。

金相學主要指借助光學(金相)顯微鏡和體視顯微鏡等對材料顯微組織、低倍組織和斷口組織等進行分析研究和表征的材料學科分支，既包含材料顯微組織的成像及其定性、定量表征，亦包含必要的樣品制備、準備和取樣方法。其主要反映和表征構成材料的相和組織組成物、晶粒(亦包括可能存在的亞晶)、非金屬夾雜物乃至某些晶體缺陷(例如位錯)的數量、形貌、大小、分布、取向、空間排布狀態等。其主要由光學系統、照明系統和機械系統三部分組成，其中由光源、反光鏡、物鏡組、目鏡和多組聚光鏡組組成光學系統;底座上低壓燈泡(為提高光源可靠性現多用冷光源即LED燈)，反光鏡、孔徑光欄、視場光欄和聚光鏡組成照明系統;試樣臺、物鏡轉換器、接目鏡、粗調和微調手輪、視場光欄和孔徑光欄構成機械系統。新型的金相顯微鏡還具備瞬時高清抓拍和圖像處理功能，金相顯微鏡跟一般顯微鏡成像的原理是大致相同。共聚焦顯微鏡為什么能比熒光顯微鏡拍的效果更好呢？

顯微鏡使用注意事項：

?顯微鏡樣本一定要保持干凈，如有蓋片樣本，一定要干凈干燥，以免樣本上的試劑污染物鏡。

?不要用手直接觸摸光學部件的表面（如物鏡，熒光濾塊，目鏡等）。

?手動顯微鏡換物鏡時，不要抓著物鏡轉，要轉動物鏡轉盤。?熒光光源金屬鹵化物燈使用時注意開關間隔少30分鐘。

?樣本用油鏡觀察后，如還需用空氣鏡觀察，要把樣本上的油擦干凈再觀察，以免樣本上的油污染空氣鏡。?油鏡觀察時，請使用與顯微鏡配套的專業鏡油，不要使用其他介質（香柏油等），使用完顯微鏡后，及時擦掉物鏡上的鏡油，比較好將其他物鏡也清潔一遍。清潔液以無水乙醇為主。

?調焦時，為避免鏡頭撞到樣本，先將物鏡調到離樣本近端，然后在鏡下向離物鏡遠端調焦到樣本清晰。?顯微鏡使用過程中，鏡體、燈箱及電源等位置應無遮擋或覆蓋，以免影響散熱從而損耗顯微鏡壽命。

?顯微鏡使用完后，等燈箱部分冷卻后，再蓋上防塵罩。

?顯微鏡包含很多光學部件，避免顯微鏡碰撞，以保護光學系統。

?顯微鏡屬精密儀器，如需搬動，拆修，請聯系蔡司專業人員。 視頻顯微鏡和金像顯微鏡。顯微鏡規格尺寸

顯微鏡的幾種觀察方法；體式顯微鏡調試

共聚焦顯微鏡掃描時用的是激光光源，激光的穿透力強，可對樣本進行一定深度的光學斷層，從而獲得高標準的連續光學切片，由此做Z軸光學切片后重組出3D效果就能立體地展示樣品里熒光的空間分布。配有高精度電動載物臺和圖像拼接軟件，能完美解決放大倍數和整體成像這一問題。可做時間序列拍攝，實時監測熒光變化，可以把熒光變化的過程以動態的形式展示出來。

共聚焦的應用很廣，像離體細胞、組織切片、物理材料、模式生物等熒光樣本都可以用共聚焦進行拍攝，除了常規的熒光圖片拍攝進行定性定位外，還可以進行熒光的半定量分析、共定位分析、熒光漂白恢復（FRAP）、熒光共振能量轉換(FRET)等，但也要注意一下，常規405-647nm之間的激發波長都可以支持。 體式顯微鏡調試

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