探針臺操作步驟:1.將測試產品放入探針臺的臺盤上;2.打開顯微鏡光源燈(LED或光源機);3.打開背光面板光源開關;4.調整Zaxis高度對焦,使能清楚看到樣品圖象為OK;5.調整目鏡和Zoom倍率,使影像清晰;二.點針操作步驟:1.通過移動鏡頭組部分找到Sample要下針的地方;2.調整針座位置,將三軸歸零;3.調整針座仰角機構,使針尖位于顯微鏡射出光斑**上方1-2mm處;4.利用低倍鏡頭找到針尖,將針尖移至視野**位置并通過調整焦距使針尖達到*清晰;6.切換至高倍鏡頭,找到針尖;7.利用針座的X-Y-Z軸微調下針;8.量測完畢后,逆時針旋轉鈕針座的仰角機構的旋鈕取出快速將針往上抬起,針尖即可移開針Sample;移動座平臺或者顯微鏡相關移動機構時,請注意小心避免與鏡頭或被測品碰撞9.移開針座,取出背光面板光源和光源燈等電源.探針臺規范操作步驟。上海射頻探針臺
高低溫探針臺優勢1.滿足各種溫度的需求:可以滿足非常高的溫度或非常低的溫度的需求,因為晶圓在低溫大氣環境測試時,空氣中的水汽會凝結在晶圓上,會導致漏電過大而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內的水汽在測試前用泵抽走,并且保持整個測試過程泵的運轉。當晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時,氧化現象會越來越明顯,并且溫度越高氧化越嚴重。過度氧化會導致晶圓電性誤差,物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內的氧氣在測試前用泵抽走,并且保持整個測試過程泵的運轉。晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換,因為熱脹冷縮現象,定位好的探針與器件間會有相對位移,這時需要針座的重新定位,我們針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動化針座來調整探針的位置。2、體積小,穩定性高:與傳統探針臺相比,高低溫真空探針臺的穩定性更高,采用先進的技術工藝,讓探針臺在工作過程中流暢性更高,平穩性更高,從而保證每次實驗數據的穩定性,這樣實驗得出的結果就會更加準確。3、成本更低,可兼容直流跟射頻測試的運用:與傳統探針臺相比,這種探針臺采用先進的合成材料,成本方面比傳統探針臺更低,但是功能性都更加強大。安徽 CV測試探針臺探針臺搭配源表或者半導體參數分析儀進行電參數測試。
N系列探針臺是一款適用于4-12英寸晶圓的精密探針臺。該系列探針臺采用高剛性顯微鏡龍門設計,結構穩定。顯微鏡平移臺可進行X-Y-Z方向精密位移調節,顯微鏡放大倍率高,操作方便。同時支持多種功能的升級,非常適合晶圓級的測試應用。該產品主要應用于集成電路/芯片/MEMS器件/管芯晶圓/LED/LCD/太陽能電池等行業的測試及研究領域。在科研單位和半導體工廠都得到了運用。產品優勢:顯微鏡具備高剛性龍門支架且搭配氣動升降,保證高質量光學成像質量。卡盤同時具備快速和微調升降,便于樣品和探針快速分離,也可以加載探針卡。可升級性強,比較高可升級220G高頻,可集成光電流掃描成像或拉曼-瞬態熒光壽命成像系統等。
可提供單維磁場,多維磁場探針臺,磁場強度,精度和間隙均可客制化l高剛性結構,所有零配件均采用無磁化材料可加載高低溫,可同時進行DC和RF測試,可配合市場主流擴頻模塊進行超高頻測試;大行程高精度探針座,X-Y-Z-Theta四軸控制l顯微鏡可以在2英寸*2英寸*2英寸范圍內移動,擴大了顯微鏡視場;兼容直流與高頻信號;可以定制,可升級性強l比較大可以測試12英寸樣品,探針臺chuck具備升降功能,便于樣品和探針的快速分離。可配合等離子發生器使用,可以給樣品提供超高溫和等離子氣體。探針臺基本配置包含探針臺主體、顯微鏡、針座、探針等。
探針臺是半導體行業重要的檢測裝備之一,其廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量,旨在確保質量及可靠性,并縮減研發時間和器件制造工藝的成本。半導體測試可以按生產流程可以分為三類:驗證測試、晶圓測試測試、封裝檢測。探針臺主要用于晶圓制造環節的晶圓檢測、芯片研發和故障分析等應用。除探針臺外,晶圓檢測環節還需要使用測試儀/機,測試儀/機用于檢測芯片功能和性能,探針臺實現被測芯片與測試機的連接,通過探針臺和測試機的配合使用,可以對晶圓上的裸芯片進行功能和電參數測試或射頻測試,可以對芯片的良品、不良品的進行篩選。各鐘規格國產射頻探針。TFT探針臺技術改造
低溫探針臺集成系統。上海射頻探針臺
H系列探針臺是一款配置綜合型手動測試探針臺,該系列探針臺設備配置豐富,基本可以滿足一般實驗室的全部測試要求。其樣品臺可以360度快速移動,便于快速定位樣品位置,提高測試效率。并且具備三段式針座平臺,在不失焦的情況下可以使樣品和探針做到快速分離。此設備一般適用于大型實驗室或者半導體工廠。產品優勢:卡盤可360度快速移動,便于快速定位樣品位置,提高測試效率大手柄微分頭驅動,省時,省力,省心三段式可升降探針座平臺,在不失焦的情況下可以使樣品和探針做到快速分離上海射頻探針臺
上海波銘科學儀器有限公司一直專注于上海波銘科學儀器有限公司是一家實力的光學儀器生產廠家,同時也是愛特蒙特正式代理商,主要提供光學儀器如光柵光譜儀,熒光光譜儀,膜厚測量儀,探測器響應分析儀等科研光學儀器.并且提供光學機械,電子測量解決方案,制造工藝精良,質量可靠,性能穩定,報價合理,售后無憂,值得信賴.,是一家儀器儀表的企業,擁有自己**的技術體系。公司目前擁有較多的高技術人才,以不斷增強企業重點競爭力,加快企業技術創新,實現穩健生產經營。公司業務范圍主要包括:拉曼光譜儀,電動位移臺,激光器,光電探測器等。公司奉行顧客至上、質量為本的經營宗旨,深受客戶好評。一直以來公司堅持以客戶為中心、拉曼光譜儀,電動位移臺,激光器,光電探測器市場為導向,重信譽,保質量,想客戶之所想,急用戶之所急,全力以赴滿足客戶的一切需要。