IGBT(絕緣柵雙極型晶體管），是由BJT(雙極結(jié)型晶體三極管)和MOS(絕緣柵型場(chǎng)效應(yīng)管)組成的復(fù)合全控型-電壓驅(qū)動(dòng)式-功率半導(dǎo)體器件,其具有自關(guān)斷的特征。簡(jiǎn)單講，是一個(gè)非通即斷的開(kāi)關(guān)，IGBT沒(méi)有放大電壓的功能，導(dǎo)通時(shí)可以看做導(dǎo)線，斷開(kāi)時(shí)當(dāng)做開(kāi)路。IGBT融合了BJT和MOSFET的兩種器件的優(yōu)點(diǎn)，如驅(qū)動(dòng)功率小和飽和壓降低等。IGBT模塊是由IGBT與FWD（續(xù)流二極管芯片）通過(guò)特定的電路橋接封裝而成的模塊化半導(dǎo)體產(chǎn)品，具有節(jié)能、安裝維修方便、散熱穩(wěn)定等特點(diǎn)。IGBT是能源轉(zhuǎn)換與傳輸?shù)钠骷请娏﹄娮友b置的“CPU”。采用IGBT進(jìn)行功率變換，能夠提高用電效率和質(zhì)量，具有高效節(jié)能和綠色環(huán)保的特點(diǎn)，是解決能源短缺問(wèn)題和降低碳排放的關(guān)鍵支撐技術(shù)。IGBT是以GTR為主導(dǎo)元件，MOSFET為驅(qū)動(dòng)元件的達(dá)林頓結(jié)構(gòu)的復(fù)合器件。其外部有三個(gè)電極，分別為G-柵極，C-集電極，E-發(fā)射極。在IGBT使用過(guò)程中，可以通過(guò)控制其集-射極電壓UCE和柵-射極電壓UGE的大小，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)IGBT導(dǎo)通/關(guān)斷/阻斷狀態(tài)的控制。1）當(dāng)IGBT柵-射極加上加0或負(fù)電壓時(shí)，MOSFET內(nèi)溝道消失，IGBT呈關(guān)斷狀態(tài)。2）當(dāng)集-射極電壓UCE＜0時(shí)，J3的PN結(jié)處于反偏，IGBT呈反向阻斷狀態(tài)。3）當(dāng)集-射極電壓UCE＞0時(shí)。比較高柵源電壓受比較大漏極電流限制，其比較好值一般取為15V左右。河北Mitsubishi三菱IGBT模塊工廠直銷

    增加電力網(wǎng)的穩(wěn)定，然后由逆變器將直流高壓逆變?yōu)?0HZ三相交流。直流——交流中頻加熱和交流電動(dòng)機(jī)的變頻調(diào)速、串激調(diào)速等變頻，交流——頻率可變交流四、斬波調(diào)壓（脈沖調(diào)壓）斬波調(diào)壓是直流——可變直流之間的變換，用在城市電車、電氣機(jī)車、電瓶搬運(yùn)車、鏟車（叉車）、電氣汽車等，高頻電源用于電火花加工。五、無(wú)觸點(diǎn)功率靜態(tài)開(kāi)關(guān)（固態(tài)開(kāi)關(guān)）作為功率開(kāi)關(guān)元件，代替接觸器、繼電器用于開(kāi)關(guān)頻率很高的場(chǎng)合晶閘管導(dǎo)通條件：晶閘管加上正向陽(yáng)極電壓后，門(mén)極加上適當(dāng)正向門(mén)極電壓，使晶閘管導(dǎo)通過(guò)程稱為觸發(fā)。晶閘管一旦觸發(fā)導(dǎo)通后，門(mén)極就對(duì)它失去控制作用，通常在門(mén)極上只要加上一個(gè)正向脈沖電壓即可，稱為觸發(fā)電壓。門(mén)極在一定條件下可以觸發(fā)晶閘管導(dǎo)通，但無(wú)法使其關(guān)斷。要使導(dǎo)通的晶閘管恢復(fù)阻斷，可降低陽(yáng)極電壓，或增大負(fù)載電阻，使流過(guò)晶閘管的陽(yáng)極電流減小至維持電流（IH）（當(dāng)門(mén)極斷開(kāi)時(shí)，晶閘管從較大的通態(tài)電流降至剛好能保持晶閘管導(dǎo)通所需的小陽(yáng)極電流叫維持電流），電流會(huì)突然降到零，之后再提高電壓或減小負(fù)載電阻，電流不會(huì)再增大，說(shuō)明晶閘管已恢復(fù)阻斷。根據(jù)晶閘管陽(yáng)極伏安特性，可以總結(jié)出：1．門(mén)極斷開(kāi)時(shí)。河北Mitsubishi三菱IGBT模塊工廠直銷62mm封裝(俗稱“寬條”):IGBT底板的銅極板增加到62mm寬度。

    TC=℃）------通態(tài)平均電流VTM=V-----------通態(tài)峰值電壓VDRM=V-------------斷態(tài)正向重復(fù)峰值電壓IDRM=mA-------------斷態(tài)重復(fù)峰值電流VRRM=V-------------反向重復(fù)峰值電壓IRRM=mA------------反向重復(fù)峰值電流IGT=mA------------門(mén)極觸發(fā)電流VGT=V------------門(mén)極觸發(fā)電壓執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)：QB-02-091．晶閘管關(guān)斷過(guò)電壓（換流過(guò)電壓、空穴積蓄效應(yīng)過(guò)電壓）及保護(hù)晶閘管從導(dǎo)通到阻斷，線路電感（主要是變壓器漏感LB）釋放能量產(chǎn)生過(guò)電壓。由于晶閘管在導(dǎo)通期間，載流子充滿元件內(nèi)部，在關(guān)斷過(guò)程中，管子在反向作用下，正向電流下降到零時(shí)，元件內(nèi)部殘存著載流子。這些載流子在反向電壓作用下瞬時(shí)出現(xiàn)較大的反向電流，使殘存的載流子迅速消失，這時(shí)反向電流減小即diG/dt極大，產(chǎn)生的感應(yīng)電勢(shì)很大，這個(gè)電勢(shì)與電源串聯(lián)，反向加在已恢復(fù)阻斷的元件上，可導(dǎo)致晶閘管反向擊穿。這就是關(guān)斷過(guò)電壓（換相過(guò)電壓）。數(shù)值可達(dá)工作電壓的5~6倍。保護(hù)措施：在晶閘管兩端并接阻容吸收電路。2．交流側(cè)過(guò)電壓及其保護(hù)由于交流側(cè)電路在接通或斷開(kāi)時(shí)出現(xiàn)暫態(tài)過(guò)程，會(huì)產(chǎn)生操作過(guò)電壓。高壓合閘的瞬間，由于初次級(jí)之間存在分布電容，初級(jí)高壓經(jīng)電容耦合到次級(jí)，出現(xiàn)瞬時(shí)過(guò)電壓。

    這樣能降低柵電容，增強(qiáng)器件短路電流的能力，提高器件的抗沖擊能力。3、本發(fā)明一實(shí)施例還設(shè)置了電荷存儲(chǔ)層14，電荷存儲(chǔ)層14結(jié)合第二屏蔽電極結(jié)構(gòu)能更好的防止集電區(qū)9注入的少子進(jìn)入到溝道區(qū)域中，從而能降低降低器件的飽和壓降。本發(fā)明第二實(shí)施例igbt器件：如圖2所示，是本發(fā)明實(shí)施例第二實(shí)施例igbt器件的結(jié)構(gòu)示意圖，本發(fā)明第二實(shí)施例igbt器件包括：本發(fā)明第二實(shí)施例器件和本發(fā)明一實(shí)施例器件的區(qū)別之處為，本發(fā)明第二實(shí)施例器件中，在各所述單元結(jié)構(gòu)中，所述源極接觸孔11和鄰近的一個(gè)所述屏蔽接觸孔合并成一個(gè)接觸孔，鄰近的所述屏蔽接觸孔外側(cè)的所述屏蔽接觸孔11a呈結(jié)構(gòu)。本發(fā)明一實(shí)施例方法：如圖3a至圖3g所示，是本發(fā)明一實(shí)施例方法各步驟中器件的結(jié)構(gòu)示意圖，本發(fā)明一實(shí)施例igbt器件的制造方法包括如下步驟：步驟一、如圖3a所示，提供一半導(dǎo)體襯底，在所述半導(dǎo)體襯底表面形成由一導(dǎo)電類型輕摻雜區(qū)組成的漂移區(qū)1。所述半導(dǎo)體襯底為硅襯底。在所述硅襯底表面形成有硅外延層，所述漂移區(qū)1直接由一導(dǎo)電類型輕摻雜的所述硅外延層組成，所述阱區(qū)2形成于所述漂移區(qū)1表面的所述硅外延層中。步驟二、如圖3a所示，在所述半導(dǎo)體襯底中形成多個(gè)溝槽101。正式商用的IGBT器件的電壓和電流容量還很有限，遠(yuǎn)遠(yuǎn)不能滿足電力電子應(yīng)用技術(shù)發(fā)展的需求。

    B）車載空調(diào)控制系統(tǒng)小功率直流/交流(DC/AC)逆變，使用電流較小的IGBT和FRD；C）充電樁智能充電樁中IGBT模塊被作為開(kāi)關(guān)元件使用；2）智能電網(wǎng)IGBT廣泛應(yīng)用于智能電網(wǎng)的發(fā)電端、輸電端、變電端及用電端：1、從發(fā)電端來(lái)看，風(fēng)力發(fā)電、光伏發(fā)電中的整流器和逆變器都需要使用IGBT模塊。2、從輸電端來(lái)看，特高壓直流輸電中FACTS柔性輸電技術(shù)需要大量使用IGBT等功率器件。3、從變電端來(lái)看，IGBT是電力電子變壓器（PET）的關(guān)鍵器件。4、從用電端來(lái)看，家用白電、微波爐、LED照明驅(qū)動(dòng)等都對(duì)IGBT有大量的需求。3）軌道交通IGBT器件已成為軌道交通車輛牽引變流器和各種輔助變流器的主流電力電子器件。交流傳動(dòng)技術(shù)是現(xiàn)代軌道交通的技術(shù)之一，在交流傳動(dòng)系統(tǒng)中牽引變流器是關(guān)鍵部件，而IGBT又是牽引變流器的器件之一。IGBT國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)規(guī)模2015年國(guó)際IGBT市場(chǎng)規(guī)模約為48億美元，預(yù)計(jì)到2020年市場(chǎng)規(guī)模可以達(dá)到80億美元，年復(fù)合增長(zhǎng)率約10%。2014年國(guó)內(nèi)IGBT銷售額是，約占全球市場(chǎng)的1∕3。預(yù)計(jì)2020年中國(guó)IGBT市場(chǎng)規(guī)模將超200億元，年復(fù)合增長(zhǎng)率約為15%。從公司來(lái)看，國(guó)外研發(fā)IGBT器件的公司主要有英飛凌、ABB、三菱、西門(mén)康、東芝、富士等。中國(guó)功率半導(dǎo)體市場(chǎng)占世界市場(chǎng)的50%以上。普通的交流220V供電，使用600V的IGBT。河北Mitsubishi三菱IGBT模塊工廠直銷

它與GTR的輸出特性相似．也可分為飽和區(qū)1、放大區(qū)2和擊穿特性3部分。河北Mitsubishi三菱IGBT模塊工廠直銷

    所述發(fā)射區(qū)通過(guò)頂部的對(duì)應(yīng)的接觸孔連接到所述金屬源極；令所述發(fā)射區(qū)頂部對(duì)應(yīng)的接觸孔為源極接觸孔11，所述源極接觸孔11還和穿過(guò)所述發(fā)射區(qū)和所述阱區(qū)2接觸。所述一屏蔽多晶硅4a和所述第二屏蔽多晶硅4b也分布通過(guò)對(duì)應(yīng)的接觸孔連接到所述金屬源極。步驟十、如圖1所示，對(duì)所述半導(dǎo)體襯底進(jìn)行背面減薄，進(jìn)行第二導(dǎo)電類型重?fù)诫s注入并進(jìn)行退火在所述漂移區(qū)1的底部表面形成有由第二導(dǎo)電類重?fù)诫s區(qū)組成的集電區(qū)9。更擇為，在背面減薄之后以及形成所述集電區(qū)9之前，還包括進(jìn)行一導(dǎo)電類型重?fù)诫s注入并進(jìn)行退火在所述漂移區(qū)1的底部表面形成有由一導(dǎo)電類重?fù)诫s區(qū)組成的電場(chǎng)中止層8，后續(xù)形成的所述集電區(qū)9位于所述電場(chǎng)中止層8的背面。步驟十一、如圖1所示，在所述集電區(qū)9的底部表面形成由背面金屬層13組成的金屬集電極。通過(guò)形成于所述柵極結(jié)構(gòu)兩側(cè)的具有溝槽101式結(jié)構(gòu)的所述第二屏蔽電極結(jié)構(gòu)降低igbt器件的溝槽101的步進(jìn)，從而降低igbt器件的輸入電容、輸出電容和逆導(dǎo)電容，提高器件的開(kāi)關(guān)速度；通過(guò)將所述一屏蔽多晶硅4a和所述第二屏蔽多晶硅4b和所述金屬源極短接提高器件的短路電流能力；通過(guò)所述電荷存儲(chǔ)層14減少器件的飽和壓降。河北Mitsubishi三菱IGBT模塊工廠直銷