為滿足汽車電子追溯要求，中清航科在切割機集成區塊鏈模塊。每片晶圓生成單獨工藝參數數字指紋（含切割速度、溫度、振動數據），直通客戶MES系統，實現零缺陷溯源。面向下一代功率器件，中清航科開發等離子體輔助切割（PAC）。利用微波激發氧等離子體軟化切割區材料，同步機械分離，切割效率較傳統方案提升5倍，成本降低60%。邊緣失效區（Edge Exclusion Zone）浪費高達3%晶圓面積。中清航科高精度邊緣定位系統通過AI識別有效電路邊界，定制化切除輪廓，使8英寸晶圓可用面積增加2.1%，年省材料成本數百萬。

中清航科兆聲波清洗技術結合納米氣泡噴淋，去除切割道深槽內的微顆粒。流體仿真設計使清洗液均勻覆蓋15:1深寬比結構，殘留物<5ppb，電鏡檢測達標率100%。中清航科推出刀片/激光器租賃服務：通過云平臺監控耗材使用狀態，按實際切割長度計費。客戶CAPEX（資本支出）降低40%，并享受技術升級，實現輕資產運營。中清航科VirtualCut軟件構建切割過程3D物理模型，輸入材料參數即可預測崩邊尺寸、應力分布。虛擬調試功能將新工藝驗證周期從3周壓縮至72小時，加速客戶產品上市。中清航科綠色切割方案：冷卻液循環利用率達95%，激光系統能耗降低30%（對比行業均值）。碳足跡追蹤平臺量化每片晶圓加工排放，助力客戶達成ESG目標，已獲ISO 14064認證。金華碳化硅線晶圓切割測試選擇中清航科切割代工服務，復雜圖形晶圓損耗降低27%。

在碳化硅晶圓切割領域，由于材料硬度高達莫氏 9 級，傳統切割方式面臨效率低下的問題。中清航科創新采用超高壓水射流與激光復合切割技術，利用水射流的冷卻作用抑制激光切割產生的熱影響區，同時借助激光的預熱作用降低材料強度，使碳化硅晶圓的切割效率提升 3 倍，熱影響區控制在 10μm 以內。晶圓切割設備的可靠性是大規模生產的基礎保障。中清航科對中心部件進行嚴格的可靠性測試，其中激光振蕩器經過 10 萬小時連續運行驗證，機械導軌的壽命測試達到 200 萬次往復運動無故障。設備平均無故障時間（MTBF）突破 1000 小時，遠超行業 800 小時的平均水平，為客戶提供穩定可靠的生產保障。

當晶圓切割面臨復雜圖形切割需求時，中清航科的矢量切割技術展現出獨特優勢。該技術可精確識別任意復雜切割路徑，包括圓弧、曲線及異形圖案，通過分段速度調節確保每一段切割的平滑過渡，切割軌跡誤差控制在 2μm 以內。目前已成功應用于光電子芯片的精密切割，為 AR/VR 設備中心器件生產提供有力支持。半導體生產車間的設備協同運作對通信兼容性要求極高，中清航科的晶圓切割設備多方面支持 OPC UA 通信協議，可與主流 MES 系統實現實時數據交互。通過標準化數據接口，將切割進度、設備狀態、質量數據等信息實時上傳至管理平臺，助力客戶實現生產過程的數字化管控與智能決策。切割機預測性維護平臺中清航科上線，關鍵部件壽命預警準確率99%。

中清航科設備搭載AI參數推薦引擎，通過分析晶圓MAP圖自動匹配切割速度、進給量及冷卻流量。機器學習模型基于10萬+案例庫持續優化，將工藝調試時間從48小時縮短至2小時，快速響應客戶多品種、小批量需求。SiC材料硬度高、脆性大，傳統切割良率不足80%。中清航科采用激光誘導劈裂技術（LIPS），通過精確控制激光熱影響區引發材料沿晶向解理，切割速度達200mm/s，崩邊<10μm，滿足新能源汽車功率器件嚴苛標準。中清航科提供從晶圓貼膜、切割到清洗的全流程自動化方案。機械手聯動精度±5μm，兼容SECS/GEM協議實現MES系統對接。模塊化設計支持產能彈性擴展，單線UPH（每小時產能）提升至120片，人力成本降低70%。中清航科切割耗材全球供應鏈，保障客戶生產連續性。溫州芯片晶圓切割廠

晶圓切割大數據平臺中清航科開發，實時分析10萬+工藝參數。紹興碳化硅晶圓切割廠

面向磁傳感器制造，中清航科開發超導磁懸浮切割臺。晶圓在強磁場（0.5T）下懸浮，消除機械接觸應力，切割后磁疇結構畸變率<0.3%，靈敏度波動控制在±0.5%。中清航科電化學回收裝置從切割廢水中提取金/銅/錫等金屬，純度達99.95%。單條產線年回收貴金屬價值超$80萬，回收水符合SEMI F78標準，實現零廢液排放。針對HJT電池脆弱電極層，中清航科采用熱激光控制技術（LCT）。紅外激光精確加熱切割區至200℃，降低材料脆性，電池效率損失<0.1%，碎片率控制在0.2%以內。