為滿足汽車電子追溯要求，中清航科在切割機集成區塊鏈模塊。每片晶圓生成單獨工藝參數數字指紋（含切割速度、溫度、振動數據），直通客戶MES系統，實現零缺陷溯源。面向下一代功率器件，中清航科開發等離子體輔助切割（PAC）。利用微波激發氧等離子體軟化切割區材料，同步機械分離，切割效率較傳統方案提升5倍，成本降低60%。邊緣失效區（Edge Exclusion Zone）浪費高達3%晶圓面積。中清航科高精度邊緣定位系統通過AI識別有效電路邊界，定制化切除輪廓，使8英寸晶圓可用面積增加2.1%，年省材料成本數百萬。

面對全球半導體設備供應鏈的不確定性，中清航科構建了多元化的供應鏈體系。與國內 200 余家質優供應商建立長期合作關系，關鍵部件實現多源供應，同時在各地建立備件中心，儲備充足的易損件與中心部件，確保設備維修與升級時的備件及時供應，縮短設備停機時間。晶圓切割設備的能耗成本在長期運行中占比較大，中清航科通過能效優化設計，使設備的單位能耗降低至 0.5kWh / 片（12 英寸晶圓），較行業平均水平降低 35%。采用智能休眠技術，設備閑置時自動進入低功耗模式，進一步節約能源消耗，為客戶降低長期運營成本。紹興碳化硅晶圓切割代工廠晶圓切割大數據平臺中清航科開發，實時分析10萬+工藝參數。

在晶圓切割的批量一致性控制方面，中清航科采用統計過程控制（SPC）技術。設備實時采集每片晶圓的切割尺寸數據，通過 SPC 軟件進行分析，繪制控制圖，及時發現過程中的異常波動，并自動調整相關參數，使切割尺寸的標準差控制在 1μm 以內，確保批量產品的一致性。針對薄晶圓切割后的搬運難題，中清航科開發了無損搬運系統。采用特制的真空吸盤與輕柔的取放機構，配合視覺引導，實現薄晶圓的平穩搬運，避免搬運過程中的彎曲與破損。該系統可集成到切割設備中，也可作為單獨模塊與其他設備對接，提高薄晶圓的處理能力。

晶圓切割是半導體封裝的中心環節，傳統刀片切割通過金剛石砂輪實現材料分離。中清航科研發的超薄刀片（厚度15-20μm）結合主動冷卻系統，將切割道寬度壓縮至30μm以內，崩邊控制在5μm以下。我們的高剛性主軸技術可適配8/12英寸晶圓，切割速度提升40%，為LED、MEMS器件提供經濟高效的解決方案。針對超薄晶圓（<50μm）易碎裂難題，中清航科激光隱形切割系統采用紅外脈沖激光在晶圓內部形成改性層，通過擴張膜實現無應力分離。該技術消除機械切割導致的微裂紋，良率提升至99.3%，尤其適用于存儲芯片、CIS等器件，助力客戶降低材料損耗成本。中清航科推出晶圓切割應力補償算法，翹曲晶圓良率提升至98.5%。

面對全球半導體產業鏈的區域化布局趨勢，中清航科建立了覆蓋亞洲、歐洲、北美地區的本地化服務網絡。其 7×24 小時在線技術支持團隊，可通過遠程診斷系統快速定位設備故障，配合就近備件倉庫，將平均故障修復時間（MTTR）控制在 4 小時以內，確保客戶生產線的連續穩定運行。綠色制造已成為半導體行業的發展共識，中清航科在晶圓切割設備的設計中融入多項節能技術。其研發的變頻激光電源，能源轉換效率達到 92%，較傳統設備降低 30% 的能耗；同時采用水循環冷卻系統，水資源回收率達 95% 以上，幫助客戶實現環保指標與生產成本的雙重優化。中清航科晶圓切割代工獲ISO 9001認證，月產能達50萬片。上海碳化硅陶瓷晶圓切割劃片廠

中清航科切割道檢測儀實時反饋數據，動態調整切割參數。連云港碳化硅半導體晶圓切割寬度

中清航科ESG解決方案：設備內置能源管理模塊，智能調節激光功率與主軸轉速，單次切割能耗降低42%。碳追蹤平臺每8小時生成減排報告，助力客戶達成碳中和目標，已獲全球25家代工廠采購認證。功率器件背面金層在切割中易翹曲。中清航科開發脈沖電流輔助切割，在刀片-晶圓界面施加微電流（<10mA），瞬時加熱至150℃軟化金層，剝離風險下降90%，剪切強度保持>45MPa。中清航科推出粉塵組分診斷系統：通過LIBS（激光誘導擊穿光譜）在線分析顆粒元素構成，自動推薦冷卻液配方調整方案。幫助客戶減少因金屬污染導致的芯片失效，良率提升1.2%。連云港碳化硅半導體晶圓切割寬度