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杭州加硬DLC鍍黑鈦

來源: 發布時間:2023-06-29

1.類金剛石碳膜(Diamond-likecarbonfilms,簡稱DLC膜)作為新型的硬質薄膜材料具有一系列優異的性能,如高硬度、高耐磨性、高熱導率、高電阻率、良好的光學透明性、化學惰性等,可較為用于機械、電子、光學、熱學、聲學、醫學等領域,具有良好的應用前景。我們開發了等離子體-離子束源增強沉積系統,并同過該系統中的磁過濾真空陰極弧和非平衡磁控濺射來進行DLC膜的開發。該項技術較為用于電子、裝飾、宇航、機械和信息等領域,用于摩擦、光學功能等用途。我國技術正處于發展和完善階段,有巨大市場潛力。DLC膜被稱為非晶碳膜,具有良好的耐磨蝕性、抗摩擦氧化性和附著性,適用于極端磨損情況和高相對速度使用。杭州加硬DLC鍍黑鈦

1.類金剛石(diamond-likecarbon,DLC)涂層具有優異的性能,應用潛力適合.但DLC涂層的較為缺點,即內應力高和熱穩定性差,限制了DLC涂層的推廣應用.本實驗采用等離子增強化學氣相沉積(PECVD)的方法,調控涂層含氮量,調節偏壓大小,以及進行硅氮共摻.利用拉曼光譜,紅外光譜(FTIR),X射線光電子能譜(XPS)和薄膜應力測試儀,微納米力學綜合測量系統等分析測試手段對涂層組織和性能進行表征,探討了DLC涂層沉積態及退火態的組織結構和性能的變化規律.實驗獲得如下結論:(1)對摻氮含氫類金剛石(a-CN:H)涂層而言.隨著N_2流通量增加,涂層含氮量增加,sp~3含量先增加后減小,拐點氮含量為0.12at%.涂層中的N元素以C=N鍵為主,且C=N鍵在490°C以上溫度退火時才發生部分斷裂.存在臨界退火溫度430°C.低于該溫度退火時,與純含氫類金剛石(a-C:H)涂層相比,摻氮涂層具有較低的sp~3→sp~2的結構轉變溫度.但當退火溫度大于430°C時,摻氮涂層的結構轉變速率比a-C:H涂層低.即隨著涂層含氮量增加,低氮摻雜涂層的高溫熱穩定性增加.當摻氮涂層經430°C退火后,可以獲得具有高硬度,高導率,低殘余應力和低摩擦系數等綜合性能優異的DLC涂層南京耐磨DLC加工DLC涂層在模具上的應用,沖壓成形模具:凸模、凹模、精密沖裁、壓印成形零件等。

1.通過調節DLC薄膜的沉積工藝可以改變DLC薄膜中sp2雜化碳的含量以及氫的含量,進而影響DLC薄膜的摩擦性能;真空、惰性氣體和低濕環境有利于獲得更好的摩擦效果;過渡層和偏壓有利于提高DLC薄膜與基底之間的附著力,其摩擦性能也會得到提升。2.類金剛石膜是無定形碳中含sp3鍵的亞穩態結構。由于它的組成、光學透過率、硬度、折射率和在化學腐蝕劑中的惰性以及抗摩擦性能十分相似于金剛石,其應用領域不斷被拓寬,因此對類金剛石的研究也日益成為熱點。

類金剛石涂層是一種與金剛石涂層性能相似的新型薄膜材料,它具有較高的硬度,良好的熱傳導率,極低的摩擦系數,優異的電絕緣性能,高的化學穩定性及紅外透光性能.類金剛石涂層作為質量硬質涂層的材料,在不同領域展現了適合的應用前景,國內外對它的研究一直是熱點問題,然而由于涂層過程和摩擦磨損過程影響因素眾多,對于涂層疲勞磨損作用機理和失效機理的研究目前還遠遠不夠.本文以等離子增強化學氣相沉積法在45鋼基體表面上噴涂類金剛石涂層,與45淬火鋼組成圓盤滾滑摩擦副,在M-2000型磨損試驗機上進行了全接觸,水平往復運動,垂直運動三種不同工況下的疲勞磨損試驗研究,并根據試驗數據和現象對不同工況下類金剛石涂層的摩擦磨損性能和疲勞磨損機理進行了系統而細致的研究.3. 利用DLC來制備晶體硅表面的減反射膜,用于提高太陽能電池的光電轉化效率。

1.柴油機關鍵部件活塞銷受到周期性的交變機械載荷和熱載荷作用,易因粘著導致磨損。為提高柴油機活塞銷的摩擦磨損性能,采用磁控濺射方法在活塞銷表面沉積了Cr、W、Cr與Ti3種金屬摻雜的類金剛石薄膜(DLC)涂層,結果表明:3種涂層表面微觀形貌類似,致密、無明顯缺陷和孔洞,但都附著少量的顆粒物,相較而言摻雜Cr的DLC涂層表面更加平滑;摻雜Cr的DLC涂層,Cr以單質和CrC化合物形式存在,具有更高的膜-基結合強度、更優的摩擦學性能;摻雜Cr與Ti的DLC涂層性能與摻雜Cr的DLC涂層類似,Cr、Ti以單質和CrC、TiC化合物的形式存在;摻雜W的DLC涂層,由于生成了WC化合物,涂層脆性高,韌性較差DLC涂層的工業化生產開始于上世紀末和本世紀初,和普通的應用于模具上的硬質涂層比是一種嶄新的涂層技術。臺州潤滑DLC生產企業

類金剛石涂層(DLC)作為一種新型功能涂層材料,具有高硬度和高彈性模量、耐磨損、高結合強度等優點。杭州加硬DLC鍍黑鈦

柴油機關鍵部件活塞銷受到周期性的交變機械載荷和熱載荷作用,易因粘著導致磨損。為提高柴油機活塞銷的摩擦磨損性能,采用磁控濺射方法在活塞銷表面沉積了Cr、W、Cr與Ti3種金屬摻雜的類金剛石薄膜(DLC)涂層,結果表明:3種涂層表面微觀形貌類似,致密、無明顯缺陷和孔洞,但都附著少量的顆粒物,相較而言摻雜Cr的DLC涂層表面更加平滑;摻雜Cr的DLC涂層,Cr以單質和CrC化合物形式存在,具有更高的膜-基結合強度、更優的摩擦學性能;摻雜Cr與Ti的DLC涂層性能與摻雜Cr的DLC涂層類似,Cr、Ti以單質和CrC、TiC化合物的形式存在;摻雜W的DLC涂層,由于生成了WC化合物,涂層脆性高,韌性較差杭州加硬DLC鍍黑鈦

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