沉積 / 刻蝕腔體及部件清潔清潔對象:CVD(化學氣相沉積)腔體、PVD(物***相沉積)靶材、刻蝕機反應室(內(nèi)壁、噴頭、電極)。污染問題:沉積過程中,薄膜材料(如 SiO?、SiN、金屬 Cu/Al)會在腔體壁、靶材邊緣沉積,形成 “結(jié)垢層”,積累到一定厚度會剝落并污染晶圓;刻蝕反應室中,等離子體與晶圓反應生成的聚合物(如 CF?刻蝕硅產(chǎn)生的 CxFy)會附著在噴頭和電極表面,導致刻蝕速率不均勻。干冰清洗作用:無需拆卸腔體(傳統(tǒng)清潔需拆解,耗時 4-8 小時,且可能引入外界污染),通過酷爾森icestorm干冰顆粒的沖擊和低溫脆化效應,使結(jié)垢層(硬度較高的陶瓷或金屬薄膜)與腔體基材分離,隨氣流排出。保護腔體內(nèi)部精密部件(如石英噴頭、金屬電極):控制干冰顆粒尺寸(3-5mm)和壓力(0.3-0.6MPa),可去除靶材邊緣的沉積殘留,同時不損傷靶材表面(靶材精度直接影響沉積薄膜的均勻性)。飛機航空電纜表面油污,干冰清洗機可無損去除,不損傷絕緣層,保障電路安全。上海本地干冰清洗代理商
注意事項針對極敏感部件(如光刻機鏡頭、光罩鍍鉻層),需采用“超細亞微米干冰顆粒”(0.5-1μm)和“脈沖式低壓力噴射”,避免氣流沖擊導致的微損傷。清潔過程需在潔凈室內(nèi)**區(qū)域進行,配合高效過濾器(HEPA)回收剝離的污染物,防止二次擴散。綜上,酷爾森icestorm干冰清洗通過解決半導體行業(yè)“微污染去除難、精密部件易損傷、清潔與效率矛盾”三大痛點,成為提升芯片良率(尤其先進制程,如7nm及以下)和生產(chǎn)穩(wěn)定性的**工藝輔助技術(shù),在半導體國產(chǎn)化趨勢中,其應用場景正從設備維護向晶圓直接清潔(如先進封裝前的焊盤處理)進一步拓展。在半導體行業(yè),生產(chǎn)環(huán)境(如 Class 1 級潔凈室)和產(chǎn)品(晶圓、芯片、精密部件)對 “零污染、無損傷、超高潔凈度” 的要求堪稱工業(yè)領(lǐng)域**嚴苛標準之一。干冰清洗憑借無殘留、化學惰性、低溫無損、適配精密場景等特性,成為解決半導體生產(chǎn)中 “微污染物去除、設備維護、產(chǎn)品良率提升” 的關(guān)鍵技術(shù)。海南防爆干冰清洗服務費酷爾森干冰清洗用于儲能工廠焊接工裝的清洗,去除油霧和灰塵。

酷爾森環(huán)??萍迹ㄉ虾#┯邢薰靖杀逑醇夹g(shù)要點與挑戰(zhàn)工藝參數(shù)精密控制:壓力: 通常使用較低壓力(如 2-10 bar),遠低于常規(guī)工業(yè)干冰清洗,以避免對精密部件造成損傷或?qū)е挛⒘G度胲浶圆牧?。干冰顆粒尺寸: 使用非常細小的顆粒(如米粒級或更細),以獲得更溫和、更精細的清潔效果。噴射距離與角度: 需要精確控制噴嘴到目標的距離和噴射角度,優(yōu)化清潔效率同時**小化潛在影響。流量: 根據(jù)污染程度和部件敏感度調(diào)節(jié)干冰流量。微粒控制:干冰沖擊會將污染物打散成更小的微粒。因此,高效的真空回收系統(tǒng)是必不可少的配套設備,必須能即時、徹底地吸走剝離下來的污染物和升華的CO?氣體,防止二次污染。系統(tǒng)需要高過濾效率(HEPA/ULPA級別)。靜電控制:高速氣流和干冰顆粒撞擊可能產(chǎn)生靜電。在半導體潔凈室環(huán)境中,需要考慮靜電消散措施,如使用防靜電噴嘴、接地設備、或引入可控的電離氣流。材料兼容性:雖然對大多數(shù)硬質(zhì)材料安全,但對于非常脆弱的涂層、軟性金屬(如金線)、裸露的精密電路、某些塑料或復合材料,仍需進行嚴格的兼容性測試,確認不會造成損傷(如微凹痕、劃痕、涂層剝離)。
極片輥壓、分切后的表面清潔清潔對象:輥壓后的極片表面、分切后的極片邊緣。污染問題:輥壓過程中極片表面可能殘留微量電解液(預涂時)或粉塵;分切(激光分切或機械分切)后邊緣易產(chǎn)生毛刺、粉末,若殘留會導致電芯疊片 / 卷繞時短路風險升**冰清洗作用:以低壓力(0.1-0.3MPa)噴射干冰,可精細去除極片表面附著的粉塵和細小毛刺,且不損傷極片(極片厚度通常* 10-100μm),避免傳統(tǒng)毛刷清潔可能產(chǎn)生的二次污染或機械損傷。電芯組裝環(huán)節(jié)的清潔電芯組裝(疊片 / 卷繞、封裝、注液前)對環(huán)境潔凈度要求極高,任何雜質(zhì)(如金屬碎屑、粉塵、油污)都可能引發(fā)微短路或熱失控。1. 疊片 / 卷繞工裝與夾具清潔清潔對象:疊片臺、定位夾具、卷繞機導輥、隔膜導輪等。污染問題:極片搬運過程中,工裝表面易附著極片粉末(如石墨、金屬氧化物)、隔膜碎屑或油污,導致極片定位偏移、隔膜褶皺,影響電芯對齊度??釥柹璱cestorm干冰清洗作用:非接觸式清潔,可深入夾具縫隙和導輪凹槽,徹底去除粉末和油污,且干冰升華后無殘留,無需擔心污染物落入電芯內(nèi)部,保障疊片 / 卷繞精度。干冰清洗機清潔航空飛機油箱,除內(nèi)壁油泥,無化學殘留,降低油箱腐蝕風險。

酷爾森的干冰清洗技術(shù)在PCBA(印刷電路板組件)清洗中的應用是一項高效、環(huán)保且對敏感組件友好的先進技術(shù),特別適用于傳統(tǒng)清洗方法(如水洗、化學溶劑清洗、超聲波清洗)存在局限性的場景。以下是干冰清洗在PCBA板應用中的關(guān)鍵方面、優(yōu)勢和注意事項:**工作原理物理沖擊:高速噴射的干冰顆粒(通常直徑在0.5mm-3mm)撞擊污染物表面,產(chǎn)生機械剝離作用。熱沖擊(低溫脆化):極低溫(-78.5°C)的干冰顆粒使污染物(如松香、助焊劑殘留、油脂、灰塵)迅速冷凍、變脆,降低其附著力和內(nèi)聚力,更容易被沖擊破碎。升華作用:干冰撞擊后瞬間從固態(tài)升華為氣態(tài)(二氧化碳氣體),體積急劇膨脹(約800倍),產(chǎn)生微小的“”效應,進一步將破碎的污染物從基底表面剝離。不導電、無殘留:干冰顆粒和氣態(tài)二氧化碳均不導電,清洗后無任何二次殘留物(水、化學溶劑等),*留下被剝離的污染物碎屑,可通過抽吸系統(tǒng)收集。航空航天場景下,酷爾森的干冰清洗設備可安全去除渦輪葉片積碳,且不會損傷碳纖維復合材料結(jié)構(gòu)。天津什么是干冰清洗服務費
該技術(shù)可直接集成到自動化生產(chǎn)線中,實現(xiàn)在線不停機清洗,提升生產(chǎn)效率。上海本地干冰清洗代理商
制動系統(tǒng)部件清洗列車制動系統(tǒng)(如制動盤、制動片、制動管路、閘瓦等)在長期運行中會積累油污、粉塵、金屬碎屑等,影響制動效果。干冰清洗能精細去除這些雜質(zhì),且不會劃傷制動盤表面或殘留水分,確保制動系統(tǒng)靈敏可靠,降低安全隱患。4. 車底及走行部部件清潔列車車底、轉(zhuǎn)向架、輪對、軸箱等走行部部件長期暴露在外,易附著油污、鐵軌粉塵、泥土等污染物,可能影響部件潤滑和檢測精度。酷爾森coulson干冰清洗可在不拆卸的情況下,快速去除表面污垢,便于后續(xù)的探傷檢測(如超聲波檢測、磁粉檢測),確保及時發(fā)現(xiàn)裂紋、磨損等問題。5. 車身及車窗清潔對于列車車身外表面的油污、 graffiti(涂鴉)、氧化層等,干冰清洗可通過低溫沖擊和動能剝離污漬,且不會損傷車漆或玻璃表面,尤其適用于高鐵、動車等對外觀要求較高的車型。此外,車窗密封條縫隙的灰塵也可通過干冰清洗高效去除。6. 電氣控制系統(tǒng)及線路清潔列車的控制柜、繼電器、接觸器、電纜接頭等電氣部件易積累灰塵和油污,可能導致接觸不良或短路。干冰清洗可安全去除這些污染物,且不影響電氣元件的絕緣性能,減少因清潔不當導致的電氣故障,保障列車控制系統(tǒng)穩(wěn)定運行。上海本地干冰清洗代理商