本實用新型有關于一種擋液板結構與以之制備的蝕刻設備,尤其是指一種適用于濕式蝕刻機的擋液排液功能且增加其透氣性以降低產品損耗的擋液板結構與以之制備的蝕刻設備。背景技術:請參閱圖1所示,為傳統擋液板結構的整體設置示意圖,其中一實心pvc板態樣的擋液板結構a設置于一濕式蝕刻機(圖式未標示)內,主要用以阻擋一蝕刻藥液(圖式未標示)對設置于該擋液板結構a下方的基板(圖式未標示)的噴濺而造成蝕刻不均勻的現象,并且在濕式蝕刻的制程步驟中,該基板設置于二風刀b之間,當該基板設置于一輸送裝置(圖式未標示)而由該擋液板結構a的左方接受蝕刻藥液蝕刻后移動至風刀b之間,該等風刀b再噴出一氣體c到該基板的表面以將該基板表面殘留的蝕刻藥液吹除;然而,當在該等風刀b進行吹氣的狀態下,容易在該擋液板結構a下方形成微小的真空空間而形成渦流并造成真空吸板的問題;因此,如何有效借由創新的硬體設計,確實達到保有原始擋液板的擋液效果,以及增加透氣性以破除真空以減少因真空吸板導致的基板刮傷或破片風險,仍是濕式蝕刻機等相關產業開發業者與相關研究人員需持續努力克服與解決的課題。哪家公司的蝕刻液是比較劃算的?深圳京東方用的蝕刻液蝕刻液生產

技術實現要素:本實用新型所解決的技術問題即在于提供一種擋液板結構與以之制備的蝕刻設備,尤其是指一種適用于濕式蝕刻機的擋液排液功能且增加其透氣性以降低產品損耗的擋液板結構與以之制備的蝕刻設備,主要借由具有復數個宣泄孔的擋液板結構搭配風刀裝置的硬體設計,有效使風刀裝置吹出的氣體得以經由宣泄孔宣泄,并利用水滴的表面張力現象防止水滴由宣泄孔落下造成基板顯影不均等異常現象,確實達到保有原始擋液板的擋液效果,以及增加透氣性以破除真空以減少因真空吸板導致的基板刮傷或破片風險等主要優勢。本實用新型所采用的技術手段如下所述。為了達到上述的實施目的,本實用新型提出一種擋液板結構,適用于一濕式蝕刻機,擋液板結構包括有一***擋板、一與***擋板接合的第二擋板,以及一與第二擋板接合的第三擋板,其主要特征在于:第二擋板具有復數個貫穿第二擋板且錯位設置的宣泄孔。如上所述的擋液板結構,其中***擋板與第二擋板呈正交設置,且第二擋板與第三擋板呈正交設置。如上所述的擋液板結構,其中***擋板、第二擋板與第三擋板圍設成一凹槽的態樣。如上所述的擋液板結構,其中第二擋板的長度介于10厘米(centimeter,cm)至15厘米(cm)之間。成都ITO蝕刻液蝕刻液銷售電話蘇州博洋化學股份有限公司用真誠對待每一位顧客。

故仍舊會有少量的藥液51噴灑在擋液板結構10上而留下該藥液51的水滴,而該藥液51的水滴亦不能落入該基板20上,以避免基板20的蝕刻不均的現象產生;此外,該輸送裝置30用以承載并運送至少一該基板20于該濕式蝕刻機內運行,并接受濕式蝕刻的噴灑裝置50的制程運作,故該輸送裝置30具有一驅動機構以驅動該滾輪31轉動,以帶動該基板20由該噴灑裝置50下端部朝向該風刀裝置40的該***風刀41下端部的方向移動。步驟三s3:使用一設置于該擋液板結構10下方的風刀裝置40對該基板20吹出一氣體43,以使該基板20干燥;在本實用新型其一較佳實施例中,該風刀裝置40設置于該擋液板結構10的一端部,該風刀裝置40包括有一設置于該基板20上方的***風刀41,以及一設置于該基板20下方的第二風刀42,其中該***風刀41與該第二風刀42分別吹出一氣體43至該基板20,以將該基板20上的該藥液51帶往與相反于該基板20的行進方向,以使該基板20降低該藥液51殘留,其中該氣體43遠離該***風刀41與該第二風刀42的方向分別與該基板20的法線方向夾設有一第三夾角θ3,且該第三夾角θ3介于20度至35度之間。步驟四s4:該氣體43經由該復數個宣泄孔121宣泄;在本實用新型其一較佳實施例中。
將裝置主體1內部的蝕刻液進行清洗,具有很好的清理作用。工作原理:對于這類的回收處理裝置,首先將蝕刻液倒入進液漏斗6并由過濾網7過濾到進液管8中,之后蝕刻液流入到承載板3上的電解池4中時,啟動液壓缸11帶動伸縮桿12向上移動,從而通過圓環塊13配合連接桿14和伸縮管9帶動噴頭10向上移動,進而將蝕刻液緩慢的由噴頭10噴入到電解池4中,避免蝕刻液對電解池4造成沖擊而影響其使用壽命,具有保護電解池4的功能,之后金屬銅在隔膜5左側析出;其次在蝕刻液初次電解后,通過控制面板30啟動增壓泵16并打開一號電磁閥18,將蝕刻液通過回流管15抽入到一號排液管17中,并由進液管8導入到伸縮管9中,直至蝕刻液由噴頭10重新噴到電解池4中,可以充分的將蝕刻液中的亞銅離子電解轉化為金屬銅,起到循環電解蝕刻液的作用,然后打開二號電磁閥23,將蝕刻液通過二號排液管22導入到分隔板2左側,傾斜板24使得蝕刻液向左流動以便排出到裝置主體1外,接著啟動抽氣泵19,將電解池4中產生的有害氣體抽入到排氣管20并導入到集氣箱21中,實現有害氣體的清理,緊接著打開活動板25將金屬銅取出,之后啟動增壓泵16并打開三號電磁閥29,將由進水管27導入到蓄水箱26中的清水。蝕刻液使用時要注意什么?

以及一設置于基板下方的第二風刀,其中***風刀與第二風刀分別吹出一氣體至基板。如上所述的蝕刻設備,其中蝕刻設備可進一步設置有一噴灑裝置,噴灑裝置相對于風刀裝置一端而設置于擋液板結構的另一端部。如上所述的蝕刻設備,其中噴灑裝置噴灑一藥液至基板上。如上所述的蝕刻設備,其中擋液板結構與基板的垂直距離介于8mm至15mm之間。如上所述的蝕刻設備,其中滾輪呈順時針方向轉動,并帶動基板由噴灑裝置下端部朝向風刀裝置的***風刀下端部的方向移動。如上所述的蝕刻設備,其中氣體遠離***風刀與第二風刀的方向分別與基板的法線方向夾設有一第三夾角。如上所述的蝕刻設備,其中第三夾角介于20度至35度之間。再者,為了達到上述實施目的,本實用新型另研擬一種蝕刻方法,于一濕式蝕刻機的一槽體內運行;首先,設置一擋液板結構,其中擋液板結構設置有復數個宣泄孔;接著,使用一設置于擋液板結構下方的輸送裝置輸送一基板,以經過一噴灑裝置進行一藥液噴灑;接續,使用一設置于擋液板結構下方的風刀裝置對基板吹出一氣體,以使基板干燥;***,氣體經由宣泄孔宣泄。如上所述的蝕刻方法。龍騰光電用的哪家的蝕刻液?南京ITO蝕刻液蝕刻液銷售廠
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如前文所述,必須避免由該噴灑裝置50噴灑而出的藥液51滴入該基板20上而造成蝕刻不均的問題,因此,該復數個宣泄孔121的孔徑a0必須要足夠小,例如:孔徑a0小于3mm,即可因毛細現象的作用,亦即該水滴于該宣泄孔121孔洞內的夾角θ等于該水滴與該第二擋板12的該上表面123所夾的接觸角θ4,而達到防止位于該第二擋板12的該上表面123的藥液51水滴經由該復數個宣泄孔121滴下至該基板20上(如圖9所示)。再者,請再參閱圖10至圖12所示,為本實用新型蝕刻設備其二較佳實施例的擋液板結構結合風刀裝置示意圖、其三較佳實施例的擋液板結構結合風刀裝置示意圖,以及宣泄孔的表面張力局部放大圖,其中該宣泄孔121為直通孔與斜錐孔混合的態樣(如圖10所示),或是全部為斜錐孔的態樣(如圖11所示),其中該宣泄孔121具有一***壁面1211與一第二壁面1212,且該第二擋板12具有一下表面122,當該宣泄孔121為斜錐孔的態樣時,該***壁面1211與該下表面122的***夾角θ1不同于該第二壁面1212與該下表面122的第二夾角θ2,亦即該***壁面1211與該第二壁面1212可不互相平行,但應避免該***夾角θ1與該第二夾角θ2差距過大而造成毛細現象破除;此外,當該宣泄孔121為斜錐孔態樣時。深圳京東方用的蝕刻液蝕刻液生產