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來源: 發布時間:2025-11-18

并利用水滴的表面張力現象防止水滴由該復數個宣泄孔121落下造成該基板20的蝕刻不均等異常現象,確實達到保有原始擋液板的擋液效果,以及增加透氣性以破除真空以減少因真空吸板而導致該基板20刮傷或破片風險等主要優勢。該蝕刻設備1可進一步設置有一噴灑裝置50,該噴灑裝置50設置于該擋液板結構10的一端部,且該基板20設置于該擋液板結構10的下方約8毫米至15毫米之間,其中該噴灑裝置50用以噴灑一藥液51至該基板20上,以對該基板20進行一濕式蝕刻制程;由上述的說明,擋液板結構10的設置即是為了避免噴灑裝置50的藥液51繼續對已經完成蝕刻步驟的基板20再進行蝕刻制程,故仍舊會有少量的藥液51噴灑在擋液板結構10上而留下該藥液51的水滴,而該藥液51的水滴亦不能落入該基板20上,以避免該基板20的蝕刻不均的現象產生。該輸送裝置30設置于該基板20的下方,該輸送裝置30包括有至少一滾輪31,其中該滾輪31與該基板20接觸以運行該基板20;在本實用新型其一較佳實施例中,該輸送裝置30用以承載并運送至少一該基板20于該濕式蝕刻機內運行,并接受濕式蝕刻的噴灑裝置50的制程運作,故該輸送裝置30具有一驅動機構(圖式未標示)以驅動該滾輪31轉動,例如:順時針旋轉。剝離液可以有正膠和負膠以及正負膠不同的分類。安徽格林達蝕刻液商家

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本實用新型涉及一種鋁蝕刻液生產設備。背景技術:鋁蝕刻液生產設備主要包括混合罐、過濾器和儲存罐,將蝕刻液中的各組份在混合罐混合均勻,由過濾器濾去雜質后投入儲存罐中暫存,然后分裝銷售。以往,鋁蝕刻液的分裝由人工操作,隨著自動化技術的興起,全自動灌裝線在鋁蝕刻液生產企業得到廣泛應用,但是,我司的鋁蝕刻液生產車間面積較小,無法放置自動灌裝線,所以需要對現有的生產設備進行改造,以實現鋁蝕刻液的全自動灌裝。技術實現要素:本實用新型提出了一種鋁蝕刻液生產設備,以解決上述背景技術中提出的問題。為達前述目的,本實用新型提供的技術方案如下:鋁蝕刻液生產設備,包括混合罐、過濾器、數個儲存罐、數輛液壓升降式拖車和地磅,所述混合罐通過液管與所述過濾器連接,所述過濾器的出液口處安裝有氣動升降式出液管,每個所述儲存罐固定在對應的拖車頂部,所述儲存罐的進液口和出液口處安裝有單向液動閥,所述地磅位于所述過濾器的下方,所述地磅的頂部設置有將所述拖車固定的氣動夾緊機構。在本技術方案中,載有空儲存罐的拖車置于地磅上方,過濾器的出液管自動下行插入儲存罐的進液口中,當地磅所測得的重量達到系統預設重量時。安徽哪家蝕刻液蝕刻液銷售廠銅蝕刻液是用來蝕刻銅金屬的化學藥水;

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本發明涉及銅蝕刻液技術領域,具體涉及一種酸性銅蝕刻液的生產工藝。背景技術:高精細芯片和顯示集成電路主要采用銅制程,其光刻工藝中形成銅膜層結構所需用的銅刻蝕液中主要的為過氧化氫系銅刻蝕液。過氧化氫系銅蝕刻液較其他銅刻蝕液體系(如三氯化鐵體系,過硫酸銨體系)具有不引人其他金屬離子在銅層表面或線路體系中,產物親和、友好、環境污染少,刻蝕效率高且使用壽命較長的特點。大部分過氧化氫系銅刻蝕液包括參與氧化的過氧化氫組分、參與溶解的無機酸/有機酸組分,以及部分銅緩蝕劑等各類添加三個部分。由于銅蝕刻液中各物質的反應為放熱反應,體系中又含有過氧化氫在制備銅蝕刻液的生產過程中需要保證生產安全。技術實現要素:本發明的目的在于,克服現有技術中存在的缺陷,提供一種銅蝕刻液大規模量產的生產工藝,該生產工藝溫控嚴格,生產過程中安全性高。為實現上述目的,本發明的技術方案是設計一種酸性銅蝕刻液的生產工藝,所述工藝包括以下步驟:第一步:將純水進行低溫處理,使純水溫度≤10℃在純水罐中備用;第二步:配制和準備原料,將亞氨基二乙酸、氫氟酸和乙醇酸分別投入對應的原料罐中,經過過濾器循環過濾,備用。

也很難保證拖車在地磅頂部不移動。在地磅的頂部平臺中設置有兩條卡塊40,卡塊與平臺之間形成一插槽,在地磅的頂部設置有包括氣缸50和壓緊塊60的氣動夾緊機構,壓緊塊位于插槽中,氣缸的伸縮桿與壓緊塊固連。拖車的邊緣沿插槽插入后,氣缸帶動壓緊塊下行將拖車緊緊壓在地磅的頂部。實施例二本實施例基于實施例一。如圖2所示,在拖車的頂部設置有一圈圍設在儲存罐外部的護欄70,以防止其它物品碰撞儲存罐。實施例三本實施例基于實施例一。如圖3所示,在拖車的頂部設置有一集液盒,儲存罐安裝在集液盒80中,過濾器的出液管及灌裝頭的快速接頭從儲存罐中拔出時滴落的鋁蝕刻液,由集液盒進行收集。實施例四本實施例基于實施例一。如圖4所示,拖車的頂部于儲存罐的旁側設置有集液腔室22,過濾器的出液管及灌裝頭的快速接頭從儲存罐中拔出時滴落的鋁蝕刻液被集液腔室內收集。綜上所述,將原有的大型儲存罐更換成數個小型儲存罐,并采用液壓升降式拖車帶著儲存罐在鋁蝕刻液生產車間與自動灌裝車間之中周轉,如此便可為鋁蝕刻液生產設備配備全自動灌裝線,即提高了單瓶灌裝精度和效率,又降低了企業的人力成本投入;而且,將原有的大型儲存罐更換成數個小型儲存罐。蝕刻液可以從哪里購買到;

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技術實現要素:本實用新型的目的在于提供高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產裝置,以解決上述背景技術中提出密封性差,連接安裝步驟繁瑣的問題。為實現上述目的,本實用新型提供如下技術方案:高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產裝置,包括裝置主體、支撐腿、電源線和單片機,所述裝置主體的底端固定連接有支撐腿,所述裝置主體的后面一側底部固定連接有電源線,所述裝置主體的一側中間部位固定連接有控制器,所述裝置主體的內部底端一側固定連接有單片機,所述裝置主體的頂部一端固定連接有去離子水儲罐,所述裝置主體的頂部一側固定連接有磷酸儲罐,所述磷酸儲罐的底部固定連接有攪拌倉,所述攪拌倉的內部頂部固定連接有攪拌電機,所述攪拌倉的另一側頂部固定連接有醋酸儲罐,所述裝置主體的頂部中間一側固定連接有硝酸儲罐,所述裝置主體的頂部中間另一側固定連接有陰離子表面活性劑儲罐,所述陰離子表面活性劑儲罐的另一側固定連接有聚氧乙烯型非離子表面活性劑儲罐,所述裝置主體的頂部另一側固定連接有氯化鉀儲罐,所述裝置主體的頂部另一端固定連接有硝酸鉀儲罐,所述裝置主體的內部中間部位固定連接有連接構件。蘇州博洋化學股份有限公司歡迎新老朋友咨詢。池州天馬用的蝕刻液蝕刻液商家

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所述液位計7安裝于所述分離器的外表面。液位計7安裝在方便工作人員查看的位置,有利于提高工作人員工作的效率。在一個實施例中,如圖1所示,所述液位開關9為控制閥,設置于所述濾液出口2處。控制閥為內螺紋截止閥,通過旋轉操縱盤實現閥門的開關,這種閥結構簡單,維修方便,工作行程小,啟閉時間短,使用壽命長。在一個實施例中,如圖2所示,所述分離器的側壁上設有多個視鏡10。分離器側壁上設置的視鏡10可以幫助工作人員輔助判斷液位計7的工作狀況。在一個實施例中,如圖1所示,所述加熱器11為盤管式加熱器。盤管式加熱器的受熱更加均勻,加熱效率更高。在一個實施例中,如圖1所示,所述分離器底部為錐體形狀。分離器底部設置成錐體形狀更有利于濾液排出,不會殘留在分離器內。以上所述是本實用新型的推薦實施方式,本實用新型的保護范圍并不局限于上述實施例,凡屬于本實用新型思路下的技術方案均屬于本實用新型的保護范圍。應當指出,對于本技術領域的普通技術人員來說,在不脫離本實用新型原理前提下的若干改進和潤飾,這些改進和潤飾也應視為本實用新型的保護范圍。安徽格林達蝕刻液商家

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