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上海鋁鉬鋁蝕刻液蝕刻液配方技術(shù)

來源: 發(fā)布時間:2025-11-18

近年來,oled顯示器廣泛應(yīng)用于手機和平板顯示。金屬銀以優(yōu)異的電導(dǎo)率和載流子遷移率被廣泛應(yīng)用于oled顯示器的陽極布線(ito/ag/ito)結(jié)構(gòu)中。為了對此進行蝕刻,目前主要使用基于磷酸、硝酸、醋酸和硝酸鹽的濕蝕刻液(cna)。這樣的體系雖然能有效去除金屬銀,但在實際使用過程中仍會存在少量的銀殘留或銀再吸附沉積問題。4.本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題在于如何解決現(xiàn)有的銀蝕刻液在使用過程中存在少量的銀殘留、銀再吸附沉積問題。5.本發(fā)明通過以下技術(shù)手段實現(xiàn)解決上述技術(shù)問題的:6.一種銀蝕刻液組合物,其成分由質(zhì)量占比為40-60%磷酸、2-10%硝酸、%有機酸、%硝酸鹽、%含氮元素有機物、其余為水組成。華星光電用的哪家的蝕刻液?上海鋁鉬鋁蝕刻液蝕刻液配方技術(shù)

上海鋁鉬鋁蝕刻液蝕刻液配方技術(shù),蝕刻液

過濾器的出液管自動上行離開儲存罐,將裝滿的儲存罐從鋁蝕刻液生產(chǎn)車間移動至自動灌裝車間中,將灌裝頭的快速接頭插入儲存罐的出液口中便可將儲存罐內(nèi)的鋁蝕刻液分裝。本實用新型除上述技術(shù)方案外,還包括以下技術(shù)特征:進一步的是,所述地磅的頂部平臺中設(shè)置有兩條卡塊,所述卡塊與平臺之間形成一插槽;所述氣動夾緊機構(gòu)包括氣缸和壓緊塊,所述壓緊塊位于所述插槽中,所述氣缸的伸縮桿與所述壓緊塊固連。進一步的是,所述拖車的頂部設(shè)置有一圈圍設(shè)在所述儲存罐外部的護欄。進一步的是,所述拖車的頂部設(shè)置有一集液盒,所述儲存罐安裝在所述集液盒中。進一步的是,所述拖車的頂部于所述儲存罐的旁側(cè)設(shè)置有集液腔室。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實用新型的有益效果是:1.將原有的大型儲存罐更換成數(shù)個小型儲存罐,并采用液壓升降式拖車帶著儲存罐在鋁蝕刻液生產(chǎn)車間與自動灌裝車間之中周轉(zhuǎn),如此便可為鋁蝕刻液生產(chǎn)設(shè)備配備全自動灌裝線,即提高了單瓶灌裝精度和效率,又降低了企業(yè)的人力成本投入;2.將原有的大型儲存罐更換成數(shù)個小型儲存罐,在儲存罐內(nèi)在進液時,其它儲存罐可以進行定量灌裝,提高了鋁蝕刻液的生產(chǎn)效率。附圖說明為了更清楚地說明本實用新型實施例中的技術(shù)方案。無錫格林達蝕刻液剝離液是用于光刻膠剝離用的化學(xué)品。

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因此存在開發(fā)蝕刻液組合物時會過度耗費時間和費用的問題。美國公開**第2號公開了在3dnand閃存的制造工序中,對于硅氧化物膜和硅氮化物膜*選擇性蝕刻硅氮化物膜的蝕刻液組合物。然而,為了選擇構(gòu)成成分的種類和濃度,不得不需要測試蝕刻液組合物的蝕刻性能,實際情況是,與上述同樣,仍然沒有解決在找尋蝕刻液組合物的適宜組成方面過度耗費時間和費用的問題。現(xiàn)有技術(shù)文獻**文獻**文獻1:美國公開**第2號技術(shù)實現(xiàn)要素:所要解決的課題本發(fā)明是為了改善上述以往技術(shù)問題的發(fā)明,其目的在于,提供用于選擇硅烷系偶聯(lián)劑的參數(shù)以及包含由此獲得的硅烷系偶聯(lián)劑的蝕刻液組合物,所述硅烷系偶聯(lián)劑作為添加劑即使不進行另外的實驗確認也具有在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻氮化物膜的效果和防蝕能力。此外,本發(fā)明的目的在于,提供一種以在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中能夠*選擇性蝕刻上述氮化物膜為特征的蝕刻液組合物。此外,本發(fā)明的目的在于,提供利用上述蝕刻液組合物的蝕刻方法。此外,本發(fā)明的目的在于,提供選擇上述蝕刻液組合物所包含的硅烷系偶聯(lián)劑的方法。解決課題的方法為了實現(xiàn)上述目的,本發(fā)明提供一種蝕刻液組合物,其特征在于,包含磷酸、硅烷。

該擋液板結(jié)構(gòu)10包括有一***擋板11、一與該***擋板11接合的第二擋板12,以及一與該第二擋板12接合的第三擋板13,其主要特征在于:該第二擋板12具有復(fù)數(shù)個貫穿該第二擋板12且錯位設(shè)置的宣泄孔121。該***擋板11與該第二擋板12呈正交設(shè)置,且該第二擋板12與該第三擋板13呈正交設(shè)置,以使該***擋板11、該第二擋板12與該第三擋板13圍設(shè)成一凹槽的態(tài)樣,在一實施例中,該***擋板11、該第二擋板12與該第三擋板13可以為一體成形,其中該第二擋板12的長度h介于10cm至15cm之間,而該等開設(shè)于該第二擋板12上的宣泄孔121可呈千鳥排列或矩陣排列等其中的一種排列的態(tài)樣,且該宣泄孔121可為直通孔或斜錐孔等其中的一種態(tài)樣或兩者的混合;在本實用新型其一較佳實施例中,開設(shè)于該第二擋板12上的宣泄孔121呈千鳥排列的直通孔態(tài)樣,且位于同一列的宣泄孔121之間具有相同的距離(例如:圖3中所示的w),其中該宣泄孔121的一孔徑a0比較好小于3mm,以使該宣泄孔121的孔洞內(nèi)產(chǎn)生毛細現(xiàn)象,若該第二擋板12的該上表面123有水滴出現(xiàn)時,則該水滴不至于經(jīng)由該宣泄孔121落至下表面,但仍舊可以提供空氣宣泄的管道,以借由該宣泄孔121平衡該第二擋板12上、下二端部的壓力。此外,請一并參閱圖4圖5所示。BOE蝕刻液生產(chǎn)廠家就找蘇州博洋化學(xué)股份。

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本發(fā)明涉及蝕刻液組合物及選擇添加于該蝕刻液組合物的硅烷系偶聯(lián)劑的方法。背景技術(shù):參照圖1,可以確認3dnand閃存(flashmemory)制造工序中的一部分。3dnand閃存可以通過在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性去除氮化物膜的工序(wetremovalofnitride)來制造。在不損傷氧化物膜的同時將氮化物膜完全去除是這樣的氮化物膜去除工序(wetremovalofnitride)的**技術(shù)之一。一般而言,氮化物膜去除工序中所使用的蝕刻液組合物利用具有防蝕能力的添加劑以獲得在不損傷氧化物膜的同時*將氮化物膜完全去除的效果。但是,想要在不損傷氧化物膜的范圍內(nèi)將氮化物膜完全去除時,會使用防蝕能力強的添加劑,由此可能發(fā)生氮化物膜沒有被完全去除的工序不良(參照圖2)。此外,想要將氮化物膜完全去除時,會使用防蝕能力弱的添加劑,由此雖然氮化物膜被完全去除,但是可能發(fā)生對氧化物膜也造成損傷(damage)的工序不良(參照圖3)。以往,為了在包含氧化物膜和氮化物膜的多層膜中*將氮化物膜選擇性完全去除而選擇具有適當(dāng)水平的防蝕能力的添加劑時,按照添加劑的種類和濃度通過實驗進行確認。沒有這樣的實驗確認就選擇添加劑實際上是不可能的。蘇州博洋化學(xué)股份有限公司專業(yè)生產(chǎn)BOE蝕刻液。安慶哪家蝕刻液蝕刻液配方技術(shù)

蝕刻液的技術(shù)指標(biāo)哪家比較好?上海鋁鉬鋁蝕刻液蝕刻液配方技術(shù)

裝置主體1的頂部另一端固定連接有硝酸鉀儲罐21,裝置主體1的內(nèi)部中間部位固定連接有連接構(gòu)件11,裝置主體1的內(nèi)部底部中間部位固定連接有常閉式密封電磁閥10,連接構(gòu)件11的內(nèi)側(cè)固定連接有過濾部件9,裝置主體1的內(nèi)部底端另一側(cè)固定連接有收集倉8,收集倉8的另一側(cè)底部固定連接有密封閥門7,過濾部件9的頂端兩側(cè)活動連接有滑動蓋24,過濾部件9的內(nèi)部中間兩側(cè)固定連接有收縮彈簧管25,連接構(gòu)件11的內(nèi)側(cè)兩端嵌入連接有螺紋管27,連接構(gòu)件11的內(nèi)部中間兩側(cè)活動連接有活動軸28,連接構(gòu)件11的內(nèi)側(cè)中間兩側(cè)嵌入連接有密封軟膠層29。推薦的,硝酸鉀儲罐21的頂部嵌入連接有密封環(huán)22,在將制備蝕刻液儲罐加入制備材料的時候,需要將儲罐進行密封,密封環(huán)22能將硝酸鉀儲罐21和其他儲罐的頂蓋與儲罐主體連接的位置進行密封,使硝酸鉀儲罐21和其它儲罐的內(nèi)部形成一個密閉的空間,避免環(huán)境外部的雜質(zhì)進入儲罐內(nèi),有效的提高了裝置使用的密封性。推薦的,連接構(gòu)件11的兩側(cè)嵌入連接有海綿層12,在使用裝置制備蝕刻液的時候,需要通過連接構(gòu)件11將裝置主體1內(nèi)部的部件進行連接,在旋轉(zhuǎn)連接構(gòu)件11的兩側(cè)時,操作人員的手會與連接構(gòu)件11接觸,海綿層12可以將操作人員手上的水分進行吸收。上海鋁鉬鋁蝕刻液蝕刻液配方技術(shù)

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