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江蘇銅蝕刻液蝕刻液批量定制

來源: 發布時間:2025-11-10

銅蝕刻液近期成為重要的微電子化學品產品,廣泛應用于平板顯示、LED制造及半導體制造領域。隨著新技術的不斷進步,對該蝕刻液也有了更高的要求。并且之前市場上的銅蝕刻液成分普遍存在含氟、硝酸或高濃度雙氧水的情況。在此基礎上我司自主進行了無氟,無硝酸,低雙氧水濃度銅蝕刻液的研發,并可兼容于不同CuMo鍍膜厚度之工藝。產品特點:1.6%雙氧水濃度的銅蝕刻液lifetime可至7000ppm。2.末期銅蝕刻液工藝溫度(32)下可穩定72H,常溫可穩定120H;無暴沸現象。3.銅蝕刻液CD-Loss均一性良好,taper符合制程要求。4.銅蝕刻液可兼容MoCu結構不同膜厚度的機種。哪家的蝕刻液的價格低?江蘇銅蝕刻液蝕刻液批量定制

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制備裝置主體1的內部中間部位活動連接有高效攪拌裝置2,制備裝置主體1的一側中間部位嵌入連接有翻折觀察板4,制備裝置主體1的底端固定連接有裝置底座5,裝置底座5的內部底部固定連接有成品罐6,裝置底座5的頂端一側固定連接有鹽酸裝罐7,裝置底座5的頂端另一側固定連接有硝酸裝罐8,高效攪拌裝置2的內部頂部中間部位活動連接有旋轉搖勻轉盤12,高效攪拌裝置2的內部頂部兩側活動連接有震蕩彈簧件14,震蕩彈簧件14的頂端固定連接有運轉電機組13,運轉電機組13的頂端電性連接有控制面板15,高效攪拌裝置2的內部中間部位固定連接有致密防腐桿16,致密防腐桿16的內部內側貫穿連接有攪動孔17,鹽酸裝罐7的內部一側嵌入連接有嵌入引流口22,嵌入引流口22的一端固定連接有負壓引流器21,負壓引流器21的一端固定連接有注入量控制容器18,注入量控制容器18的內部內側固定連接有注入量觀察刻度線19,注入量控制容器18的一側嵌入連接有限流銷20。推薦的,翻折觀察板4的內部頂部活動連接有觀察窗翻折滾輪401,觀察窗翻折滾輪401的底端活動連接有內嵌觀察窗402,該裝置在進行制備時,具有一定的危險性,工作人員無法直接對其內部的運行狀況進行很好的實時查看,通過設置內嵌觀察窗402。安慶京東方用的蝕刻液蝕刻液按需定制蘇州BOE蝕刻液的價格。

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一種ito蝕刻液及其制備方法、應用方法技術領域1.本技術涉及化學蝕刻技術領域,具體涉及一種ito蝕刻液及其制備方法、應用方法。背景技術:2.目前,電子器件的基板表面(例如顯示器件的陣列基板)通常帶有一定圖案的氧化銦錫(ito)膜,以便后續給電子器件可控通電。該ito膜通常通過化學蝕刻的方法蝕刻ito材料層形成。其中,對于多晶ito(p-ito)材料,所用蝕刻液主要包括硫酸系、王水系ito蝕刻液。王水系蝕刻液成本低,但其蝕刻速度快,蝕刻的角度難以控制,且容易對ito膜的下層金屬造成二次腐蝕。技術實現要素:3.有鑒于此,為克服目前存在的技術難題,本技術提供了一種ito蝕刻液及其制備方法、應用方法。4.具體地,本技術首先方面提供了一種ito蝕刻液,所述ito蝕刻液包括以下重量份數的各組分:20-22份的鹽酸,6-7份的硝酸,0.5-3份的酸抑制劑,0.5-3份的表面活性劑,以及水;其中,所述酸抑制劑包括n,n-二異丙基乙胺、n,n-二異丙基乙醇胺中的至少一種;所述表面活性劑包括聚氧乙烯脂肪胺、聚氧乙烯脂肪二胺中的至少一種。5.通過對蝕刻液中硝酸及鹽酸的含量進行精確限定,以實現了對王水系蝕刻液蝕刻速度的初步調控,并在一定程度上實現了對蝕刻角度的控制(蝕刻角度小于35

本發明涉及一種用來在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦的蝕刻液及使用該蝕刻液的蝕刻方法。背景技術:以往,在蝕刻鈦時一直使用含有氫氟酸或過氧化氫的蝕刻液。例如專利文獻1中提出了一種鈦的蝕刻液,該鈦的蝕刻液是用來在銅或鋁的存在下蝕刻鈦,并且該蝕刻液的特征在于:利用由10重量%至40重量%的過氧化氫、%至5重量%的磷酸、%至%的膦酸系化合物及氨所構成的水溶液將pH值調整為7至9。但是,含有氫氟酸的蝕刻液存在毒性高的問題,含有過氧化氫的蝕刻液存在缺乏保存穩定性的問題。現有技術文獻專利文獻專利文獻1:日本特許第4471094號說明書。技術實現要素:發明所要解決的問題本發明是鑒于所述實際情況而成,其目的在于提供一種蝕刻液及使用該蝕刻液的蝕刻方法,所述蝕刻液可在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦,而且毒性低,保存穩定性優異。解決問題的技術手段本發明的蝕刻液是為了在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦而使用,并且含有:選自由硫酸、鹽酸及三氯乙酸所組成的群組中的至少一種酸;以及選自由硫酮系化合物及硫醚系化合物所組成的群組中的至少一種有機硫化合物。所述硫酮系化合物推薦為選自由硫脲、二乙基硫脲及三甲基硫脲所組成的群組中的至少一種。哪家的蝕刻液的價格優惠?

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銅蝕刻液適用于印制版銅的蝕刻,蝕刻速度快。蝕刻速度達4~5um/min。廢液回收簡單,用于印制板,線路板。本劑也可用于銅工藝品等的蝕刻。蝕刻后的板面平整而光亮。銅蝕刻液的反應速度快、使用溫度低、溶液使用壽命長,后處理容易,對環境污染小。用于銅質單面板,雙面板、首飾蝕刻,可以蝕刻出任意精美的形態,有效提高蝕刻速度,節約人工水電。常常應用于印刷線路板銅的蝕刻處理1、蝕刻速度快,效率高。使用方便。蝕刻速度可達10微米/分鐘。2、可循環使用,無廢液排放。1、藍色透明液體,有氣味。2、比重:1.10~1.13。3、PH值:10~11.0。1、采用浸泡的方法即可,浸泡過程中要攪動蝕刻液或移動工件。蝕刻溫度為20~40℃,在通風排氣處操作,操作時要蓋好蓋子。2、蝕刻時間可以根據蝕刻的深度確定。優先蘇州博洋化學股份有限公司。廣東BOE蝕刻液蝕刻液銷售廠家

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其中輸送裝置借由至少一呈順時針方向轉動的滾輪帶動基板由噴灑裝置的下端部朝向風刀裝置的***風刀的下端部的方向移動。如上所述的蝕刻方法,其中風刀裝置分別借由一設置于該輸送裝置的上端部的***風刀與一設置于該輸送裝置的下端部的第二風刀朝向基板的上表面與下表面吹送氣體。借此,本實用新型所產生的技術效果:本實用新型的擋液板結構與以之制備的蝕刻設備主要借由具有復數個宣泄孔的擋液板結構搭配風刀裝置的硬體設計,有效使風刀裝置吹出的氣體得以經由宣泄孔宣泄,并利用水滴的表面張力現象防止水滴由宣泄孔落下造成基板蝕刻不均等異常現象,確實達到保有原始擋液板的擋液效果,以及增加透氣性以破除真空以減少因真空吸板導致的基板刮傷或破片風險等主要優勢。附圖說明圖1:傳統擋液板結構的整體設置示意圖。圖2:本實用新型擋液板結構其一較佳實施例的整體結構示意圖。圖3:本實用新型擋液板結構其一較佳實施例的宣泄孔排列示意圖。圖4:本實用新型擋液板結構其二較佳實施例的宣泄孔排列示意圖。圖5:本實用新型擋液板結構其三較佳實施例的宣泄孔排列示意圖。圖6:本實用新型蝕刻設備其一較佳實施例的整體結構示意圖。江蘇銅蝕刻液蝕刻液批量定制

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