本發明涉及蝕刻液組合物及選擇添加于該蝕刻液組合物的硅烷系偶聯劑的方法。背景技術：參照圖1，可以確認3dnand閃存(flashmemory)制造工序中的一部分。3dnand閃存可以通過在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性去除氮化物膜的工序(wetremovalofnitride)來制造。在不損傷氧化物膜的同時將氮化物膜完全去除是這樣的氮化物膜去除工序(wetremovalofnitride)的**技術之一。一般而言，氮化物膜去除工序中所使用的蝕刻液組合物利用具有防蝕能力的添加劑以獲得在不損傷氧化物膜的同時*將氮化物膜完全去除的效果。但是，想要在不損傷氧化物膜的范圍內將氮化物膜完全去除時，會使用防蝕能力強的添加劑，由此可能發生氮化物膜沒有被完全去除的工序不良(參照圖2)。此外，想要將氮化物膜完全去除時，會使用防蝕能力弱的添加劑，由此雖然氮化物膜被完全去除，但是可能發生對氧化物膜也造成損傷(damage)的工序不良(參照圖3)。以往，為了在包含氧化物膜和氮化物膜的多層膜中*將氮化物膜選擇性完全去除而選擇具有適當水平的防蝕能力的添加劑時，按照添加劑的種類和濃度通過實驗進行確認。沒有這樣的實驗確認就選擇添加劑實際上是不可能的。蝕刻液使用時要注意什么？無錫鋁鉬鋁蝕刻液蝕刻液供應商

操作人員的手會與連接構件11接觸，海綿層12可以將操作人員手上的水分進行吸收，避免連接構件11的兩側與操作人員的手接觸的時候，會因操作人員的手沾濕出現手滑的情況，有效的保證了裝置內部構件的連接工作能正常的進行；然后，通過連接構件11將裝置主體1內部構件進行連接，連接構件11設置有十四個，連接構件11設置在攪拌倉23的底部，連接構件11與攪拌倉23固定連接，連接構件11能將裝置主體1內部的兩個構件進行連接并固定，且在將兩構件進行連接或拆卸的時候，不需要使用任何工具就能完成安裝和拆卸工作，在將兩構件的連接管放在連接構件11的兩端，再通過連接管與連接構件11內側兩端的螺紋管27進行連接，通過轉動連接構件11的兩側部位，同時使連接管與連接構件11的中間位置固定住，通過活動軸28的作用，使連接管通過連接有的螺紋向內來連接，使連接管將密封軟膠層29進行擠壓，使兩構件的連接管進行密封連接，有效的提高了裝置連接的實用性；接著，更換或添加硝酸鉀儲罐21或其它儲罐內的制備材料，硝酸鉀儲罐21的頂部嵌入連接有密封環22，在將制備蝕刻液儲罐加入制備材料的時候，需要將儲罐進行密封，密封環22能將硝酸鉀儲罐21和其他儲罐的頂蓋與儲罐主體連接的位置進行密封。佛山BOE蝕刻液蝕刻液產品介紹質量好的做蝕刻液的公司。

12、伸縮桿；13、圓環塊；14、連接桿；15、回流管；16、增壓泵；17、一號排液管；18、一號電磁閥；19、抽氣泵；20、排氣管；21、集氣箱；22、二號排液管；23、二號電磁閥；24、傾斜板；25、活動板；26、蓄水箱；27、進水管；28、抽水管；29、三號電磁閥；30、控制面板。具體實施方式下面將結合本發明實施例中的附圖，對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本發明一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本發明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發明保護的范圍。請參閱圖1-5，本發明提供一種技術方案：一種廢銅蝕刻液的回收處理裝置，包括裝置主體1，裝置主體1內部中間位置固定安裝有分隔板2，分隔板2左端表面靠近中間位置固定安裝有承載板3，承載板3上端表面放置有電解池4，電解池4內部中間位置設置有隔膜5，裝置主體1上端表面靠近右側安裝有進液漏斗6，進液漏斗6上設置有過濾網7，裝置主體1內部靠近頂端設置有進液管8，進液管8左端連接有伸縮管9，伸縮管9下端安裝有噴頭10，裝置主體1上端表面靠近左側固定安裝有液壓缸11，液壓缸11下端安裝有伸縮桿12。

技術實現要素：本實用新型所解決的技術問題即在于提供一種擋液板結構與以之制備的蝕刻設備，尤其是指一種適用于濕式蝕刻機的擋液排液功能且增加其透氣性以降低產品損耗的擋液板結構與以之制備的蝕刻設備，主要借由具有復數個宣泄孔的擋液板結構搭配風刀裝置的硬體設計，有效使風刀裝置吹出的氣體得以經由宣泄孔宣泄，并利用水滴的表面張力現象防止水滴由宣泄孔落下造成基板顯影不均等異常現象，確實達到保有原始擋液板的擋液效果，以及增加透氣性以破除真空以減少因真空吸板導致的基板刮傷或破片風險等主要優勢。本實用新型所采用的技術手段如下所述。為了達到上述的實施目的，本實用新型提出一種擋液板結構，適用于一濕式蝕刻機，擋液板結構包括有一***擋板、一與***擋板接合的第二擋板，以及一與第二擋板接合的第三擋板，其主要特征在于：第二擋板具有復數個貫穿第二擋板且錯位設置的宣泄孔。如上所述的擋液板結構，其中***擋板與第二擋板呈正交設置，且第二擋板與第三擋板呈正交設置。如上所述的擋液板結構，其中***擋板、第二擋板與第三擋板圍設成一凹槽的態樣。如上所述的擋液板結構，其中第二擋板的長度介于10厘米(centimeter，cm)至15厘米(cm)之間。蘇州博洋化學股份專業生產BOE蝕刻液。

步驟一s1：設置一擋液板結構10，其中該擋液板結構10設置有復數個宣泄孔121；該擋液板結構10包括有一***擋板11、一與該***擋板11接合的第二擋板12，以及一與該第二擋板12接合的第三擋板13，其中該第二擋板12具有復數個貫穿該第二擋板12且錯位設置的宣泄孔121，該復數個宣泄孔121呈千鳥排列的直通孔態樣，且位于同一列的宣泄孔121之間具有相同的距離，其中該宣泄孔121的孔徑a0比較好小于3mm，以使該宣泄孔121的孔洞內產生毛細現象，若該第二擋板12的該上表面123有水滴出現時，則該水滴不至于經由該宣泄孔121落至下表面122，但仍舊可以提供空氣宣泄的管道，以借由該宣泄孔121平衡該第二擋板12上、下二端部的壓力。步驟二s2：使用一設置于該擋液板結構10下方的輸送裝置30輸送一基板20，以經過一噴灑裝置50進行一藥液51噴灑；在本實用新型其一較佳實施例中，該噴灑裝置50設置于該擋液板結構10的一端部，且該基板20設置于該擋液板結構10的下方約8毫米至15毫米之間，其中該噴灑裝置50用以噴灑一藥液51至該基板20上，以對該基板20進行一濕式蝕刻制程，該擋液板結構10的設置即是為了避免該噴灑裝置50的藥液51繼續對已經完成蝕刻步驟的基板20再進行蝕刻制程。蝕刻液的配方是什么？揚州ITO蝕刻液蝕刻液聯系方式

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使硝酸鉀儲罐21和其它儲罐的內部形成一個密閉的空間，避免環境外部的雜質進入儲罐內，有效的提高了裝置使用的密封性；緊接著，將磷酸與醋酸在個攪拌倉23中充分攪拌混合均勻，然后在第二個攪拌倉23中與硝酸充分攪拌混合均勻后，再進入配料罐中混合，將陰離子表面活性劑和聚氧乙烯型非離子表面活性劑在第三個攪拌倉23混合后再進入第四個攪拌倉23中，與氯化鉀、硝酸鉀、去離子水一起在第四個攪拌倉23中混合均勻，然后過濾后封裝，先檢查過濾板26進行更換或安裝，過濾部件9的內部兩側嵌入連接有過濾板26，常規的生產方法是將蝕刻液中的各組份在同一容器中一起混合，其分散混合性能差，蝕刻液雜質含量多，過濾板26能將蝕刻液內部的雜質進行過濾，使制備出的蝕刻液的雜質被過濾板26過濾出，得到不含雜質的蝕刻液，避免多種強酸直接共混有效的減小了蝕刻液制備的安全隱患；，通過過濾部件9將蝕刻液進行過濾，過濾部件9設置有一個，過濾部件9設置在連接構件11的內側，過濾部件9與連接構件11固定連接，過濾部件9能將制備出的蝕刻液進行過濾，且過濾部件9能將內部的過濾板26進行拆卸更換，將過濾部件9的內部進行清洗，在將過濾部件9進行連接安裝時，將滑動蓋24向外側滑動。無錫鋁鉬鋁蝕刻液蝕刻液供應商