銅蝕刻液近期成為重要的微電子化學品產品,廣泛應用于平板顯示、LED制造及半導體制造領域。隨著新技術的不斷進步,對該蝕刻液也有了更高的要求。并且之前市場上的銅蝕刻液成分普遍存在含氟、硝酸或高濃度雙氧水的情況。在此基礎上我司自主進行了無氟,無硝酸,低雙氧水濃度銅蝕刻液的研發,并可兼容于不同CuMo鍍膜厚度之工藝。產品特點:1.6%雙氧水濃度的銅蝕刻液lifetime可至7000ppm。2.末期銅蝕刻液工藝溫度(32)下可穩定72H,常溫可穩定120H;無暴沸現象。3.銅蝕刻液CD-Loss均一性良好,taper符合制程要求。4.銅蝕刻液可兼容MoCu結構不同膜厚度的機種。蝕刻液的時刻速率是多少;廣州哪家蝕刻液蝕刻液什么價格

內部頂部兩側的震蕩彈簧件14,震蕩彈簧件14頂端的運轉電機組13,運轉電機組13頂端的控制面板15,內部中間部位的致密防腐桿16和致密防腐桿16內部內側的攪動孔17共同組合而成,由于鹽酸硝酸具有較強的腐蝕性,常規的攪拌裝置容易被腐蝕,影響蝕刻液的質量,用防腐蝕的聚四氟乙烯攪拌漿進行攪拌,成本過高,且混合的效果不好,通過設置高效攪拌裝置2,該裝置通過運轉電機組13驅動旋轉搖勻轉盤12,使旋轉搖勻轉盤12帶動高效攪拌裝置2進行旋轉搖勻,同時設置的震蕩彈簧件14可通過驅動對高效攪拌裝置2進行震蕩搖勻,高效攪拌裝置2內部的蝕刻液通過內置的致密防腐桿16,致密防腐桿16內部的攪動孔17能夠使蝕刻液不斷細化均勻化,從而很好的防止了蝕刻液的腐蝕,且成本低廉,攪拌均勻效果較好。推薦的,注入量精確調配裝置是由鹽酸裝罐7內部一側的嵌入引流口22,嵌入引流口22一端的負壓引流器21,負壓引流器21一端的注入量控制容器18,注入量控制容器18內部內側的注入量觀察刻度線19和注入量控制容器18一側的限流銷20共同組合而成,現有的制備裝置無法對相關原料的注入量進行精確控制,無法很好的保證蝕刻液制備的純度,通過設置注入量精確調配裝置。廣東市面上哪家蝕刻液銷售公司蝕刻液 [博洋化學] 新工藝,實現循環使用!

可用于銀鎳合金、銀銅合金以及純銀的蝕刻,蝕刻后板面平整光滑。劑對油墨沒有影響,可用于花紋蝕刻處理。三、使用方法:1、原液使用,不須加水,操作溫度可以是25℃-60℃,溫度越高,速度越快。2、將銀板浸泡在銀蝕刻劑中。用軟毛刷來回輕輕刷動,使藥水與銀充分均勻反應;或者也可以用搖床,使藥水來回動運,使板蝕刻速度加快。但不能超聲波,以免破壞(感光)油墨。參考數據:50℃→5分鐘→0.1毫米深度。30℃→20分鐘→0.1毫米深度。3、水洗后做后續處理。
本發明涉及一種用來在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦的蝕刻液及使用該蝕刻液的蝕刻方法。背景技術:以往,在蝕刻鈦時一直使用含有氫氟酸或過氧化氫的蝕刻液。例如專利文獻1中提出了一種鈦的蝕刻液,該鈦的蝕刻液是用來在銅或鋁的存在下蝕刻鈦,并且該蝕刻液的特征在于:利用由10重量%至40重量%的過氧化氫、%至5重量%的磷酸、%至%的膦酸系化合物及氨所構成的水溶液將pH值調整為7至9。但是,含有氫氟酸的蝕刻液存在毒性高的問題,含有過氧化氫的蝕刻液存在缺乏保存穩定性的問題。現有技術文獻專利文獻專利文獻1:日本特許第4471094號說明書。技術實現要素:發明所要解決的問題本發明是鑒于所述實際情況而成,其目的在于提供一種蝕刻液及使用該蝕刻液的蝕刻方法,所述蝕刻液可在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦,而且毒性低,保存穩定性優異。解決問題的技術手段本發明的蝕刻液是為了在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦而使用,并且含有:選自由硫酸、鹽酸及三氯乙酸所組成的群組中的至少一種酸;以及選自由硫酮系化合物及硫醚系化合物所組成的群組中的至少一種有機硫化合物。所述硫酮系化合物推薦為選自由硫脲、二乙基硫脲及三甲基硫脲所組成的群組中的至少一種。BOE蝕刻液廠家直銷價格。

圖7:本實用新型蝕刻設備其一較佳實施例的擋液板結構運作局部放大圖。圖8:本實用新型蝕刻設備其一較佳實施例的擋液板結構結合風刀裝置示意圖。圖9:本實用新型蝕刻設備其一較佳實施例的宣泄孔的表面張力局部放大圖。圖10:本實用新型蝕刻設備其二較佳實施例的擋液板結構結合風刀裝置示意圖。圖11:本實用新型蝕刻設備其三較佳實施例的擋液板結構結合風刀裝置示意圖。圖12:本實用新型擋液板結構其二較佳實施例的宣泄孔的表面張力局部放大圖。圖13:本實用新型蝕刻方法的步驟流程圖。圖號說明:傳統擋液板結構a擋液板結構b風刀c氣體本實用新型1蝕刻設備10擋液板結構11***擋板12第二擋板121宣泄孔1211***壁面1212第二壁面122下表面123上表面13第三擋板20基板30輸送裝置31滾輪40風刀裝置41***風刀42第二風刀43氣體50噴灑裝置51藥液s1步驟一s2步驟二s3步驟三s4步驟四h長度θ夾角θ1***夾角θ2第二夾角θ3第三夾角θ4接觸角a0孔徑a1上孔徑a2下孔徑w、w1、w2距離。具體實施方式首先,請參閱圖2與圖3所示,為本實用新型擋液板結構其一較佳實施例的整體結構示意圖,以及宣泄孔排列示意圖,其中本實用新型的擋液板結構10適用于一濕式蝕刻機(圖式未標示)。蝕刻液蝕刻后如何判斷好壞 ?佛山銅鈦蝕刻液蝕刻液配方技術
BOE蝕刻液歡迎咨詢蘇州博洋化學股份。廣州哪家蝕刻液蝕刻液什么價格
避免連接構件11的兩側與操作人員的手接觸的時候,會因操作人員的手沾濕出現手滑的情況,有效的保證了裝置內部構件的連接工作能正常的進行。推薦的,支撐腿2的底端嵌入連接有防滑紋6,在制備蝕刻液的時候,需要將裝置固定的特定的位置,通過支撐腿2將裝置主體1進行支撐固定,在支撐腿2與固定位置的接觸面接觸時,防滑紋6能增大支撐腿2的底端與固定接觸面的摩擦力,使裝置主體1能有足夠的抓地力固定在固定位置上,有效的提高了裝置固定的防滑性。推薦的,過濾部件9的內部兩側嵌入連接有過濾板26,常規的生產方法是將蝕刻液中的各組份在同一容器中一起混合,其分散混合性能差,蝕刻液雜質含量多,過濾板26能將蝕刻液內部的雜質進行過濾,使制備出的蝕刻液的雜質被過濾板26過濾出,得到不含雜質的蝕刻液,避免多種強酸直接共混有效的減小了蝕刻液制備的安全隱患。推薦的,過濾部件9設置有一個,過濾部件9設置在連接構件11的內側,過濾部件9與連接構件11固定連接,過濾部件9能將制備出的蝕刻液進行過濾,且過濾部件9能將內部的過濾板26進行拆卸更換,將過濾部件9的內部進行清洗,在將過濾部件9進行連接安裝時,將滑動蓋24向外側滑動。廣州哪家蝕刻液蝕刻液什么價格