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來源: 發布時間:2024-04-05

    圖1為本發明實施例提供的一種拋光減薄裝置的結構示意圖;圖2為本發明實施例提供的一種托盤和待加工部件的鍵合固定方式示意圖;圖3為本發明實施例提供的一種磁轉子的結構示意圖;圖4為本發明實施例提供一種磁轉子的旋轉方式的示意圖;圖5為本發明實施例提供的一種拋光減薄方法的流程示意圖。具體實施方式以上是本發明的思想,為使本發明的上述目的、特征和優點能夠更加明顯易懂,下面將結合本發明實施例中的附圖,對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例是本發明一部分實施例,而不是全部的實施例。基于本發明中的實施例,本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本發明保護的范圍。本發明實施例提供了一種拋光減薄裝置,用于對inp基晶圓等部件進行拋光減薄,如圖1所示,包括托盤10、噴頭11和磁轉子12,當然,本發明實施例中的拋光減薄裝置還包括反應室13等,托盤10、噴頭11和磁轉子12等在反應室13內進行拋光和減薄反應。其中,托盤10,可選為石英托盤,用于固定待加工部件20,待加工部件20包括inp基晶圓。噴頭11用于向待加工部件20的待加工表面噴涂拋光液110,以對待加工表面進行拋光。質量比較好的減薄用清洗劑的公司找誰?顯示面板用減薄用清洗劑批量定制

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    圖2為所述蝕刻區的結構示意圖;圖3為所述玻璃加工治具的種結構正視圖;圖4為所述玻璃加工治具的第二種結構正視圖;圖5為圖3中的局部放大圖;圖6為所述玻璃加工治具的結構俯視圖;圖7為所述底支撐件的結構正視圖;圖8為所述底支撐件的結構側視圖。圖中數字表示:1-轉換區;2-沖洗區;3-蝕刻區;4-玻璃加工治具;31-腔室;32-主厚度測量儀;33-噴淋組件;41-底座;42-支撐架;43-底支撐件;44-側支撐件;421-豎直平板;422-側板;423-固定板;424-水平槽;425-豎直槽;426-固定槽;427-固定卡塊;428-定位槽;429-定位孔;431-支撐條;432-第二支撐條;433-連接部;434-接觸部;435-磁性件;436-第二磁性件;437-限位孔;438-限位塊;439-第二限位塊。具體實施方式以下結合附圖,對本發明上述的和另外的技術特征和優點作更詳細的說明。實施例一如圖1所示,圖1為所述玻璃減薄設備的結構視圖;本發明中所述玻璃減薄設備包括轉換區1、沖洗區2和蝕刻區3,所述沖洗區2設置于所述轉換區1和所述蝕刻區3之間,豎直容納在玻璃加工治具4中的多個玻璃通過所述轉換區1被加載到所述沖洗區2中,在所述沖洗區2中進行減薄前清潔并且在所述蝕刻區3中經歷減薄處理。南京哪里減薄用清洗劑商家減薄清洗劑,采用科技,為您帶來好的清潔效果。

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    產生不良次品;同時由于所述側支撐件44的移動,可帶動玻璃在所述玻璃加工治具4上的擺動,從而實現玻璃與噴淋液的充分均勻接觸。較佳的,所述底座41和實施支撐架42上均設置有若干流通孔,所述流通孔便于所述玻璃加工治具4上的所述噴淋液流至所述收集槽內。實施例四所述支撐架42包括對應設置的架體和第二架體,所述架體和所述第二架體均固定設置在所述底座41上,所述架體包括平行對應設置的兩豎直平板421,所述第二架體為與所述豎直平板421連接的對應兩側板422,所述架體和所述第二架體形成盛放部,玻璃設置在所述盛放部內;所述側板422和所述豎直平板421可均固定設置于所述底座41上,也可相互固定連接形成穩定的矩形框架。所述架體和所述第二架體均設置有若干所述側支撐件44,且所述側支撐件44對應所述底支撐件43設置。較佳的,所述架體上固定設置有若干固定孔,所述側支撐件44可根據玻璃的具體尺寸在相應所述固定孔上固定設置;所述第二架體上設置有調節槽,對應所述調節槽還設置有固定板423,所述固定板423的兩端分別設置在對應兩所述側板422的所述調節槽上,并可在所述調節槽內調節移動,從而可使所述玻璃加工治具4適用于不同尺寸的玻璃放置。一般的。減薄用清洗劑的的概費用是多少?

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    本發明提供如下技術方案:一種拋光減薄裝置,包括:托盤,用于固定待加工部件,所述待加工部件包括inp基晶圓;噴頭,用于向所述待加工部件的待加工表面噴涂拋光液,以對所述待加工表面進行拋光;磁轉子,放置在所述待加工部件的待加工表面上,用于通過旋轉對所述待加工表面進行機械研磨,對所述待加工表面進行減薄。可選地,還包括控制部件;所述控制部件與所述磁轉子和所述噴頭相連,用于控制所述噴頭和所述磁轉子交替工作,以對所述待加工表面交替進行拋光和減薄。可選地,所述磁轉子包括截面為半圓形的柱狀磁性結構和位于所述磁性結構底部的研磨層,以通過所述研磨層對所述待加工表面進行機械研磨。可選地,所述研磨層為金屬氧化物層,所述金屬氧化物層包括三氧化二鋁層。可選地,還包括:熱板,設置于所述托盤底部,用于對所述托盤進行加熱,以使所述待加工部件與所述托盤鍵合固定。可選地,所述待加工部件與所述托盤通過光刻膠鍵合固定。一種拋光減薄方法,包括:將待加工部件固定在托盤上,所述待加工部件包括inp基晶圓;通過噴頭向所述待加工部件的待加工表面噴涂拋光液,來對所述待加工表面進行拋光;通過磁轉子旋轉對所述待加工表面進行機械研磨。顯示面板用減薄用清洗劑批量定制

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