全自動磷化線工作流程

1.前處理：晶圓清洗、去氧化層、活化表面。

2.裝載：將晶圓固定于旋轉載具，浸入鍍液。

3.電鍍：

施加電流，金屬離子在晶圓表面還原沉積。

旋轉載具確保鍍液流動均勻，消除厚度差異。

4.后處理：鍍層退火、清洗、干燥。

技術特點

1.高均勻性：

旋轉+噴淋設計減少“邊緣增厚”現象，鍍層均勻性達±5%以內。

2.精密控制：電流密度精度：±1 mA/cm2；溫度波動：±0.5℃。

3.潔凈度保障：設備內建HEPA過濾系統，滿足Class 1000以下潔凈環境。

4.高效生產：支持多片晶圓同時處理（如6片/批次），UPH（每小時產量）可達50~100片。

應用場景

1.先進封裝：2.5D/3D IC的TSV鍍銅、Fan-Out封裝中的RDL金屬化。

2.功率器件：IGBT、MOSFET背面金屬化（鍍銀、鍍鎳）。

3.傳感器與MEMS：微結構表面鍍金，提升電氣性能與可靠性。 自動化電鍍線的機器人上下料系統，通過視覺識別定位工件，實現高精度無人化操作。四川出口型電鍍設備

半導體滾鍍設備

是一種于半導體制造中金屬化工藝的精密設備，主要用于在半導體晶圓、芯片或微型元件表面沉積均勻的金屬鍍層。其在于通過可控的電化學或化學鍍工藝，實現高精度、高一致性的金屬覆蓋，滿足集成電路封裝、先進封裝及微機電系統等領域的特定需求

與傳統滾鍍不同，半導體滾鍍更注重工藝潔凈度、鍍層精度及與半導體材料的兼容性。

二、功能

1.金屬互連：在晶圓上形成銅導線。

2.凸塊制備：沉積錫、銅、金等材料，用于芯片與基板的電氣連接。

3.阻擋層/種子層鍍覆：鍍鈦、鉭等材料，防止金屬擴散并增強附著力。

三、設備組成

1.電鍍槽：

材質：耐腐蝕材料，避免污染鍍液

鍍液循環系統：維持鍍液成分均勻，過濾顆粒雜質

2.旋轉載具：

晶圓固定裝置：真空吸附或機械夾持，確保晶圓平穩旋轉

轉速控制：通過伺服電機調節轉速，優化鍍層均勻性

3.陽極系統：

可溶性/不溶性陽極：銅、鉑等材料，依鍍層需求選擇

陽極位置調節：控制電場分布，減少邊緣效應

4.供液與噴淋系統：

多點噴淋頭：均勻分配鍍液至晶圓表面，避免氣泡滯留

流量控制：精確調節鍍液流速，匹配不同工藝需求

5.控制系統：

PLC/工控機：集成溫度、pH值、電流密度等參數監測與反饋。

配方管理：存儲不同鍍層的工藝參數 福建手動電鍍設備檢測設備配備 X 射線測厚儀與 pH 傳感器，在線監測鍍層厚度及藥液參數，實時反饋并修正工藝偏差。

龍門自動線的特點

高精度定位

伺服系統+光柵尺反饋，確保工件浸鍍位置誤差＜1mm適用于精密電子接插件、汽車精密部件等對鍍層均勻性要求高的場景（厚度偏差±3-5%）。

多工藝兼容性

可集成除油、酸洗、電鍍、鈍化、烘干等20+工序支持掛鍍、滾鍍（通過可切換掛具）混合生產

柔性化生產

通過編程快速切換工件類型（換型時間＜30分鐘）支持小批量多品種（如同時處理10種不同規格螺栓）

穩定性強

故障率＜0.5%（關鍵部件如電機、傳感器采用工業級防護）連續運行壽命＞10萬小時

典型應用

行業                                        應用案例                                          工藝要求                                            汽車制造                  發動機支架鍍鋅、輪轂鍍鉻                     耐鹽霧＞720小時，厚度10-15μm

電子行業                  手機接口鍍金、PCB接插件鍍鎳 鍍層         孔隙率＜5個/cm2                                          五金                   衛浴鍍銅鎳鉻三鍍層                        表面粗糙度Ra＜0.2μm

被動元器件與電鍍設備的應用案例：

案例1：MLCC端電極電鍍

           流程：陶瓷燒結→端面研磨→濺射鎳層→電鍍銅/錫層→激光切割分粒。

          設備：濺射鍍膜機+滾鍍線，確保端電極導電性與焊接性。

案例2：薄膜電阻調阻后電鍍

          流程：氧化鋁基板→濺射鎳鉻電阻膜→激光調阻→電鍍鎳/錫保護層。

           作用：電鍍層防止調阻后的敏感膜層氧化，并提升端面焊接性能。

案例3：功率電感引腳鍍錫

           流程：磁芯繞線→引腳焊接→電鍍純錫→熱風整平。

          目標：降低接觸電阻，適應大電流場景。 懸掛傳輸設備以鏈條或龍門架為載體，實現工件在各槽體間自動轉移，減少人工干預并提高生產節奏。

玻璃鋼離心風機是采用玻璃纖維增強塑料（FRP）制造的離心式通風設備，由玻璃鋼葉輪、機殼及金屬支架構成。工作時電機驅動葉輪高速旋轉，通過離心力將氣體甩出機殼，葉輪中心形成負壓持續吸入氣體，實現高效輸送。其特點包括：1. 耐酸堿鹽腐蝕，適用于化工、污水處理等腐蝕性環境；2. 重量輕強度高，便于運輸安裝且結構穩定；3. 低噪音設計，適合對環境要求高的場所；4. 可定制化適配不同風量風壓需求。廣泛應用于工業廢氣處理（如化工廢氣、冶金粉塵）、環保工程（污水處理廠除臭、垃圾站換氣）及民用通風（商場空調、住宅排油煙）等領域，兼具耐候性與經濟性后處理電鍍設備包含鈍化槽與干燥箱，前者增強鍍層耐腐蝕性，后者快速去除水分防止白斑。河南定制化電鍍設備

納米鍍層設備通過超聲攪拌與脈沖電源結合，制備微米級致密鍍層，滿足航空航天部件的超高防腐需求。四川出口型電鍍設備

如何選擇滾鍍機

一、零件特性：從形狀到材質的精細適配

1. 形狀復雜度

規則件--（如螺絲、螺母）：優先選擇臥式滾鍍機，六棱柱滾筒設計（開孔率 20%-40%）可實現零件均勻翻滾，鍍層均勻性達 95% 以上

精密件--（如半導體引線框架）：采用振動電鍍機，通過電磁振動（振幅 0.1-2mm）減少零件碰撞，鍍層厚度偏差≤±5μm，孔隙率可降至 0.4 個 /cm2 以下。

復雜件--（如帶盲孔的航空零件）：離心滾鍍機（轉速 50-200rpm）利用離心力強化鍍液滲透，鍍層致密性提升 30%，適合功能性鍍層（如鍍硬鉻）。

2. 材質與尺寸

脆性材料（如陶瓷、玻璃）：選擇傾斜式滾筒，降低翻滾沖擊力，避免零件破損。

微型零件（如電子元件）：精密微型滾鍍機（滾筒容量≤5L）適配，菱形網孔（開孔率＞45%）和螺旋導流板設計確保鍍層均勻，孔隙率＜0.1%10。

大型零件（如汽車輪轂）：需定制非標臥式滾鍍機，單槽負載可達 50kg，配合變頻調速（0.5-15rpm）實現鍍層厚度可控。

二、鍍層工藝：從基礎防護到功能

1. 鍍層類型

防護性鍍層（鍍鋅、鎳）：

鍍鋅：適合電子元件。

鍍鎳：用于衛浴五金

功能性鍍層（硬鉻、貴金屬）：

硬鉻：需搭配三價鉻工藝（毒性降低 96%）。

鍍金 / 銀：需選擇磁耦合驅動設備，防止鍍液泄漏。 四川出口型電鍍設備