廣東華芯半導體技術有限公司2025-10-10

追溯需從四方面排查：一是查真空度記錄，若固化階段真空度＞20Pa，可能是真空系統泄漏；二是查升溫曲線，若升溫速率＞5℃/min，可能是揮發物排出不及時；三是查膠水批次，若膠水過期或儲存不當，易產生氣泡；四是查點膠量，若點膠過多，膠水內空氣難排出。追溯后針對性調整，可減少氣泡率。廣東華芯半導體技術有限公司的真空固晶爐有參數記錄功能，便于追溯原因。

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