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半導體光刻車間對AMC(氣態分子污染物)有什么特殊要求？

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廣東楚嶸建設工程有限公司2025-07-26

控制標準： 污染物類型 限值 酸類(如HF) ≤0.1 ppb 堿類(NH?) ≤1 ppb 有機物 ≤2 ppb 技術方案： 化學過濾器(ULPA+活性炭復合) 不銹鋼風管電拋光(RA≤0.5μm)

本回答由 廣東楚嶸建設工程有限公司 提供

廣東楚嶸建設工程有限公司
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簡介：廣東楚嶸建設工程有限公司專注于廠房凈化、高效機房和節能改造，擁有多學科專業團隊，提供EPC總承包服務
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廣東楚嶸建設工程有限公司

聯系人： 徐碧聯

手   機： 13678009965

網   址： http://gdcrjs.shop.88360.com

地   址：
廣東省潮州市湘橋區廣東省東莞市萬江街道牌樓基教育路9號419室
廣東楚嶸
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