廣東華升納米科技股份有限公司2025-11-22

金屬表面處理真空鍍膜后薄膜易脫落，主因四類：①清洗不徹底，殘油或水膜降低化學鍵合；②界面氧化，基底暴露大氣生成鈍化層；③應力失配，熱膨脹差異大且膜厚過厚；④冷卻過快，溫差>5℃/min誘發微裂。對策：①超聲堿洗+IPA脫水，進腔前Ar等離子體100W轟擊3min，去有機殘膜并活化表面；②沉積前預通Cr或Ti過渡層100nm，阻斷氧化并緩沖膨脹；③梯度功率沉積，先低功率成核再升功率增厚，總應力降30%；④鍍畢充氮緩冷至80℃以下再破空，降溫速率≤2℃/min。經此金屬表面處理閉環，剝離強度>60N，劃格0級，保障批量金屬表面處理真空鍍膜良品率，降低金屬表面處理返工成本，穩定金屬表面處理交付節拍。

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