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GBC球閥在半導體特氣系統中如何達到超高純要求？

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上海大載機電有限公司2025-11-28

閥體內表面電拋光至Ra≤0.13μm，經顆粒檢測每平方厘米0.1μm以上顆粒不超過5個。閥座采用全氟醚橡膠，放氣率小于1×10??cc/sec。操作扭矩控制在0.5-1.5N·m范圍內，避免摩擦產生顆粒。出廠前經過三級清洗：溶劑清洗、超純水清洗、氮氣吹掃，潔凈度達到Class 0.1標準。

本回答由 上海大載機電有限公司 提供

上海大載機電有限公司
上海大載機電有限公司
簡介：2012 年成立的上海大載機電，丹佛斯代理企業。品質保真，專業服務，從銷售到銷服一體，未來持續創新。
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企業信息

上海大載機電有限公司

聯系人： 姚英利

手   機： 18221569131

網   址： https://www.refcn.com/

地   址：
上海市市轄區青浦區練塘鎮朱楓公路3424號1幢2層P區16室
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