廣東華升納米科技股份有限公司2025-11-22

長期停機后重啟頻發故障，金屬表面處理設備應先執行“暖機三步”： 更換旋片泵油并點動排氣，防止油乳化致抽速下降； 用氦質譜儀檢漏，重點檢查法蘭與觀察窗，漏率≤1×10???Pa·m3/s； 低功率空跑靶材30 min，逐步升壓，讓分子泵軸承重新分布潤滑膜。 同時校準真空計、溫控器與MFC，記錄數據波動，建立金屬表面處理日志，可大幅降低重啟故障率，保障金屬表面處理連續穩定生產。

本回答由 廣東華升納米科技股份有限公司 提供