廣東華芯半導體技術有限公司2025-10-09

能固晶柔性基板，但需重點注意三點：一是用柔性特定夾具固定，避免基板褶皺，夾具壓力控制在 0.1-0.3MPa；二是真空度設 20-40Pa，防止基板因真空度過高被吸變形；三是固化溫度降至 80-110℃，升溫速率 1-2℃/min，減少熱應力導致的基板收縮。點膠量需比剛性基板少 10%-15%，避免膠水滲透基板。廣東華芯半導體技術有限公司的真空固晶爐可定制柔性基板夾具，適配固晶需求。

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