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晶圓超聲掃描檢測前，對水質有哪些要求？

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杭州芯紀源半導體設備有限公司2025-09-13

檢測用水需為干凈去離子水，電阻率應≥1MΩ·cm，以減少水中雜質對超聲波信號的干擾；水質需定期檢測（如每周一次），避免因離子濃度升高導致檢測結果偏差。

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杭州芯紀源半導體設備有限公司
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簡介：杭州芯紀源半導體設備有限公司是一家專業從事半導體檢測設備研發、生產、銷售為一體的科技型企業。
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    杭州芯紀源半導體設備有限公司 2025-09-16

    去離子水需滿足以下條件：pH值6.5-7.5（中性環境避免腐蝕晶圓）、溶解氧含量<1ppm（防止氣泡產生）、微生物含量<10CFU/mL（避免生物污染）；水質更換周期需根據使用頻率調整（如每日檢測需每8小時更換一次）。

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    杭州芯紀源半導體設備有限公司 2025-09-19

    水質管理關鍵點包括：使用專門儲水罐（避免交叉污染）、安裝在線過濾系統（實時去除顆粒物）、定期清洗水槽（防止藻類生長）；若檢測高精度晶圓（如12英寸），需采用超純水（電阻率≥18MΩ·cm）。

    本回答由 杭州芯紀源半導體設備有限公司 提供

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企業信息

杭州芯紀源半導體設備有限公司

聯系人： 吳先生

手   機： 4008034068

網   址： https://www.xjy-tec.com

地   址：
浙江省杭州市市轄區良渚街道網周路99號4幢21層2103室
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