廣東華芯半導體技術有限公司2025-10-07
會。真空度波動會使膠水流動性不穩定,芯片受力不均,偏移量易超 ±0.01mm,不符合精密固晶要求。若真空度驟升,膠水易過度擴散,芯片易漂浮偏移;若真空度驟降,空氣殘留會導致膠水附著力下降,芯片易移位。解決需先校準真空系統,確保波動范圍≤±2Pa,再檢查真空泵油位與管道密封性。廣東華芯半導體技術有限公司的真空固晶爐配備真空穩定控制系統,可有效避免波動引發的偏移問題。
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