上海薈閣機(jī)械科技有限公司2025-08-21

薈閣機(jī)械采用激光位移閉環(huán)+光柵尺雙反饋，每毫秒校正一次伺服脈沖；關(guān)鍵工位用花崗巖基準(zhǔn)與恒溫20℃油冷，確保12小時(shí)連續(xù)運(yùn)行誤差≤±0.02mm。蘇州某晶圓劃片線已穩(wěn)定投產(chǎn)18個(gè)月，良率提升8%。

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