微納制造技術的發展，同樣涉及到科研體系問題。嚴格意義上來說，科研分為三個領域，一個是基礎研究領域，一個是工程化應用領域，一個是市場推廣領域。在發達國家的科研機制中。幾乎所有的基礎研究領域都是由國家或機構直接或間接支持的。這種基礎研究較看重的是對于國家、民生或**的長遠意義．而不是短期內的投入與產出。因而致力于基礎研究的機構或者人員。根本不用考慮研究的所謂“市場化”問題。而只是進行基礎、理論的研究。另一方面。工程化應用領域由專門的機構或職能部門負責，這些部門從應用領域、生產領域、制造領域抽調**、學者及相關專業人員，對基礎研究的市場應用前景進行分析，并提出可行性建議，末尾由市場或企業來進行工程化應用研究。末尾市場化推廣的問題自然是企業來做了。中國的高校和研究機構，做純理念和純基礎的并不多，中國大多是工程性項目研究。其理想模式為高校、研究所、企業三結合狀態，各司其職，各負其責。微納技術是繼JT、生物之后。21世紀較具發展潛力的高新技術，是未來十年高增長的新興產業。微納制造技術是微傳感器、微執行器、微結構和功能微納系統制造的基本手段和重要基礎。廣州半導體微納加工廠

微納加工設備主要有：光刻、刻蝕、鍍膜、濕法腐蝕、絕緣層鍍膜等。微納檢測主要是表征檢測：原子力顯微鏡、掃描電鏡、掃描顯微鏡、XRD、臺階儀等。每一個設備都包含比較多具體的分類。光刻機，也被稱為曝光機，三大類:步進式光刻機，接觸接近式光刻，電子束曝光。微納制造技術是指尺度為毫米、微米和納米量級的零件，以及由這些零件構成的部件或系統的設計、加工、組裝、集成與應用技術。傳統“宏”機械制造技術已不能滿足這些“微”機械和“微”系統的高精度制造和裝配加工要求，必須研究和應用微納制造的技術與方法。微納制造技術是微傳感器、微執行器、微結構和功能微納系統制造的基本手段和重要基礎。廣東MEMS微納加工公司目前微納制造領域較常用的一種微細加工技術是LIGA。

當前納米制造技術在環境友好方面有望大展身手的一些領域：1、照明：對于傳統的白熾光源來說，LEDs是一種高效能的替代，納米技術可用來開發更多新的光源。2、發動機/燃料效率：采用納米顆粒燃料添加劑能夠減少柴油機的能耗并改善局部空氣質量。微納材料也用來改善飛機渦輪葉片的熱阻性能，使得發動機可以在更高的溫度下繼續運轉，進而提高整個發動機的效率。3、減重：新型較強度復合材料能夠減輕材料的重量。未來的目標包括：在金屬合金和塑料中摻雜納米管來減少飛機的重量；改進橡膠配方中摻雜入輪胎的納米顆粒；利用通過納米技術制得的汽車等的催化式排氣凈化器優化車內燃料的燃燒過程。

    微納加工-薄膜沉積與摻雜工藝。在微納加工過程中，薄膜的形成方法主要為物理沉積、化學沉積和混合方法沉積。蒸發沉積（熱蒸發、電子束蒸發）和濺射沉積是典型的物理方法，主要用于沉積金屬單質薄膜、合金薄膜、化合物等。熱蒸發是在高真空下，利用電阻加熱至材料的熔化溫度，使其蒸發至基底表面形成薄膜，而電子束蒸發為使用電子束加熱；磁控濺射在高真空，在電場的作用下，Ar氣被電離為Ar離子高能量轟擊靶材，使靶材發生濺射并沉積于基底；磁控濺射方法沉積的薄膜純度高、致密性好，熱蒸發主要用于沉積低熔點金屬薄膜或者厚膜；化學氣相沉積（CVD）是典型的化學方法而等離子體增強化學氣相沉積（PECVD）是物理與化學相結合的混合方法，CVD和PECVD用于生長氮化硅、氧化硅等介質膜。真空蒸鍍，簡稱蒸鍍，是指在真空條件下，采用一定的加熱蒸發方式蒸發鍍膜材料（或稱膜料）并使之氣化，粒子飛至基片表面凝聚成膜的工藝方法。蒸鍍是使用較早、用途較廣的氣相沉積技術，具有成膜方法簡單、薄膜純度和致密性高、膜結構和性能獨特等優點。 在硅材料刻蝕當中，硅針的刻蝕需要用到各向同性刻蝕，硅柱的刻蝕需要用到各項異性刻蝕。

微納加工工藝基本分為表面加工體加工兩大塊，基本流程如下：表面加工基本流程如下：首先：沉積系繩層材料；第二步：光刻定義系繩層圖形；第三步：刻蝕完成系繩層圖形轉移；第四步：沉積結構材料；第五步：光刻定義結構層圖形；第六步：刻蝕完成結構層圖形轉移；第七步：釋放去除系繩層，保留結構層，完成微結構制作；體加工基本流程如下：首先：沉積保護層材料；第二步：光刻定義保護圖形；第三步：刻蝕完成保護層圖形轉移；第四步：腐蝕硅襯底，在制作三維立體腔結構；第五步：去除保護層材料。微納加工平臺主要提供微納加工技術工藝。廣東MEMS微納加工公司

高精度的微細結構可以通過電子束直寫或激光直寫制作。廣州半導體微納加工廠

電子束的能量越高，束斑的直徑就越小，比如10keV的電子束斑直徑為4nm，20keV時就減小到2nm。電子束的掃描步長由束斑直徑所限制。步長過大，不能實現緊密地平面束掃描;步長過小，電子束掃描區域會受到過多的電子散射作用。電子束流劑量由電子束電流強度和駐留時間所決定。電子束流劑量過小，抗蝕劑不能完全感光;電子束流劑量過大，圖形邊緣的抗蝕劑會受到過多的電子散射作用。由于高能量的電子波長要比光波長短成百上千倍，因此限制分辨率的不是電子的衍射，而是各種電子像散和電子在抗蝕劑中的散射。電子散射會使圖形邊緣內側的電子能量和劑量降低，產生內鄰近效應;同時散射的電子會使圖形邊緣外側的抗蝕劑感光，產生外鄰近效應。內鄰近效應使垂直的圖形拐角圓弧化，而外鄰近效應使相鄰的圖形邊緣趨近和模糊。廣州半導體微納加工廠

廣東省科學院半導體研究所擁有面向半導體光電子器件、功率電子器件、MEMS、生物芯片等前沿領域，致力于打造***的公益性、開放性、支撐性樞紐中心。平臺擁有半導體制備工藝所需的整套儀器設備，建立了一條實驗室研發線和一條中試線，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸），同時形成了一支與硬件有機結合的專業人才隊伍。平臺當前緊抓技術創新和公共服務，面向國內外高校、科研院所以及企業提供開放共享，為技術咨詢、創新研發、技術驗證以及產品中試提供支持。等多項業務，主營業務涵蓋微納加工技術服務，真空鍍膜技術服務，紫外光刻技術服務，材料刻蝕技術服務。公司目前擁有專業的技術員工，為員工提供廣闊的發展平臺與成長空間，為客戶提供高質的產品服務，深受員工與客戶好評。誠實、守信是對企業的經營要求，也是我們做人的基本準則。公司致力于打造***的微納加工技術服務，真空鍍膜技術服務，紫外光刻技術服務，材料刻蝕技術服務。公司憑著雄厚的技術力量、飽滿的工作態度、扎實的工作作風、良好的職業道德，樹立了良好的微納加工技術服務，真空鍍膜技術服務，紫外光刻技術服務，材料刻蝕技術服務形象，贏得了社會各界的信任和認可。