氣浮平臺主要應用領域氣浮平臺是精密裝備的“心臟”，廣泛應用于：半導體制造：光刻機是氣浮平臺典型、高級的應用。晶圓臺和掩模臺都必須采用氣浮技術來實現納米級的同步掃描和對準。精密測量與檢測：三坐標測量機（CMM）平板顯示器（FPD）、OLED屏的光學檢測設備集成電路檢測設備精密加工：超精密車床、銑床（如飛切、鉆石車削）激光加工設備（如激光直寫、微細加工）光學與光電系統：太空望遠鏡的鏡片調整機構光路調整平臺生物技術與生命科學：基因測序儀、顯微鏡掃描平臺等需要無振動、高精度移動的設備。先進的TOYO機器人，適應多種生產環境，滿足企業需求。短交期TOYO機器人原廠

TOYO機器人的高精度定位與運動控制技術是其為突出的優勢之一。在制造業的眾多精細生產環節中，如電子芯片制造、精密機械加工等，對零部件的定位精度要求極高，往往需要達到微米甚至納米級別。TOYO機器人采用了高精度的滾珠絲杠、直線導軌等先進傳動部件，這些部件在機械結構上具備極高的制造精度和穩定性。滾珠絲杠的精密螺紋設計能夠將電機的旋轉運動精確轉換為直線運動，其高精度的螺距控制確保了每一次位移的準確性；直線導軌則為運動部件提供了穩定、平滑的支撐，有效減少了運動過程中的摩擦和偏差。配合精密的控制系統，TOYO機器人能夠實現對運動軌跡的準確規劃和實時調整。通過先進的傳感器技術，它可以實時監測運動部件的位置、速度和加速度等參數，并將這些信息反饋給控制系統。控制系統基于這些反饋數據，運用復雜的算法進行快速計算和決策，及時修正運動偏差，從而確保機器人在長時間、強度高的工作過程中始終保持高度的準確性和重復性。皮帶TOYO機器人絲桿模組TOYO機器人運行噪音低于65分貝。

TOYO模組特注碼介紹：TOYO標準特注碼有外拉式注油嘴位置（NL注油嘴在滑座左側、NR注油嘴在滑座右側、NRL滑座兩側都有注油嘴）、標準PIN孔/銷釘孔（P標準PIN孔）、外觀染黑處理（EB）、電機傳動配件追加鍵槽（CMK馬達側單邊：聯軸器、皮帶輪加鍵槽；SKY雙邊聯軸器加鍵槽，轉折模組不適用，需要非標；SKN雙邊：不帶聯軸器）。以上是模組標準特注碼，除此之外，模組還能對滑座進行非標：雙滑座（同向同動/反向同動）、滑座加長；電機法蘭座工廠也會根據客戶使用的電機品牌進行非標處理。本體/滑座工廠基本不會接受特殊定制。

絲桿模組在面板行業的應用：1.面板生產設備：①玻璃基板搬運：用于搬運和定位玻璃基板，確保高精度操作，避免損壞。②涂布設備：用于涂布機的精密定位，確保涂層均勻。③曝光設備：用于光刻機的精密運動控制，確保曝光精度。2.檢測設備：①自動光學檢測（AOI）：用于AOI設備的運動平臺，實現高精度檢測。②缺陷檢測：用于缺陷檢測設備的運動控制，確保全區域掃描。3.組裝設備：①面板組裝：用于組裝設備的精密定位，確保各組件準確對接。②貼合設備：用于貼合設備的精密運動控制，確保無氣泡、無偏移。4.切割設備：①激光切割：用于激光切割機的運動控制，確保切割精度。②精密切割：用于精密切割設備的運動平臺，確保切割邊緣光滑。TOYO機器人標配碰撞檢測功能，安全可靠。

TOYO直線電機型號說明

以型號LFT2-RHS2-N-4688-LS10-R-N-05H-LC100-A001為例，

其各部分含義如下：LFT2：電機本體型號。RHS2：本體固定方式及線纜槽出線方向（具體配置請參考TOYO直線電機型錄；通常線纜槽需用戶自配）。N：動子數量（N：單動子；D：雙動子）。4688：動子的有效行程（單位：mm）。注意：不同型號動子的有效行程不同。LS10：編碼器類型（標配為1μm分辨率的光學尺或磁性尺TS10）。R：原點（Home）位置（L：左側；R：右側）。N：內置傳感器數量。05H：驅動器連接線纜長度（05：線纜長度代碼；H：霍爾傳感器線纜標識）。LC100：驅動器接口/兼容型號（可適配高創、三菱、松下、臺達等品牌驅動器）。A001：特殊定制代碼。 TOYO機器人動作重復性誤差小于0.01mm。新能源行業TOYO機器人ISO9001

TOYO機器人防護等級IP67，防塵防水。短交期TOYO機器人原廠

氣浮平臺工作原理

基于空氣軸承技術：供氣系統：外部氣源（如潔凈的壓縮空氣）通過管道被精確地輸送到平臺底部的氣腔或多孔材料中。形成氣膜：壓縮空氣從這些氣孔中逸出，在平臺與底座之間的微小間隙中形成一層均勻、穩定的高壓氣膜。懸浮與承載：這層氣膜的壓力足以將平臺及其負載的重量支撐起來，實現非接觸懸浮。驅動與運動：平臺通常由直線電機或音圈電機驅動。由于平臺是懸浮狀態，沒有機械接觸帶來的摩擦，驅動系統可以非常平滑、精確地控制平臺進行微米甚至納米級的移動。 短交期TOYO機器人原廠