干式螺桿真空泵由于其優越的性能，在歐美和日本目前已經成為微電子、半導體、制藥、精密加工等行業選擇獲得設備。傳動軸連接主動轉子，通過同步齒輪帶動從動轉子旋轉，在殼體上開有冷卻水通道，用來冷卻轉子和排氣口溫度，同步齒輪及軸承用油潤滑，軸承和殼體內部通過密封件來密封以達到無油的效果。干式螺桿真空泵同無油螺桿壓縮機在密封和潤滑上結構類似，一般真空泵的排氣端用機械式密封件，進氣側通常用雙唇形密封件。在傳動方式上，目前通用的是直連電機，用聯軸器與轉子連接，極少數用皮帶或者傳動鏈傳動。液環泵屬于粗真空泵，在我國的石油、化工、電力、輕紡、造紙、醫藥等領域有著很大的市場。電動真空泵供貨價格

水環真空泵（簡稱水環泵）是一種粗真空泵，它所能獲得的極限真空為2000~4000Pa，串聯大氣噴射器可達270~670Pa。水環泵也可用作壓縮機，稱為水環式壓縮機，是屬于低壓的壓縮機，其壓力范圍為1~2×105Pa表壓力。水環泵開始用作自吸水泵，而后逐漸用于石油、化工、機械、礦山、輕工、醫藥及食品等許多工業部門。在工業生產的許多工藝過程中，如真空過濾、真空引水、真空送料、真空蒸發、真空濃縮、真空回潮和真空脫氣等，水環泵得到普遍的應用。由于真空應用技術的飛躍發展，水環泵在粗真空獲得方面一直被人們所重視。深圳防腐真空泵真空泵的轉子間及轉子和殼體間均有間隙，不用潤滑，摩擦損失小，可降低驅動功率。

冷凝水在多級真空泵中具有舉足輕重的作用，冷凝水可以將蒸汽充沛冷凝，真空泵排出壓力中的水蒸汽分壓有必要高于其所對應的飽滿蒸汽壓，因此冷凝水的溫度也要低于該壓力下的飽滿溫度，才能保證泵體的正常作業。對真空泵系統密封要求的研究：真空泵處于極限狀態時，第1級排出的水很少，有時甚至沒有。因此，第1級泵有大量水排出，可以認為是系統有泄漏。通常的漏氣原因有：墊片沒裝、裝錯或損壞，螺栓未擰緊，法蘭面損壞，焊縫有沙眼，接頭（壓力表、真空表等）未裝好。

液環式真空泵是帶有多葉片的轉子偏心裝在泵殼內。當它旋轉時，把液體拋向泵殼并形成與泵殼同心的液環，液環同轉子葉片形成了容積周期變化的旋轉變容真空泵。液環真空泵就是這種靠偏置葉輪在泵腔內回轉運動使工作室容積周期性變化以實現抽氣的真空泵。它的工作室由旋轉液環和葉輪構成，其結構和工作原理與液環壓縮機相似。當工作液體為水時，稱水環式真空泵，水環真空泵是一種粗真空泵，它所能獲得的極限真空為2000~4000 Pa，串聯大氣噴射器可達270~670 Pa。干式螺桿真空泵由于其優越的性能，在歐美目前已經成為微電子、半導體等行業選擇真空獲得設備。

微型真空泵的介質溫度問題。根據通過泵的介質氣體的溫度，選擇要普通型的還是要高溫型的。微型泵的可靠性問題。根據微型泵出故障后產生后果的嚴重性而定，完全根據自己的要求。好的品的平均無故障連續運行時間都大于1000小時，有的高到數千小時。特別注意，這項參數是在滿負荷、不間斷的運行狀態下測定的，是比較惡劣的工況，如果實際使用不是滿載或連續運行，該數值會高一些，高多少視泵的工況而定。該性能完全是考驗制造商的技術實力，從產品外觀上可以看出一些，如采用特制電機而非普通低價電機、體積相當的情況下重量較重等。根據產品價格也可略知一二。微型泵的電磁干擾問題。如果有精密電路控制微型泵，視電路抗干擾能力而定，可能需要訂購低電磁干擾的微型泵。水環真空泵泵腔內沒有金屬磨擦表面，無須對泵內進行潤滑，而且磨損很小。上海抽打兩用真空泵

水環真空泵串聯大氣噴射器可達270~670Pa。電動真空泵供貨價格

羅茨真空泵由于在泵腔內沒有工作介質，實際上也是屬于干泵。目前，這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機組已經在石油、化工、塑料、農藥、汽輪機轉子動平衡。分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速只為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側裝一個-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸汽被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。電動真空泵供貨價格

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