手動探針臺規(guī)格描述（以實驗室常見的儀準(zhǔn)ADVANCED八寸，六寸探針臺為例）：探針臺載物臺平整度：5μm探針臺右側(cè)標(biāo)配顯微鏡升降機構(gòu)，可抬高顯微鏡，便于更換鏡頭和換待測物探針臺左側(cè)標(biāo)配升降器,可快速升降臺面8mm，并具備鎖定功能探針臺右下方標(biāo)配精調(diào)旋轉(zhuǎn)輪，可微調(diào)控制臺面升降范圍25mm（客戶有特殊需求，可以增大范圍），精度1μm6英寸或者8英寸載物盤可選，卡盤平整度：5μm，采用真空吸附方式，中心孔徑250μm-1mm定制卡盤可0-360度旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)角度可微調(diào)，微調(diào)精度為0.1度，標(biāo)配角度鎖定旋鈕大螺母可控制載物盤X-Y方向的移動，移動范圍為150mm or 200mm，移動精度為1μm載物臺具備快速導(dǎo)入導(dǎo)出功能。探針臺是檢測芯片的重要設(shè)備，在芯片的設(shè)計驗證階段。上海測試芯片探針臺公司

半自動型：chuck尺寸800mm/600mm；X,Y電動移動行程200mm/150mm；chuck粗調(diào)升降9mm，微調(diào)升降16mm；可搭配MITUTOYO金相顯微鏡或者AEC實體顯微鏡；針座擺放個數(shù)6～8顆；顯微鏡X-Y-Z移動范圍2"x2"x2"；可搭配Probe card測試；適用領(lǐng)域：8寸/6寸Wafer、IC測試之產(chǎn)品。電動型：chuck尺寸1200mm，平坦度土1u（不銹鋼或鍍金）；X,Y電動移動行程300mm x 300mm；chuck粗調(diào)升降9mm，微調(diào)升降16mm，微調(diào)精度土1u；可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC實體顯微鏡；針座擺放個數(shù)8～12顆；顯微鏡X-Y-Z移動范圍2“x2”x2“；材質(zhì)：花崗巖臺面+不銹鋼；可搭配Probe card測試；適用領(lǐng)域：12寸Wafer、IC測試之產(chǎn)品。黑龍江手動探針臺哪里有探針臺廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)。

半導(dǎo)體測試是半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的重要環(huán)節(jié)，其測試設(shè)備包括測試機、分選機、探針臺。其中，測試機是檢測芯片功能和性能的專業(yè)設(shè)備，分選機和探針臺是將芯片的引腳與測試機的功能模塊連接起來的專業(yè)設(shè)備，與測試機共同實現(xiàn)批量自動化測試。受益于國內(nèi)封裝測試業(yè)產(chǎn)能擴張，半導(dǎo)體測試設(shè)備市場快速發(fā)展。作為半導(dǎo)體封測行業(yè)三大設(shè)備之一，探針臺主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)以及光電行業(yè)的晶圓、芯片等器件的測試，研發(fā)難度大，國產(chǎn)化率低，進口依賴度高，它的品質(zhì)和精度直接決定測試可靠性與否。

手動探針臺：普遍應(yīng)用于，科研單位研發(fā)測試、院校教學(xué)操作、企業(yè)實驗室芯片失效分析等領(lǐng)域。一般使用于研發(fā)測試階段，批量不是很大的情況，大批量的重復(fù)測試推薦使用探卡。主要功能：搭配外接測試測半導(dǎo)體參數(shù)測試儀、示波器、網(wǎng)分等測試源表，量測半導(dǎo)體器件IV CV脈沖/動態(tài)IV等參數(shù)。用途：以往如果需要測試電子元器件或系統(tǒng)的基本電性能(如電流、電壓、阻抗等)或工作狀態(tài)，測試人員一般會采用表筆去點測。隨著電子技術(shù)的不斷發(fā)展，對于精密微小(納米級)的微電子器件，表筆點到被測位置就顯得無能為力了。于是一種高精度探針座應(yīng)運而生，利用高精度微探針將被測原件的內(nèi)部訊號引導(dǎo)出來，便于其電性測試設(shè)備(不屬于本機器)對此測試、分析。重物的碰撞及堅銳器物的劃傷都將對定子造成損傷，而影響平面電機的步進精度及使用壽命。

x-y工作臺的維護與保養(yǎng)：無論是全自動探針測試臺還是自動探針測試臺，x-y向工作臺都是其很重心的部分。有數(shù)據(jù)表明探針測試臺的故障中有半數(shù)以上是x-y工作臺的故障，而工作臺故障有許多是對其維護保養(yǎng)不當(dāng)或盲目調(diào)整造成的，所以對工作臺的維護與保養(yǎng)就顯得尤為重要。現(xiàn)在只對自動探針測試臺x-y工作臺的維護與保養(yǎng)作一介紹。平面電機x-y步進工作臺的維護與保養(yǎng)：平面電機由定子和動子組成，它和傳統(tǒng)的步進電機相比其特殊性就是將定子展開，定子是基礎(chǔ)平臺，動子和定子間有一層氣墊，動子浮于氣墊上，而可編程承片臺則安裝在動子之上。這種結(jié)構(gòu)的x-y工作臺，由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損，使用壽命長。探針臺是半導(dǎo)體（包括集成電路、分立器件、光電器件、傳感器）行業(yè)重要的檢測裝備之一。上海測試芯片探針臺公司

探針臺需要特別注意的是在未加壓縮空氣時不可強行拉動動子，以免造成定子及動子的損傷。上海測試芯片探針臺公司

手動探針臺應(yīng)用領(lǐng)域：Failure analysis集成電路失效分析；Wafer level reliability晶元可靠性認證；Device characterization元器件特性量測；Process modeling塑性過程測試(材料特性分析)；IC Process monitoring制成監(jiān)控；Package part probing IC封裝階段打線品質(zhì)測試；Flat panel probing液晶面板的特性測試；PC board probing PC主板的電性測試；ESD&TDR testing ESD和TDR測試；Microwave probing微波量測(高頻)；Solar太陽能領(lǐng)域檢測分析；LED、OLED、LCD領(lǐng)域檢測分析。上海測試芯片探針臺公司