半自動型：chuck尺寸800mm/600mm；X,Y電動移動行程200mm/150mm；chuck粗調(diào)升降9mm，微調(diào)升降16mm；可搭配MITUTOYO金相顯微鏡或者AEC實體顯微鏡；針座擺放個數(shù)6～8顆；顯微鏡X-Y-Z移動范圍2"x2"x2"；可搭配Probecard測試；適用領(lǐng)域：8寸/6寸Wafer、IC測試之產(chǎn)品。電動型：chuck尺寸1200mm，平坦度土1u（不銹鋼或鍍金）；X,Y電動移動行程300mmx300mm；chuck粗調(diào)升降9mm，微調(diào)升降16mm，微調(diào)精度土1u；可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC實體顯微鏡；針座擺放個數(shù)8～12顆；顯微鏡X-Y-Z移動范圍2“x2”x2“；材質(zhì)：花崗巖臺面+不銹鋼；可搭配Probecard測試；適用領(lǐng)域：12寸Wafer、IC測試之產(chǎn)品。探針臺把晶圓片安放在一個可移動的金屬板上。江蘇射頻探針臺價格

x-y工作臺的維護與保養(yǎng)：無論是全自動探針測試臺還是自動探針測試臺，x-y向工作臺都是其很重心的部分。有數(shù)據(jù)表明探針測試臺的故障中有半數(shù)以上是x-y工作臺的故障，而工作臺故障有許多是對其維護保養(yǎng)不當(dāng)或盲目調(diào)整造成的，所以對工作臺的維護與保養(yǎng)就顯得尤為重要。現(xiàn)在只對自動探針測試臺x-y工作臺的維護與保養(yǎng)作一介紹。平面電機x-y步進工作臺的維護與保養(yǎng)：平面電機由定子和動子組成，它和傳統(tǒng)的步進電機相比其特殊性就是將定子展開，定子是基礎(chǔ)平臺，動子和定子間有一層氣墊，動子浮于氣墊上，而可編程承片臺則安裝在動子之上。這種結(jié)構(gòu)的x-y工作臺，由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損，使用壽命長。江蘇射頻探針臺價格如果是不合格的芯片，打點器立刻對這個不合格的芯片打點。

近來出現(xiàn)的一種選擇是使用同軸射頻電纜安裝探針，它結(jié)合了探針臺準(zhǔn)確性和可重復(fù)性的功能以及用探針可及性的功能。這些探針的邊緣類似于探針臺探針夾具——接地-信號-接地（GSG）或者接地-信號（GS）——一端帶有pogo-pin探針，另一端帶有典型的同軸連接器。這些新型探針可以達到40GHz，回波損耗優(yōu)于10dB。探針的針距范圍在800微米到1500微米之間，這些探針通常使用的終端是3.5毫米母頭或2.92毫米母頭同軸連接器。與探針臺一樣，可以在特定的測試區(qū)域中設(shè)計一個影響小的焊盤端口，或者可以將探針放置在靠近組件的端子或微帶傳輸線上。

半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的探測，可略分為三大類：1.參數(shù)探測：提供制造期間的裝置特性測量；2.晶圓探測：當(dāng)制造完成要進行封裝前，在一系列的晶圓上(wafersort)測試裝置功能；3.以探針臺為基礎(chǔ)的晶圓處理探測(FinalTest)：在出貨給顧客前，對封裝完成的裝置做后的測試。晶圓在通過基本的特性測試后，即進入晶圓探測階段，此時需要用復(fù)雜的機器、視覺及軟件來偵測晶圓上的每顆裸晶，精確度約在±2.0μm之間。將晶圓探針臺的輸入輸出探針墊片(I/Opads)放在接腳和探針卡正確對應(yīng)的晶圓后，探針臺會將晶圓向上挪動，使其電氣和連接于測試儀上的探針卡接觸，以進行探測。當(dāng)測試完成，則會自動將下一個待測晶圓替換到探針卡下面，如此周而復(fù)始地循環(huán)著。探針臺配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。

探針治具的校準(zhǔn)：我們希望校準(zhǔn)過程盡可能的把測試網(wǎng)絡(luò)中除DUT外所有的誤差項全部校準(zhǔn)掉，當(dāng)使用探針夾具的方式進行操作有兩種校準(zhǔn)方法：1一種方式是直接對著電纜的SMA端面進行校準(zhǔn)，然后通過加載探針S2P文檔的方式進行補償;2第二種方法是直接通過探針搭配的校準(zhǔn)板在探針的端面進行校準(zhǔn)。是要告訴大家如果直接在SMA端面進行校準(zhǔn)之后不補償探針頭，而直接進行測量的話會帶來很大的誤差。探針廠商一般都會提供探針的S2P文檔與校準(zhǔn)片，校準(zhǔn)片如下圖所示，上面有Open、Short、Load及不同負載的微帶線。上海勤確科技有限公司以滿足客戶要求為重點。江蘇射頻探針臺價格

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探針臺是用于檢測每片晶圓上各個芯片電信號，保證半導(dǎo)體產(chǎn)品品質(zhì)的重要檢測設(shè)備。因為我們需要知道器件真正的性能，而不是封裝以后的，雖然可以去嵌，但還是會引入一些誤差和不確定性。因為我們需要確定哪些芯片是好的芯片來降低封裝的成本并提高產(chǎn)量。因為有時我們需要進行自動化測試，在片進行自動化測試成本效益高而且更快。一個典型的在片測試系統(tǒng)，主要包括：矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀，線纜，探針，探針定位器，探針臺，校準(zhǔn)設(shè)備及軟件，電源偏置等。江蘇射頻探針臺價格