探針臺是半導體(包括集成電路、分立器件、光電器件、傳感器)行業重要的檢測裝備之一,其普遍應用于復雜、高速器件的精密電氣測量,旨在確保質量及可靠性,并縮減研發時間和器件制造工藝的成本。探針臺用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的CP測試環節,負責晶圓的輸送與定位,使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個測試。在半導體器件與集成電路制造工藝中,從單晶硅棒的制取到終器件制造的完成需經過復雜的工序,可分為前道工序與后道工序,探針臺是檢測半導體芯片的電參數、光參數的關鍵設備。經過檢測,探針臺將參數特性不符合要求的芯片記錄下來,在進入后序工序前予以剔除,降低器件的制造成本。上海勤確科技有限公司探針臺故障有許多是對其維護保養不當或盲目調整造成的。探針臺配件廠家

探針臺可以固定晶圓或芯片,并精確定位待測物。手動探針臺的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中,并使用顯微鏡將探針尖銳端放置到待測物上的正確位置。一旦所有探針尖銳端都被設置在正確的位置,就可以對待測物進行測試。對于帶有多個芯片的晶圓,使用者可以抬起壓盤,壓盤將探針頭與芯片分開,然后將工作臺移到下一個芯片上,使用顯微鏡找到精確的位置,壓板降低后下一個芯片可以進行測試。半自動和全自動探針臺系統使用機械化工作臺和機器視覺來自動化這個移動過程,提高了探針臺生產率。陜西全自動探針臺一般多少錢探針臺由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損,使用壽命長。

“精確度”是探測儀器基本的指針,涵蓋定位、溫度及生產率等三個層面。首先,必須能穩定、精確地探測到小型墊片,載臺系統亦須精確、能直接驅動晶圓托盤,并在晶圓移動的過程中準確地將晶圓和晶圓對位;其次,必須具備動態監控機制,確保所挾帶的空氣以監控溫度、掌握可靠度和穩定性;后,必須對高產出的進階移動做動態控制才能擁有佳的終結果。整體而言,針腳和墊片之間的相應精確度應在±1.5μm之間。隨著新工藝的微縮,為了強化更小晶粒定位的精確性,需要動態的Z軸輔助校正工作,以避免無謂的產出損失。
對于當今的多芯片(multi-diepackages)封裝,例如堆疊芯片級封裝(SCSP)或系統級封裝(SiP)–開發用于識別已知測試芯片(KTD)和已知良好芯片(KGD)的非接觸式(RF)探針對提高整體系統產量至關重要。晶圓探針臺還可以在晶圓劃片線上執行任何測試電路。一些公司從這些劃線測試結構中獲得大部分有關器件性能的信息。當特定芯片的所有測試圖案都通過時,它的位置會被記住,以便以后在IC封裝過程中使用。有時,芯片有內部備用資源可用于修復(即閃存IC);如果它沒有通過某些測試模式,則可以使用這些備用資源。探針卡是自動測試儀與待測器件之間的接口。

x-y工作臺的維護與保養:無論是全自動探針測試臺還是自動探針測試臺,x-y向工作臺都是其很中心的部分。有數據表明探針測試臺的故障中有半數以上是x-y工作臺的故障,而工作臺故障有許多是對其維護保養不當或盲目調整造成的,所以對工作臺的維護與保養就顯得尤為重要。現在小編只對自動探針測試臺x-y工作臺的維護與保養作一一介紹。平面電機由定子和動子組成,它和傳統的步進電機相比其特殊性就是將定子展開,定子是基礎平臺,動子和定子間有一層氣墊,動子浮于氣墊上,而可編程承片臺則安裝在動子之上。這種結構的x-y工作臺,由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損,使用壽命長。手動探針臺:普遍應用于,科研單位研發測試、院校教學操作、企業實驗室芯片失效分析等領域。浙江智能探針臺要多少錢
探針臺是檢測芯片的重要設備,在芯片的設計驗證階段。探針臺配件廠家
探針卡沒焊到位,是因為焊錫時針受熱要稍微的收縮,使針尖偏離壓點區,而針虛焊和布線斷線或短路,測試時都要測不穩,所以焊針時,應憑自己的經驗,把針尖離壓點中心稍微偏一點,焊完后使針尖剛好回到壓點中心,同時針焊好后應檢查針尖的位置,檢查針的牢固性。技術員平時焊完卡后應注意檢查探針卡的質量如何,把背面的突起物和焊錫線頭剪平,否則要扎傷AL層,造成短路或斷路,而操作工也應在測試裝卡前檢查一下。針尖有鋁粉:測大電流時,針尖上要引起多AL粉,使電流測不穩,所以需要經常用灑精清洗探針并用氮氣吹干,同時測試時邊測邊吹氮氣,以減少針尖上的AL粉。探針臺配件廠家