隨著電子技術的不斷發展，對于精密微小(納米級)的微電子器件，表筆點到被測位置就顯得無能為力了。于是一種高精度探針座應運而生，利用高精度微探針將被測原件的內部訊號引導出來，便于其電性測試設備(不屬于本機器)對此測試、分析。探針臺執行機構由探針座和探針桿兩部分組成.在探針座有X-Y-Z三向調節旋鈕，控制固定在針座上的探針桿做三向移動，移動范圍12mm，移動精度可以達到0.7微米。這樣可以把探針很好的點到待測點上(說明探針是耗材，一般客戶自己準備)，探針探測到的信號可以通過探針桿上的電纜傳輸到與其連接的測試機上，從而得到電性能的參數。對于重復測試同種器件，多個點位的推薦使用探針臺安裝探卡進行測試。上海勤確科技有限公司敢于承擔、克難攻堅。貴州智能探針臺

探針臺需要特別注意的是在未加壓縮空氣時不可強行拉動動子，以免造成定子及動子的損傷。平面電機應使用在環境溫度15～25℃，相對濕度小于50％的環境中，其所需的壓縮空氣必須經過干燥過濾處理且與環境空氣溫度差值小于5℃，氣壓為0．4±0．04MPa。相對于平面電機工作臺，絲杠導軌結構的工作臺結構組成較復雜，工作臺由上層（x向）及下層（y向）兩部分組成。工作臺由兩個步進電機分別驅動x、y向精密滾珠絲杠副帶動工作臺運動，導向部分采用精密直線滾動導軌。云南直流探針臺探針臺可以把卡上的線路和芯片的結合焊盤連起來。

為什么要射頻探測？由于器件小形化及高頻譜的應用，電路尺寸不斷縮小，類似微帶線及PCB版本Pad的測試沒有物理接口，使得儀表本身無法與待測物進行直接連接，如果人為的焊接射頻接口難免會引入不確定的誤差，所以射頻探針的使用完美的解決了這個問題。射頻探頭和校準基板允許工程師進行精確、重復的測量與校準。且任何受過一定訓練的工程師都可以進行探針臺的架設與儀表的校準，以分鐘為單位進行測量。同樣一個Pad測試點，如果通過探針測量與通過焊接SMA接口引出測量線的方法進行測試對比會發現，探針的精度是高于焊接Cable的精度。

x-y工作臺的維護與保養：無論是全自動探針測試臺還是自動探針測試臺，x-y向工作臺都是其很中心的部分。有數據表明探針測試臺的故障中有半數以上是x-y工作臺的故障，而工作臺故障有許多是對其維護保養不當或盲目調整造成的，所以對工作臺的維護與保養就顯得尤為重要。現在小編只對自動探針測試臺x-y工作臺的維護與保養作一一介紹。平面電機由定子和動子組成，它和傳統的步進電機相比其特殊性就是將定子展開，定子是基礎平臺，動子和定子間有一層氣墊，動子浮于氣墊上，而可編程承片臺則安裝在動子之上。這種結構的x-y工作臺，由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損，使用壽命長。探針卡上有細小的金屬探針附著，通過降低探針高度或升高芯片的高度使之和芯片上的焊盤接觸。

探針臺主要應用于半導體行業以及光電行業的測試。探針臺從操作上來區分有：手動，半自動，全自動。從功能上來區分有：高溫探針臺，低溫探針臺，RF探針臺，LCD平板探針臺，霍爾效應探針臺，表面電阻率探針臺。縱觀國內外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異，即主要由x-y向工作臺，可編程承片臺、探卡／探卡支架、打點器、探邊器、操作手柄等組成，并配有與測試儀（TESTER）相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺結構的不同可為兩大類，即：平面電機型x-y工作臺（又叫磁性氣浮工作臺）自動探針測試臺和以采用精密滾珠絲杠副和直線導軌結構的x-y工作臺型自動探針測試臺。由于x-y工作臺的結構差別很大，所以其使用維護保養不可一概而論，應區別對待。在實際的芯測試中探針卡的狀態是非常重要的。重慶磁場探針臺供應商

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高性能密閉微暗室有效屏蔽：腔體采用導電的處理工藝，確保了各零件之間的導通狀態從而達到全屏蔽的效果，降低系統噪聲，有效屏蔽外界干擾，并提供低漏電流保護，為微弱電信號測試提供了合理的測試環境；同時也注意零件配合以及裝配的同時，保證內部的密封性。對于一些特殊的器件/晶圓需要在高低溫的情況進行環境的模擬測試，有效地避免了空氣中的水分在樣品上結露或者結霜的存在，通過氣流的特性，填充滿密封腔體內，使腔體里內的氣體露的點進行降低直至到一定的點。貴州智能探針臺