探針臺是半導體(包括集成電路、分立器件、光電器件、傳感器)行業重要的檢測裝備之一,其普遍應用于復雜、高速器件的精密電氣測量,旨在確保質量及可靠性,并縮減研發時間和器件制造工藝的成本。通過與測試儀器的配合,探針臺將參數特性不符合要求的芯片記錄下來,在進入后序工序前予以剔除,極大降低器件的制造成本。探針臺主要用于晶圓制造環節的晶圓檢測、芯片研發和故障分析等應用。半導體測試可以按生產流程可以分為三類:驗證測試、晶圓測試測試、封裝檢測。晶圓檢測環節需要使用測試儀和探針臺,測試儀/機用于檢測芯片功能和性能,探針臺實現被測芯片與測試機的連接,通過探針臺和測試機的配合使用對晶圓上的裸芯片進行功能和電參數測試或射頻測試,可以對芯片的良品、不良品的進行篩選。探針卡是自動測試儀與待測器件之間的接口。北京磁場探針臺生產廠家

探針臺的分類:探針臺可以按照使用類型與功能來劃分,也可以按照操作方式來劃分成:手動探針臺、半自動探針臺、全自動探針臺。手動探針臺:手動探針臺系統顧名思義是手動控制的,這意味著晶圓載物臺和卡盤、壓盤、顯微鏡以及定位器/操縱器都是由使用者手動移動的。因此一般是在沒有很多待測器件需要測量或數據需要收集的情況下使用手動探針臺。該類探針臺的優點之一是只需要很少的培訓,易于配置環境和轉換測試環境,并且不需要涉及額外培訓和設置時間的電子設備、PC或軟件。北京磁場探針臺生產廠家縱觀國內外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異。

晶圓級半自動面內磁場探針臺詳細參數:垂直或面內磁場探針臺,通用性設計;容納12寸晶圓,且向下兼容8寸、6寸、碎片;兼容4組探針(RF或DC測試);提供Z軸探針平臺快速升降功能,實現高效測試;磁場強度≥330mT;直流探針(4組)或微波探針(4組);XY電控行程±150mm,調節精度2μm;T軸手動調節±5°,小至調節精度5’。晶圓級半自動二維磁場探針臺:詳細參數可對晶圓施加垂直或面內磁場,兼容性設計;容納12寸晶圓,且向下兼容8寸、6寸、碎片;兼容4組探針(RF或DC測試);提供Z軸探針平臺快速升降功能,實現高效測試;磁場強度≥0.7T;直流探針(4組)或微波探針(4組);XY電控行程±150mm,調節精度2μm;T軸手動調節±5°,小到調節精度5’。
滾珠絲杠副和導軌結構x-y工作臺的維護與保養:由于運動部分全部采用滾動功能部件,所以具有傳動效率高、摩擦力矩小,使用壽命長等特點。這種結構的工作臺應放置在溫度23±3℃,濕度≤70%,無有害氣體的環境中,滾珠絲杠、直線導軌應定期加精密儀表油,但不可過多,值得指出的是,這種結構的工作臺在裝配過程中,從直線導軌的直線性,上下層工作臺之間的垂直度以及工作臺的重復性,定位精度等都是用專業的儀器儀表調整,用戶一般情況不能輕易改變,一旦盲目調整后很難恢復到原來的狀態,所以對需要調整的工作臺應有專業生產廠家或經過培訓的專業人員完成。上海勤確科技有限公司以完善的服務和改變為至上追求。

在設備方面,生產半導體測試探針的相關設備價格較高,國內廠商沒有足夠的資金實力,采購日本廠商的設備。另一方面,對于半導體設備而言,產業鏈各個環節均會采購定制化的設備,客戶提出自身需求和配置,上游設備廠商通過與大型客戶合作開發,生產出經過優化的適合該客戶的設備。因此,即使國產探針廠商想采購日本設備廠商的專業設備,也只能得到標準化的產品。在原材料方面,國產材質、加工的刀具等也不能達到生產半導體測試探針的要求,同時日本廠商在半導體上游原材料方面占據的優勢,其提供給客戶的原材料也是分等級的,包括A級、B級、S級,需要依客戶的規模和情況而定。實現芯片測試的途徑就是探針卡。北京磁場探針臺生產廠家
適用于對芯片進行科研分析,抽查測試等用途。北京磁場探針臺生產廠家
探針臺為研究和工程實驗室在測試運行期間移動通過多個溫度點時,提供前所未有的自動化水平。這種新技術使探針系統能夠感知,學習和反應以多溫度和特征的極其復雜的環境。隨著集成電路產品不斷進入汽車應用等更高發熱量的環境,在越來越寬的溫度范圍內表征器件性能和耐用性變得越來越重要。以前,大多數芯片在兩個溫度點進行晶圓級測試,通常為20?C(室溫)和90?C。現在,該范圍已經擴大到-40?C至125?C,并且可能需要在此范圍內的四個溫度步驟中進行一整套測試。某些情況下需要更普遍的范圍,如-55?C至200?C,晶圓可靠性測試可能要求高達300?C的溫度。北京磁場探針臺生產廠家