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半導(dǎo)體VOCs治理方案

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2025-03-20

VOCs末端治理的整體要求:1、新、改、擴(kuò)建項(xiàng)目禁止使用光催化、光氧化、水噴淋 (吸收可溶性VOCs和預(yù)處理除外)、低溫等離子等低效VOCs治理設(shè)施(惡臭處理除外),并針對(duì)上述組合技術(shù)的低效VOCs治理設(shè)施進(jìn)行整治,對(duì)不能達(dá)到治理要求的實(shí)施要求進(jìn)行更換或升級(jí)改造。2、企業(yè)應(yīng)依據(jù)排放廢氣的濃度、組分、風(fēng)量、溫度、濕度、壓力,以及生產(chǎn)工況等,合理選擇治理技術(shù),采用多種技術(shù)的組合工藝,提高 VOCs 治理效率。3、企業(yè)應(yīng)做到治理設(shè)施較生產(chǎn)設(shè)備“先啟后?!?,在治理設(shè)施達(dá)到正常運(yùn)行條件后方可啟動(dòng)生產(chǎn)設(shè)備,在生產(chǎn)設(shè)備停止、殘留 VOCs 廢氣收集處理完畢后,方可停運(yùn)治理設(shè)施。VOCs廢氣處理需要綜合考慮環(huán)境、經(jīng)濟(jì)和社會(huì)的因素。半導(dǎo)體VOCs治理方案

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沸石轉(zhuǎn)輪原理介紹,研究得出:若是將加工好的波紋形以及平板形陶瓷纖維紙采用無(wú)機(jī)粘合的方式做成蜂窩狀的轉(zhuǎn)輪,然后再將具有吸水性的沸石涂抹在這個(gè)轉(zhuǎn)輪的通道上,該轉(zhuǎn)輪就成為了吸附性轉(zhuǎn)輪,經(jīng)過(guò)實(shí)驗(yàn)證明,該吸附性轉(zhuǎn)輪對(duì)于VOCs的凈化處理十分有效。沸石轉(zhuǎn)輪濃縮區(qū)可分為處理區(qū)、再生區(qū)、冷卻區(qū)三部分,濃縮轉(zhuǎn)輪在各個(gè)區(qū)內(nèi)連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。 VOCs有機(jī)廢氣通過(guò)前置過(guò)濾器過(guò)濾后,再通過(guò)濃縮轉(zhuǎn)輪裝置的處理區(qū)。在處理區(qū)VOCs被吸附劑吸附去除,凈化后的空氣從濃縮轉(zhuǎn)輪的處理區(qū)排出。吸附在濃縮轉(zhuǎn)輪中的有機(jī)廢氣VOCs,在再生區(qū)經(jīng)熱風(fēng)處理而被脫附、濃縮到5~15倍的程度。濃縮轉(zhuǎn)輪在冷卻區(qū)被冷卻,經(jīng)過(guò)冷卻區(qū)的 空氣,加熱后作為再生空氣使用,達(dá)到凈化節(jié)能的效果。沸石轉(zhuǎn)輪結(jié)構(gòu)如圖所示。上海污水站VOCs催化劑VOCs廢氣處理需要定期監(jiān)測(cè)和維護(hù),以確保系統(tǒng)的有效性。

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案例分析,以某汽車(chē)制造企業(yè)為例,該企業(yè)在其涂裝車(chē)間采用了以下廢氣處理方案:首先在噴漆室和烘烤房設(shè)置合理的集氣系統(tǒng),確保廢氣收集率超過(guò)90%;廢氣通過(guò)濕式洗滌塔初步處理,去除大部分漆霧和水分;廢氣進(jìn)一步通過(guò)沸石轉(zhuǎn)輪濃縮裝置,將VOCs濃度提高;濃縮后的廢氣進(jìn)入蓄熱式熱氧化爐進(jìn)行高溫氧化,幾乎完全分解VOCs;該企業(yè)還引進(jìn)了先進(jìn)的在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng),實(shí)時(shí)監(jiān)控VOCs排放濃度,確保符合環(huán)保部門(mén)的要求;通過(guò)對(duì)處理過(guò)程中產(chǎn)生的熱量回收,該企業(yè)降低了能耗,實(shí)現(xiàn)了綠色生產(chǎn)的目標(biāo)。通過(guò)上述工藝流程和嚴(yán)謹(jǐn)?shù)墓芾恚撈?chē)廠成功地大幅減少了噴漆廢氣的排放,既符合了環(huán)保政策,也提升了自身的可持續(xù)發(fā)展能力。

蓄熱式焚燒(RTO),適用范圍:適用于高濃度有機(jī)廢氣的凈化,凈化效率高,熱回收效率高,處理含氮化合物時(shí)可能造成煙氣中NOx超標(biāo)。不適用范圍:不適用于處理易自聚、易反應(yīng)等物質(zhì)(苯乙烯),其會(huì)發(fā)生自聚現(xiàn)象,產(chǎn)生高沸點(diǎn)交聯(lián)物質(zhì),造成蓄熱體堵塞。理論效率:95%以上。處理原理:把有機(jī)廢氣加熱到760攝氏度以上,使廢氣中的揮發(fā)性有機(jī)物(VOCs)氧化分解為二氧化碳和水。氧化過(guò)程產(chǎn)生的熱量存儲(chǔ)在特制的陶瓷蓄熱體,使蓄熱體升溫“蓄熱”。陶瓷蓄熱體內(nèi)儲(chǔ)存的熱量用于預(yù)熱后續(xù)進(jìn)入的有機(jī)廢氣。精細(xì)化管理是提高VOCs廢氣處理效果的關(guān)鍵。

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膜分離工藝:(1)膜分離工藝簡(jiǎn)介,在石油開(kāi)采和儲(chǔ)運(yùn)過(guò)程中,部分油品揮發(fā)到大氣中形成的油氣中,除空氣外,主要C4-C5以及少量芳香烴。這些有機(jī)蒸氣排放不只造成嚴(yán)重的資源浪費(fèi),而且對(duì)空氣質(zhì)量有很大影響,進(jìn)而影響人類(lèi)的健康,目前,有機(jī)蒸氣的分離回收方法主要是冷凝、活性炭吸附、膜分離法、溶劑吸收法。膜分離技術(shù)是一種效率較高的分離方法 。(2)膜分離工藝的影響因素,支撐層的材質(zhì)對(duì)滲透速率和烴類(lèi)VOCs回收率產(chǎn)生重要影響,對(duì)于同一種材質(zhì)的支撐層,滲透速率和烴類(lèi)VOCs 回收率隨孔徑的減小而增大,但當(dāng)孔徑減到某一臨界值時(shí),隨孔徑的繼續(xù)減小,滲透速率和烴類(lèi)VOCs 回收率將減小。VOCs是大氣污染的重要來(lái)源,有效處理VOCs廢氣對(duì)我國(guó)空氣質(zhì)量改善具有重要意義。上海污水站VOCs催化劑

化學(xué)方法涉及氧化、還原和催化等反應(yīng),以將VOCs轉(zhuǎn)化為無(wú)害物質(zhì)。半導(dǎo)體VOCs治理方案

VOCs的處理方法如下:生物處理法:這是近年發(fā)展起來(lái)的空氣污染控制技術(shù),比傳統(tǒng)工藝投資少,運(yùn)行費(fèi)用低,操作簡(jiǎn)單,應(yīng)用范圍廣,有望替代燃燒法和吸附凈化法。此外,還可以采取一些措施來(lái)減少VOCs的排放,如安裝和使用高效的排放控制設(shè)備,優(yōu)化生產(chǎn)過(guò)程以減少或消除VOCs的產(chǎn)生,使用低VOCs替代品等。同時(shí),嚴(yán)格控制儲(chǔ)存和裝卸過(guò)程中的損失,以及強(qiáng)化廢水處理系統(tǒng)逸散廢氣治理,都是有效的VOCs處理方法。具體選擇哪種方法取決于廢氣的性質(zhì)、濃度、處理要求以及經(jīng)濟(jì)成本等因素。在實(shí)際應(yīng)用中,通常需要根據(jù)具體情況選擇適合的處理工藝和技術(shù),并進(jìn)行合理的設(shè)計(jì)和操作,以達(dá)到較佳的處理效果。半導(dǎo)體VOCs治理方案

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