上海彌正推出行業(yè)的超高純氣體回收再利用系統(tǒng)，針對半導(dǎo)體、光伏等行業(yè)的工藝尾氣，實現(xiàn)高效回收、提純與循環(huán)利用，為客戶創(chuàng)造經(jīng)濟與環(huán)境雙重價值。該系統(tǒng)可適配三氟化氮、硅烷、氫氣等多種氣體，通過低溫冷凝、吸附分離與精密過濾等多級處理工藝，將原本直接排放的工藝尾氣提純至 5N-6N 級純度，回收利用率比較高可達(dá) 90%。以半導(dǎo)體刻蝕工藝中常用的三氟化氮為例，傳統(tǒng)使用模式下利用率不足 50%，大量尾氣被浪費并污染環(huán)境，采用該回收系統(tǒng)后，客戶氣體采購成本降低 40%，同時大幅減少溫室氣體排放。提供 “定制化系統(tǒng) + 運維服務(wù)” 的整體解決方案，根據(jù)客戶生產(chǎn)規(guī)模與氣體種類，設(shè)計專屬回收流程，配備專業(yè)團隊負(fù)責(zé)系統(tǒng)安裝、調(diào)試與定期維護，并提供回收氣體的質(zhì)量檢測報告。某半導(dǎo)體代工廠應(yīng)用該系統(tǒng)后，年節(jié)省氣體采購費用超 600 萬元，工藝尾氣排放量減少 80%，順利通過 ISO 14064 碳足跡核查，實現(xiàn)了經(jīng)濟效益與環(huán)保責(zé)任的統(tǒng)一。超高純氨氣用于化學(xué)氣相沉積，制備高質(zhì)量半導(dǎo)體薄膜。江蘇氯乙烷超高純氣體

上海彌正推出超高純氣體租賃服務(wù)，為中小批量生產(chǎn)企業(yè)與科研機構(gòu)提供靈活的氣體供應(yīng)方案，有效降低前期投入成本。租賃服務(wù)涵蓋氣瓶、減壓閥、流量控制器等全套設(shè)備，客戶無需購買昂貴的儲存與輸送設(shè)備，需根據(jù)實際使用量支付氣體費用，設(shè)備維護與保養(yǎng)由上海彌正全程負(fù)責(zé)?？商峁┒唐谧赓U（1-3 個月）與長期租賃（1 年以上）兩種模式，租賃期間支持氣體品種與純度的靈活調(diào)整，滿足客戶不同階段的使用需求。配備專業(yè)團隊定期檢查租賃設(shè)備運行狀態(tài)，確保氣體供應(yīng)穩(wěn)定與使用安全，同時提供的設(shè)備操作培訓(xùn)服務(wù)。某中小型電子企業(yè)應(yīng)用租賃服務(wù)后，前期設(shè)備投入成本降低 80%，氣體使用成本節(jié)約 30%，同時避免了設(shè)備閑置浪費，根據(jù)生產(chǎn)需求靈活調(diào)整供氣規(guī)模，成為中小企業(yè)降低運營成本的方案。上海氯甲烷超高純氣體生物醫(yī)藥超高純氖氣純度≥99.999%，用于霓虹燈填充與低溫制冷領(lǐng)域。

上海彌正專為 Micro LED 顯示技術(shù)打造超高純氣體解決方案，以 “高純度 + 準(zhǔn)確配比” 助力實現(xiàn)更高亮度、更高對比度的顯示畫質(zhì)。方案重心氣體包括用于 LED 外延生長的超高純氨氣、硅烷、三甲基鎵，以及用于轉(zhuǎn)移與封裝的超高純氮氣、氬氣，其中外延用氣體純度均達(dá) 6N 級以上，金屬雜質(zhì)含量≤0.05ppb，確保 Micro LED 芯片的發(fā)光效率與波長一致性。在藍(lán)寶石襯底的氮化鎵（GaN）外延層生長中，超高純氨氣作為氮源，其純度直接影響外延層的晶體質(zhì)量，進(jìn)而決定 LED 芯片的亮度與壽命；在巨量轉(zhuǎn)移與封裝環(huán)節(jié)，惰性保護氣可防止芯片氧化與污染，保障顯示面板的可靠性。提供定制化的混合氣調(diào)配服務(wù)，可根據(jù)客戶外延工藝需求，準(zhǔn)確控制各反應(yīng)氣體的比例，配比精度達(dá) ±0.1%。某顯示技術(shù)企業(yè)應(yīng)用該方案后，Micro LED 芯片的外延層均勻性提升至 99%，發(fā)光亮度突破 2000nits，對比度達(dá)到 100 萬：1，其生產(chǎn)的 Micro LED 顯示屏在商用市場備受青睞。

上海彌正超高純?nèi)?N 級純度），是半導(dǎo)體等離子體刻蝕工藝的關(guān)鍵清洗氣體，以 “高純度 + 低污染” 助力芯片制程精細(xì)化。采用低溫吸附與精餾提純工藝，將雜質(zhì)含量控制在 1ppb 以內(nèi)，其中金屬雜質(zhì)與顆粒物雜質(zhì)均≤0.1ppb，能準(zhǔn)確匹配 7nm 及以下先進(jìn)制程的刻蝕需求。其強氧化性可高效去除晶圓表面的硅化物、金屬氧化物等殘留沉積物，且反應(yīng)產(chǎn)物易揮發(fā)，無需額外復(fù)雜清洗步驟，有效提升刻蝕工藝效率。配備特用環(huán)保處理系統(tǒng)，氣體使用后可通過回收裝置實現(xiàn) 67% 的再利用率，降低環(huán)境排放與使用成本，符合亞洲芯片代工廠的生態(tài)合規(guī)要求。某半導(dǎo)體代工廠應(yīng)用后，晶圓刻蝕殘留率從 0.8% 降至 0.05%，刻蝕工藝效率提升 15%，單晶圓制造成本降低 3%，同時滿足 SEMI 國際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會的環(huán)保與純度標(biāo)準(zhǔn)，成為先進(jìn)制程刻蝕工藝的推薦清洗氣體。超高純甲烷用作燃?xì)鈧鞲衅餍?zhǔn)氣，確保檢測數(shù)據(jù)準(zhǔn)確。

上海彌正低超高純氣體系列（≤-80℃），專為對水分敏感的電子制造、精密儀器等領(lǐng)域設(shè)計，以 “干燥 + 高純度” 杜絕水分導(dǎo)致的生產(chǎn)缺陷。通過深度干燥與吸附提純工藝，將氣體中的水分含量控制在 50ppb 以下，部分產(chǎn)品（如超高純氮氣、氬氣）可低至 - 90℃，同時保證氣體純度達(dá) 6N 級以上，完全滿足半導(dǎo)體光刻、薄膜沉積等工藝對水分的要求。水分是電子制造中的 “隱形”，可能導(dǎo)致晶圓氧化、薄膜層間剝離、金屬電極腐蝕等嚴(yán)重問題，直接影響產(chǎn)品良率。該系列氣體采用全程干燥的生產(chǎn)、包裝與輸送系統(tǒng)，氣瓶內(nèi)壁經(jīng)特殊處理，防止水分吸附，輸送管路配備在線監(jiān)測儀，實時監(jiān)控氣體干燥度，確保終端使用點的始終符合要求。某顯示面板企業(yè)應(yīng)用低超高純氨氣后，OLED 面板的薄膜層間附著力提升 30%，因水汽導(dǎo)致的黑斑缺陷率從 1.5% 降至 0.05%；某精密電子元件廠使用后，產(chǎn)品的耐濕熱性能測試通過率從 85% 提升至 99.5%。超高純氣體輸送管道需鈍化處理，避免內(nèi)壁雜質(zhì)影響氣體純度。上海氙氣超高純氣體檢測分析

超高純氬氣（雜質(zhì)含量≤1ppm）適配激光切割，提升金屬加工切口光滑度。江蘇氯乙烷超高純氣體

上海彌正針對半導(dǎo)體制造全流程，打造涵蓋超高純氮氣、氫氣、氬氣、氟化物氣體等多品類的定制化氣體解決方案，覆蓋晶圓清洗、刻蝕、沉積、摻雜等**工藝。所有氣體純度均達(dá)到 5N-7N 級別，其中用于光刻工藝的特種氣體純度高達(dá) 9N 級，金屬雜質(zhì)含量控制在 0.01ppb 以下，完全滿足不同制程芯片的生產(chǎn)要求。提供從氣體提純、包裝、運輸?shù)浇K端輸送的全鏈條服務(wù)，配備痕量雜質(zhì)檢測實驗室，每批次產(chǎn)品均通過 GC-MS（氣相色譜 - 質(zhì)譜聯(lián)用儀）檢測，確保各項指標(biāo)達(dá)標(biāo)；輸送管道采用 316L 不銹鋼材質(zhì)，經(jīng)電解拋光與鈍化處理，內(nèi)壁粗糙度≤0.2μm，避免顆粒產(chǎn)生與氣體污染。某晶圓制造廠應(yīng)用該解決方案后，整體工藝缺陷率降低 40%，設(shè)備維護周期延長 3 倍，年節(jié)約運維成本超 500 萬元。根據(jù) SEMI 數(shù)據(jù)，2023 年全球半導(dǎo)體用高純氣體市場規(guī)模達(dá) 58.7 億美元，上海彌正憑借精細(xì)的工藝適配性與穩(wěn)定的供應(yīng)能力，成為國內(nèi)多家晶圓廠的**供應(yīng)商，助力半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自主化發(fā)展。江蘇氯乙烷超高純氣體

上海彌正氣體有限公司是一家有著雄厚實力背景、信譽可靠、勵精圖治、展望未來、有夢想有目標(biāo)，有組織有體系的公司，堅持于帶領(lǐng)員工在未來的道路上大放光明，攜手共畫藍(lán)圖，在上海市等地區(qū)的電工電氣行業(yè)中積累了大批忠誠的客戶粉絲源，也收獲了良好的用戶口碑，為公司的發(fā)展奠定的良好的行業(yè)基礎(chǔ)，也希望未來公司能成為*****，努力為行業(yè)領(lǐng)域的發(fā)展奉獻(xiàn)出自己的一份力量，我們相信精益求精的工作態(tài)度和不斷的完善創(chuàng)新理念以及自強不息，斗志昂揚的的企業(yè)精神將**上海彌正氣體供應(yīng)和您一起攜手步入輝煌，共創(chuàng)佳績，一直以來，公司貫徹執(zhí)行科學(xué)管理、創(chuàng)新發(fā)展、誠實守信的方針，員工精誠努力，協(xié)同奮取，以品質(zhì)、服務(wù)來贏得市場，我們一直在路上！