操作過程中的安全防護非常重要。激光安全是重中之重，系統(tǒng)必須配備互鎖裝置，確保在打開激光防護罩時激光器自動關閉，防止高能激光對人員眼睛和皮膚造成長久性傷害。所有操作人員必須接受激光安全培訓并佩戴相應的防護眼鏡。此外，高壓電器（如加熱器電源、RHEED電源）也存在電擊風險，必須確保所有接地可靠，并在進行任何內(nèi)部檢查前確認設備完全斷電。

氣體使用的安全規(guī)范不容忽視。系統(tǒng)配備的兩路質(zhì)量流量計用于精確控制反應氣體（如氧氣）或惰性氣體（如氬氣）。在使用氧氣等助燃氣體時，必須確保氣路連接牢固無泄漏，并遠離任何潛在的油污和熱源。特別是在進行較高氧氣壓力下的沉積時，需明確了解鉑金加熱器等元件在特定壓力下的較高安全工作溫度，防止因過熱而損壞。所有氣瓶應妥善固定，并放置在通風良好的區(qū)域。 系統(tǒng)提供選配的基板刻蝕與預處理功能。多腔室外延系統(tǒng)監(jiān)控

設備對實驗室環(huán)境有著嚴格的要求，為滿足這些環(huán)境要求，需采取相應保障措施。安裝空調(diào)系統(tǒng)，精確控制實驗室的溫度和濕度。空調(diào)系統(tǒng)應具備溫度和濕度自動調(diào)節(jié)功能，能夠根據(jù)設定的參數(shù)自動調(diào)整制冷、制熱和除濕量，確保實驗室環(huán)境穩(wěn)定。配備空氣凈化設備，如高效空氣過濾器（HEPA），過濾空氣中的微小顆粒，提高實驗室的潔凈度。空氣凈化設備應定期更換過濾器，保證其過濾效果。實驗室的地面和墻面應采用不易積塵、易于清潔的材料，如環(huán)氧地坪漆和潔凈板。地面要做好防靜電處理，可鋪設防靜電地板，減少靜電對設備的影響。多腔室外延系統(tǒng)監(jiān)控測溫端子數(shù)據(jù)偏差時，需重新校準，確保溫度監(jiān)測準確。

對于追求更高通量和更復雜工藝的研究團隊，多腔室分子束外延（MBE）系統(tǒng)提供了高品質(zhì)平臺。該系統(tǒng)將樣品制備、分析、生長等多個功能腔室通過超高真空傳送通道連接起來。樣品可以在完全不破壞真空的條件下，在不同腔室之間安全、快速地傳遞。這意味著，研究人員可以在一個腔室中對基板進行清潔和退火處理，然后傳送到生長腔室進行原子級精密的MBE或PLD生長，之后再傳送到分析腔室進行X射線光電子能譜（XPS）、俄歇電子能譜（AES）等原位表面分析，從而實現(xiàn)對材料從制備到表征的全程超凈環(huán)境控制，避免了大氣污染對界面和表面科學研究的致命影響。

全自動分子束外延生長系統(tǒng)集成了先進的計算機控制與傳感技術，將薄膜生長過程從高度依賴操作者經(jīng)驗的“藝術”轉變?yōu)楦叨瓤芍貜偷摹翱茖W”。通過集成多種原位監(jiān)測探頭，如RHEED、四極質(zhì)譜儀（QMS）和束流源爐溫控制器，系統(tǒng)能夠?qū)崟r采集生長參數(shù)。用戶預設的生長配方可以精確控制每一個生長步驟：從快門的開閉時序、各種源爐的溫度與蒸發(fā)速率，到基板的溫度與轉速。這種全自動化的控制不僅極大地提高了實驗結果的重復性和可靠性，也使得復雜的超晶格、異質(zhì)結結構的長時間、大規(guī)模生長成為可能，解放了研究人員的生產(chǎn)力。全自動分子束外延生長系統(tǒng)與該 PLD 系統(tǒng)協(xié)同，實現(xiàn)高效制備。

在新型二維材料與異質(zhì)結的研究中，PLD系統(tǒng)也展現(xiàn)出巨大的潛力。除了傳統(tǒng)的石墨烯、氮化硼外，科研人員正嘗試使用PLD技術制備過渡金屬硫族化合物（如MoS2）等二維材料薄膜。更重要的是，利用系統(tǒng)多靶位的優(yōu)勢，可以將不同的二維材料、氧化物、金屬等一層一層地堆疊起來，構建出范德華異質(zhì)結。這些人工設計的異質(zhì)結構能夠產(chǎn)生許多其母體材料所不具備的新奇光電特性，為開發(fā)新型晶體管、存儲器、光電傳感器和量子計算元件開辟了全新的道路。基板加熱過程中，需監(jiān)控溫度，避免超出設定范圍影響實驗。多腔室外延系統(tǒng)監(jiān)控

通過RHEED圖像振蕩頻率校準沉積速率。多腔室外延系統(tǒng)監(jiān)控

在啟動設備前，需要進行一系列嚴謹細致的檢查工作，以確保設備能夠正常運行并保證實驗的順利進行。首先是真空系統(tǒng)的檢查，要確認真空泵油位是否在正常刻度范圍內(nèi)，這直接關系到真空泵的抽吸能力，若油位過低可能導致真空泵無法正常工作，影響真空環(huán)境的建立。查看真空管道是否連接緊密，有無松動或破損跡象，防止空氣泄漏影響真空度。檢查真空計是否正常顯示，它是監(jiān)測真空度的關鍵儀表，若顯示異常將無法準確判斷真空環(huán)境狀態(tài)。

接著檢查氣源，確保氣體鋼瓶的閥門關閉嚴密，防止氣體泄漏造成安全隱患。查看氣體管道是否有彎折、堵塞情況，保證氣體輸送順暢。還要確認氣體流量計的準確性，以便精確控制氣體流量。電源檢查也不容忽視，檢查設備的電源線連接是否牢固，有無破損或短路現(xiàn)象。查看電源開關是否正常，各電氣部件的指示燈是否亮起，判斷設備的供電是否正常。

多腔室外延系統(tǒng)監(jiān)控

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