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液環螺桿真空泵機組

來源: 發布時間:2025-12-06

螺桿真空泵的抽氣性能受進氣壓力影響***。在粗真空階段(10?-103Pa),抽速隨壓力降低快速上升,壓力降至 103Pa 時達到額定抽速;在低真空階段(103-10?1Pa),抽速保持穩定(波動≤3%);在高真空階段(10?1-10?3Pa),因泄漏量占比增大,抽速逐漸下降(壓力 10?3Pa 時抽速約為額定值的 80%)。基于此,在實際應用中,若需達到以下的高真空,需將干式螺桿真空泵與高真空泵(如分子泵)串聯,形成機組:干式螺桿泵作為前級泵,將壓力降至 10?1Pa,再由分子泵抽至目標真空度。這種機組組合可兼顧大抽速(干式螺桿泵)和高真空(分子泵),適配半導體芯片制造、真空鍍膜等高精度工藝。化工行業用其處理強腐蝕性氣體。液環螺桿真空泵機組

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光伏鍍膜(如 PECVD 鍍膜)對螺桿真空泵的真空度控制精度要求極高,需通過三重技術實現穩定控制。一是分級抽氣控制,將鍍膜過程分為粗抽(真空度 103-102Pa)、精抽(102-10?1Pa)與維持(10?1-10?2Pa)三個階段,不同階段設定對應抽速(粗抽 300-500m3/h,精抽 100-200m3/h),避免真空度驟升驟降;二是動態補償技術,通過壓力傳感器實時監測真空度變化,當因氣體泄漏或工藝放氣導致真空度上升時,自動提升電機轉速(增幅 5%-10%),維持真空穩定;三是管路優化,采用高真空閥門(漏率≤1×10??Pa?m3/s)減少外部泄漏,同時在泵入口加裝真空緩沖罐(容積為泵腔的 5-10 倍),緩解氣流波動對真空度的影響。應用該技術后,真空度控制精度可達到 ±0.02Pa,鍍膜層厚度均勻性誤差≤3%,提升光伏電池轉換效率。貴州螺桿真空泵機組適用于半導體行業晶圓制造工藝環節。

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食品醫藥行業對生產設備的衛生標準和合規性要求極為嚴格,螺桿真空泵在該領域的應用需滿足多項國際和國內標準。首先,在結構設計上,設備需采用無死角、易清潔的設計理念,泵體內部避免出現凹陷、縫隙等易積污的結構,便于日常清潔和消毒,防止微生物滋生。其次,與物料或氣體接觸的部件(如轉子、泵殼內壁、進氣 / 排氣管道)需符合食品級或醫藥級標準,常用材質包括 316L 不銹鋼、食品級橡膠密封件等,且所有材質需通過 FDA(美國食品藥品監督管理局)或 EU 10/2011(歐盟食品接觸材料法規)認證。此外,設備還需具備完善的清潔滅菌功能,部分**機型配備在線清洗(CIP)和在線滅菌(SIP)系統,可通過高溫蒸汽或化學清洗劑對泵內進行自動化清潔滅菌,避免交叉污染,確保食品藥品的安全衛生。這些合規性設計使螺桿真空泵成為食品真空包裝、藥品凍干、疫苗生產等環節的理想選擇。

馬德寶干式螺桿真空泵融入智能化設計,大幅降低操作門檻。設備搭載 PLC 自動控制系統,支持變頻調速與柔性啟動,啟動時無沖擊電流,避免傳統設備直接啟動對電網與機械部件的損傷;運行中可自動調節電機頻率,精細匹配不同工況下的真空度與抽氣速率需求。安裝方面,采用撬裝式結構設計,LGB150W 型號基礎無需固定,1740mm×850mm 的緊湊尺寸節省廠房空間,無論是單機部署還是機組聯動,都能快速完成安裝調試,特別適合生產線升級改造時的靈活適配。螺桿轉子采用三維曲面優化嚙合效果。

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螺桿真空泵的涂層是提升泵耐腐蝕性、耐磨性的**手段。常用涂層材料包括三類:氮化鈦(TiN)涂層,硬度達 2000-2500HV,適用于含固體顆粒的氣體工況,可減少轉子刮擦磨損;類金剛石涂層(DLC),摩擦系數低至 0.05-0.1,能降低轉子旋轉阻力,適配高轉速(6000r/min)工況,使能耗降低 5%-10%;氧化鋁陶瓷涂層,耐酸耐溫性優異(耐溫 800℃),可抵御 HCl、H?SO?等酸性蒸氣侵蝕。涂層制備以物***相沉積(PVD)為主,其中磁控濺射法可精確控制涂層厚度(3-10μm),且涂層與轉子基體附著力≥50N。經涂層處理后,轉子使用壽命延長 2-3 倍,在含腐蝕性氣體的工況中,泵的維護周期從 6 個月延長至 18 個月。進氣口設計優化減少氣體反流現象?;y螺桿真空泵供應商哪家強

干式螺桿真空泵 “修正擺線” 型線可使抽速波動從 ±8% 降至 ±3%,提升運行穩定性。液環螺桿真空泵機組

螺桿真空泵的冷卻方式分風冷和水冷兩類:風冷系統適用于小抽速泵(≤100m3/h),通過電機帶動風扇,將泵腔熱量經散熱片散發,散熱片面積需根據功率計算(如15kW泵需散熱面積≥1.5m2);水冷系統適用于大抽速泵(≥200m3/h),冷卻水管路纏繞在泵腔外壁,進水溫度≤32℃,水壓0.2-0.4MPa,水流量根據熱負荷確定(如37kW泵需水流量≥5m3/h)。冷卻系統的可靠性至關重要,若冷卻不足,泵腔溫度超過80℃會導致轉子熱膨脹,間隙減小引發摩擦,嚴重時損壞設備,因此系統需加裝溫度傳感器,實時監控并聯動報警。液環螺桿真空泵機組

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