碳化硅外延工藝需在超潔凈低壓環境中進行，羅茨真空泵的無油污染與精細控壓特性使其成為**設備。在外延爐預處理階段，其與分子泵串聯使用，可將爐內真空度提升至 10??Pa，抽除襯底表面吸附的氧、氮雜質，保障外延層質量。外延生長階段，羅茨真空泵能精確控制反應室壓力在 1-10Pa，配合氣體流量控制系統，實時抽除未反應的硅烷、氫氣等原料氣體，避免多余氣體沉積影響外延層厚度均勻性。對于 6 英寸及以上大尺寸碳化硅外延，其 1200L/s 的超大抽速可實現反應氣體快速置換，縮短工藝周期；其 IoT 傳感器還能實時監測抽氣速率與壓力變化，實現預測性維護，減少設備停機時間。羅茨泵轉子對稱，運轉平穩噪聲低，結構緊湊，多為臥式利于排雜物。浙江馬德寶羅茨真空泵廠

羅茨真空泵又稱機械增壓泵，屬旋轉式容積真空泵，**結構包含泵殼與兩個 8 字型轉子。轉子平行安裝在一對軸上，通過傳動比為 1 的同步齒輪驅動，實現等速反向旋轉，且轉子間、轉子與泵殼間保持特定間隙不接觸，運轉時摩擦損失小、功率消耗低，可高速運轉。轉子由泵殼兩側端蓋的滾動軸承支承，借助可調同步齒輪確保高速旋轉時的相對位置，固定端特殊結構保障轉子與端蓋的端面間隙，使泵受熱時*向齒輪箱一端膨脹。兩側端蓋內的四組聚四氟乙烯活塞環密封裝置，能防止油箱潤滑油進入泵腔，出軸處的平衡式機械密封可避免大氣漏入。冷卻方式通常為風冷，高壓力工況下推薦選用水冷結構，電動機動力經聯軸器傳給主動軸，再通過同步齒輪帶動從動軸旋轉，ZJ 系列為臥式結構，多采用聯軸器與電機直聯，特殊需求可選用三角帶傳動。ZJP 型是 ZJ 型的派生產品，抽氣原理相同，但進排氣口連通且通道上垂直安裝重力閥。當進排氣口壓力差與閥有效作用面積的乘積超閥頭自重時，閥自動開啟，此數值為泵可靠運轉的比較高壓力差，使其具備過載自動保護功能。理論上 ZJP 型可在大氣壓下與前級泵同步啟動，但系統容積大時，旁通閥開啟時間長，有效抽速小，經濟性差，建議前級泵抽到一定壓力后再啟動 ZJP 型。北京水冷式羅茨真空泵羅茨泵腔內無需用油密封潤滑，減少油蒸氣對真空系統的污染，適配食品、醫藥等對潔凈度要求高的行業。

鈦合金砂型鑄造需嚴格控制鑄型與熔煉環境的真空度，羅茨真空泵是**真空設備。在大型鈦合金泵體鑄型制備中，其先對鋁礬土填料與氧化釔涂料組成的鑄型進行預抽真空，抽除型腔內的空氣與水分，避免澆注時產生氣孔缺陷；抽速可達 2900rpm 的轉子能快速將鑄型內壓力降至 5Pa 以下，保障鑄型透氣性與致密性。在真空自耗凝殼爐熔煉澆注階段，羅茨真空泵與機械泵串聯使用，將爐內真空度維持在 10?3Pa，抽除熔煉過程中產生的氣體雜質，提升鈦合金純凈度。澆注后配合氬氣反充系統，實現快速冷卻，使鑄件表面光潔度達到 6.3μm，尺寸精度滿足 CT9 級要求。

按冷卻方式劃分，羅茨真空泵可分為風冷式與水冷式。風冷式采用電機集成散熱設計，結構緊湊，無需外部冷卻回路，在熱處理、食品包裝等領域應用***。其優勢在于安裝便捷、運行成本低，且能適應移動工況需求。水冷式則適用于抽速超過 2000 m3/h 的大型設備，通過強制水冷維持腔體溫度在 60℃以下，確保高負荷運行時的穩定性，常見于半導體長晶、大型鍍膜等工業場景。按結構級數可分為單級與雙級羅茨真空泵。單級泵結構簡單，由一組轉子組成，抽速范圍通常為 100-2000 m3/h，適合對真空度要求不高的一般工業應用。雙級泵則串聯兩組轉子，通過兩級壓縮提升極限真空度，可達到 10?? mbar 級別，同時降低排氣溫度。雙級結構在半導體制造、真空蒸餾等**領域更為常見，能滿足高精度工藝對真空環境的嚴苛要求。羅茨泵適配真空干燥工藝，處理熱敏性溴化、氯化產品，避免高溫破壞有效成分，無油污染符合 GMP 要求。

碳化硅單晶生長對真空環境的極限壓力與穩定性要求嚴苛，羅茨真空泵通過與渦輪分子泵聯用滿足工藝需求。在單晶爐升溫階段，其先將爐內壓力從大氣壓快速降至 103Pa，抽除爐腔殘留空氣與水分；隨著溫度升至 2000℃以上，羅茨真空泵接力抽氣，配合液氮冷阱將壓力進一步降至 10??Pa，為碳化硅晶體生長提供超高真空環境。其 6000rpm 以上的高轉速轉子能快速抽除晶體生長過程中釋放的硅蒸汽與雜質氣體，減少單晶缺陷；動態壓力調節能力可應對生長過程中的突發氣體釋放，抽速波動率＜5%，保障晶體尺寸均勻性與電學性能。該設備還具備耐腐蝕涂層，能耐受碳化硅生長環境中的微量腐蝕性氣體，延長使用壽命。羅茨真空泵在制藥領域，滿足無菌生產環境要求。吉林馬德寶羅茨真空泵

羅茨真空泵能在低入口壓強下將氣體攜帶至排氣口，由前級泵排除。浙江馬德寶羅茨真空泵廠

羅茨真空泵啟動迅速是其**優勢，設備能在短時間內達到所需真空狀態，縮短工藝準備時間。結構上具有緊湊簡潔的特點，零部件數量相對較少，運維難度較低，維護費用也更為經濟。但與之對應的是，其對加工精度要求極高，轉子與殼體的間隙控制需精細，裝配難度較大，這也提升了制造門檻。節能性能突出是羅茨泵的重要特性。因無接觸摩擦，機械損失小，能以較低的動力輸入獲得較大的抽速，能源利用效率高。此外，設備運行時噪音相對較小，對工作環境影響較低。不過其存在明顯局限性，如壓縮比低，單獨使用無法獲得高真空，且抽除氫氣等輕質氣體的效果不及油增壓泵。浙江馬德寶羅茨真空泵廠

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