羅茨真空泵在較寬的壓力范圍內有較大的抽速,啟動快,能立即工作。對被抽氣體中含有的灰塵和水蒸氣不敏感,轉子不必潤滑,泵腔內無油,振動小,驅動功率小,結構緊湊,占地面積小,運轉維護費用低。這些特點使其在冶金、石油化工、造紙、食品、電子工業等部門得到廣泛應用。羅茨真空泵應安裝在干燥、通風良好和清潔的場所,環境溫度為5-40℃,需水平安裝,周圍應留有充分的余地,便于日常檢查、維護保養和拆裝。接通電源后,電機轉向應符合泵上轉向箭頭所示。連接被抽容器的管道應清潔,無雜質等異物,孔徑不應小于泵口口徑,長度宜短,以保證足夠的通導能力,管道連接應密封不漏。
高效羅茨真空泵,助力企業提升生產加工效率。浙江馬德寶羅茨真空泵結構圖

某電力設備廠為優化變壓器真空干燥工藝,采用羅茨泵與前級泵組合系統。原設備抽速不足導致干燥時間過長,新系統抽速達 1200m3/h,能快速將干燥罐內壓力降至 1Pa 以下。通過定期維護潤滑油與檢查密封件,設備連續運行 12 個月無故障,變壓器絕緣電阻值提升 20%,干燥周期從 48 小時縮短至 24 小時。某食品凍干企業為擴大生產規模,引入多臺羅茨真空泵用于凍干生產線。設備針對食品加工需求,配備進氣過濾與干燥裝置,防止雜質與水分進入泵腔。在果蔬凍干工藝中,可維持系統 0.05Pa 的穩定真空,配合制冷設備實現水分快速升華,產品復水性提升 10%,生產線產能從每日 5 噸提升至 8 噸,且產品保質期延長 6 個月。某航空航天研究院在空間模擬艙建設中,采用多級羅茨真空泵串聯系統。該系統需模擬太空中的高真空環境,通過 3 臺羅茨泵與分子泵組合,將艙內壓力降至 1Pa 以下。設備配備智能監控系統,可實時監測真空度與溫度參數,在航天器材料老化測試中,連續運行 30 天真空度波動小于 0.5Pa,為實驗提供了可靠的環境保障。浙江馬德寶羅茨真空泵口碑推薦羅茨泵適配真空干燥工藝,處理熱敏性溴化、氯化產品,避免高溫破壞有效成分,無油污染符合 GMP 要求。

啟動羅茨真空泵前,需先啟動前級泵,打開前級泵預抽管路上的閥門和羅茨泵進氣口上的閥門。待系統內的壓力達到羅茨真空泵的允許壓力后,關閉預抽閥門,起動羅茨真空泵。如果是較大的真空系統,為避免羅茨泵長時間工作在高壓力下產生過熱卡死,應待前級泵抽到一定壓力后再起動羅茨泵。羅茨真空泵的停車程序:關閉羅茨真空泵進氣閥,從上到下逐級停羅茨真空泵,***停前級泵,嚴禁搞錯停車程序。前級泵停車后,立即向前級泵進氣口放氣。停車程序的正確執行對于保護設備和確保系統安全至關重要。運行運轉中必須按照羅茨真空泵的技術規格使用,入口壓力在1330pa以下,泵的最大壓差不得高于其最大允許壓差值。注意電動機負荷和泵的各部位溫升,正常情況下,泵的比較高溫升不得超過40℃,最高溫度不得超過80℃。運轉中不應有不規則的異常振動和異常噪聲,如發現電機過載、溫升過高、聲音異常、振動大等情況,應立即停機檢查原因,排除故障。每日需檢查油位,油位過高會使溫度升高,過低會造成潤滑不良。每月檢查油的品質,若變質須及時更換。定期檢查羅茨泵的軸承、油封、齒輪等部件,如有損壞應予更換。
羅茨真空泵的傳動機構主要由同步齒輪與軸承組成,齒輪采用高精度漸開線齒輪,通過嚴格的齒側間隙控制實現轉子同步運轉,誤差不超過 0.02mm。軸承作為支撐部件,需承受轉子重量與運轉負荷,通常選用深溝球軸承或圓柱滾子軸承,部分**型號采用磁懸浮軸承,徹底消除機械摩擦,降低能耗與噪聲。傳動系統的潤滑依靠**油箱供給,標準型號多使用礦物油 LVO 100,需定期監測油位與污染狀況。其冷卻系統分為風冷與水冷兩種類型,風冷式通過法蘭安裝的散熱片與電機風扇實現熱交換,無需冷卻水回路,能節省水資源與維護成本,適合中小型設備及缺水環境。水冷式則通過腔體夾套中的冷卻水帶走熱量,散熱效率更高,適用于大功率或連續運行的工況。部分型號具備智能溫控功能,可根據運行溫度自動調節冷卻強度,既保證散熱效果,又避免能源浪費。旁通管路是羅茨真空泵的重要保護裝置,集成式設計通常配備壓差控制閥門。當泵體進出口壓差超過設定閾值(一般為 50-80 mbar)時,旁通閥自動開啟,使部分氣體回流至進氣側,避免轉子因負載過大受損。這種設計在系統啟動或前級泵故障時尤為關鍵,能有效防止泵體過載。旁通管路可根據需求調整流向,實現垂直流與水平流的現場轉換,提升安裝靈活性。多級羅茨真空泵串聯多級轉子,可直排大氣,無油氣污染,應用前景廣。

在半導體薄膜沉積工藝中,羅茨真空泵是真空系統的**組成部分。其需與干式前級泵組合使用,在工藝開始前快速將腔室壓力從大氣壓降至 10?3 mbar 以下,為薄膜生長創造潔凈真空環境。在 Low-E 玻璃鍍膜生產中,它能確保鍍膜過程中氣體組分穩定,減少膜層缺陷,提升產品透光率與隔熱性能。由于半導體制造對真空度穩定性要求極高,用于該領域的羅茨泵通常配備高精度壓力傳感器與閉環控制系統。半導體單晶硅長晶過程中,羅茨真空泵需提供大容量抽速,快速排出石英坩堝內的惰性氣體與揮發物,維持爐內穩定的低壓環境。單晶硅生長對真空系統的連續性要求嚴苛,泵體需具備 24 小時連續運行能力,且故障停機時間需控制在分鐘級。為此,這類應用中的羅茨泵通常采用冗余設計,并集成遠程監控功能,可提前預警軸承磨損、密封老化等潛在故障。羅茨泵可用于真空蒸餾、濃縮工藝,如苯乙烯抽除裝置,干式機組可降低物料聚合風險,提高產品純度。浙江馬德寶羅茨真空泵結構圖
羅茨真空泵維修成本低,減少企業設備維護支出。浙江馬德寶羅茨真空泵結構圖
羅茨真空泵選型時需考慮被抽氣體種類、抽氣量、真空度、工作真空范圍、真空容積等因素。例如,若被抽氣體含有大量水蒸汽,需選擇能處理可凝性氣體的前級泵,如水環泵;若對真空度要求較高,可采用羅茨泵串聯或與高真空泵組合的方案。維護方面,需定期檢查油位、溫度、電動機負荷等,每月檢查聯軸器及墊片,每3個月檢查齒輪箱內潤滑油是否變質,每6個月檢查前蓋軸承箱內潤滑油、活塞環及活塞環襯套等。同時,需注意吸入氣體的溫度、濕度和清潔度,避免灰塵、金屬粉末或腐蝕性氣體進入泵內,必要時在泵入口前加除塵裝置、過濾裝置或冷凝器。若吸入氣體溫度高于50℃,應采用氣冷羅茨泵或在泵入口前對氣體進行冷卻。浙江馬德寶羅茨真空泵結構圖
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