粉末冶金成型前的預抽真空可提升坯體密度與均勻性,羅茨真空泵的高效抽氣能力在此環節發揮重要作用。在磁場成型工藝中,其通過與密封壓機 聯動,可快速抽除模具模腔內的空氣,使釹鐵硼粉末在加壓時更均勻填充模具,減少坯體密度差異。對于等靜壓成型,羅茨真空泵能在坯體裝入高壓腔體前抽除包裝內的空氣,避免加壓時空氣膨脹導致坯體開裂;其抽速可達 300L/s 以上,能在 1 分鐘內將包裝內壓力降至 1Pa 以下,保障等靜壓后坯體致密度均勻性。該設備還支持氮氣保護下的預抽操作,在抽真空后充入氮氣防止粉末氧化,兼顧成型質量與材料性能。羅茨真空泵噪音控制佳,符合車間環保噪音標準。浙江老牌羅茨真空泵結構圖

某半導體芯片制造企業為提升封裝測試環節的真空穩定性,引入羅茨真空泵機組。該機組由羅茨泵與高真空前級泵組成,針對芯片封裝對潔凈度的要求,采用無油潤滑結構避免油污染,通過智能變頻系統實時調節抽速,使真空度波動控制在 ±0.1Pa 以內。設備運行后,封裝良率提升 3%,工藝周期縮短 15%,滿足了高密度芯片的生產需求。某大型化工企業在真空蒸餾生產線改造中,選用耐腐蝕材質的羅茨真空泵。原設備因不耐腐蝕導致頻繁故障,新設備采用不銹鋼泵體與碳化硅密封環,耐溫可達 600℃,壽命延長 5 倍。搭配冷卻系統后,可處理含氯腐蝕性氣體,抽速穩定在 500m3/h,蒸餾產品純度從 98% 提升至 99.5%,設備故障率下降 80%。重慶羅茨真空泵經銷商羅茨真空泵散熱性好,避免長時間運行過熱問題。

羅茨真空泵停機時,先關閉前級油封機械泵氣鎮閥(若運轉時開啟),再關閉羅茨泵進氣閥,隨后停羅茨泵,接著停前級泵,停前級泵的同時立即向其進氣口充入大氣,***關閉冷卻水進水閥。長時間停用或冬季為防凍裂,需放盡冷卻水套內剩水,尤其北方地區。另外,羅茨真空泵的維護檢查需定期進行,每日檢查齒輪箱與軸承箱油位、各部位溫度及電機負荷;每月檢查聯軸器彈性體或三角膠帶張力;每季檢查齒輪箱潤滑油是否變質;每半年檢查前蓋軸承箱潤滑油及機械密封狀況;每年檢查軸承、活塞環及襯套磨損情況,以及齒輪磨損對轉子工作的影響。拆裝時,未拆卸前需測量記錄主從動轉子各部位間隙,拆卸避免重錘敲打,零件需清洗保管并記錄更換情況;重裝前零件要修光毛刺并擦凈,無密封墊襯的靜密封平面涂“106”有機硅橡膠涂料,橡膠密封件涂真空脂,按原間隙調整轉子間隙,裝好后需檢漏、試運轉及性能測試,正常后方可投入使用。
羅茨真空泵在較寬的壓力范圍內有較大的抽速,啟動快,能立即工作。對被抽氣體中含有的灰塵和水蒸氣不敏感,轉子不必潤滑,泵腔內無油,振動小,驅動功率小,結構緊湊,占地面積小,運轉維護費用低。這些特點使其在冶金、石油化工、造紙、食品、電子工業等部門得到廣泛應用。羅茨真空泵應安裝在干燥、通風良好和清潔的場所,環境溫度為5-40℃,需水平安裝,周圍應留有充分的余地,便于日常檢查、維護保養和拆裝。接通電源后,電機轉向應符合泵上轉向箭頭所示。連接被抽容器的管道應清潔,無雜質等異物,孔徑不應小于泵口口徑,長度宜短,以保證足夠的通導能力,管道連接應密封不漏。
羅茨泵轉子幾何對稱性好,運轉振動小、噪音低,摩擦損失小,驅動功率低,可實現高轉速運行。

羅茨泵轉子多為雙葉直齒,也有三葉斜齒,橫斷面外輪廓線為轉子型線,工作時兩轉子靠傳動比 1 的齒輪驅動,型線需為共軛曲線。選擇轉子型線需考慮泵工作性能(容積利用系數大)、幾何對稱性(互換性好、運轉平穩)、轉子強度及加工工藝性,實際型線多由圓弧線、漸開線和擺線組合而成,分理論型線(保證轉子嚙合)和實際型線(預留間隙)。羅茨泵主要尺寸由實際抽速確定,需結合容積效率 ηv、轉子長度系數 kl、轉子圓周速度 u2、斷面系數 k0 等參數,通過相關公式計算轉子半徑 R 等尺寸。圓周速度 u2 選擇與轉子材料相關,不同材料有不同取值范圍,中心距需符合標準規定。為降低間隙流導,可對轉子頭部型線特殊加工或開設溝槽,但需注意可能導致的容積變化及對抽速的影響。羅茨泵是雙轉子容積泵,轉子反向旋轉,經吸氣、外壓縮、排氣抽氣。ZJQ氣冷式羅茨真空泵說明書
羅茨泵在較寬壓力范圍抽速大,設旁通溢流閥,可在大氣壓下啟動。浙江老牌羅茨真空泵結構圖
羅茨真空泵使用前必須仔細閱讀操作手冊,且不可單獨使用,需配備本公司專業技術人員推薦的前級真空泵才能投入運行。起吊時,*可在泵體自帶的吊環螺釘處操作,成套真空設備嚴禁在此處起吊,無吊環螺釘的泵則可用鏟車等工具搬運。泵的電機連接架和電動機風扇防護罩為半封閉結構,運轉時嚴禁用手或工具接觸高速旋轉的聯軸器與風扇葉片,以防受傷。排氣管路不得有任何限制排氣的行為,也不能安裝截止閥門,因其兼具壓縮機功能,入口壓力較高且無過載保護時,排氣口會產生高壓,可能損毀設備或傷人。安裝進排氣管道及閥門時,要嚴防異物進入泵腔,若有異物需徹底***才能啟動;管道質量過重時需做好支撐,避免影響泵的精度。該泵不可抽吸含氧量超 20% 或易燃易爆的氣體,除非配備防護裝置并補充惰性氣體,否則易引發。運行中禁止拆開油箱加放油螺塞,排出的氣體也不能直接排入封閉車間或通風差的建筑,以防影響人員與環境。同時,運行時泵表面溫度可能超過100℃,嚴禁用手直接觸碰;拆裝維護前必須切斷電源,防止意外啟動造成損害。浙江老牌羅茨真空泵結構圖
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