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干式螺桿真空泵制造商

來源: 發(fā)布時間:2025-11-03

干式螺桿真空泵的材料選型需適配工況特性。轉(zhuǎn)子材料優(yōu)先選用**度鋁合金(如 6061-T6)或不銹鋼(如 316L):鋁合金重量輕(密度 2.7g/cm3),適合高轉(zhuǎn)速(6000r/min)工況,減少電機負(fù)荷;316L 不銹鋼耐腐蝕性強,適合含酸性、堿性氣體的工況,但密度大(7.98g/cm3),需匹配更大功率電機。泵腔材料多為灰鑄鐵(HT250)或球墨鑄鐵(QT400-15),鑄鐵材料成本低、加工性好,且具備一定耐磨性,內(nèi)壁經(jīng)淬火處理(硬度≥HRC50)可延長使用壽命。此外,緊固件(螺栓、螺母)需采用不銹鋼材質(zhì)(如 304),避免生銹導(dǎo)致拆機困難,關(guān)鍵部位螺栓需涂抹耐高溫螺紋膠(耐溫 200℃以上),防止振動松動。食品級螺桿泵符合 FDA 認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)。干式螺桿真空泵制造商

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干式螺桿真空泵的安全注意事項明確:電氣安全方面,泵需接地(接地電阻≤4Ω),避免漏電;電機需加裝過載保護(電流設(shè)定為額定值 110%),防止燒毀;禁止在潮濕環(huán)境(相對濕度>85%)或有易燃易爆氣體的環(huán)境中未采取防護措施開機。機械安全方面,開機時禁止打開泵腔端蓋,防止轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)傷人;拆機維護前需切斷電源并掛牌警示,待轉(zhuǎn)子完全停止(≥5 分鐘)后操作;禁止在無冷卻的情況下長時間運行,防止設(shè)備過熱損壞。氣體安全方面,抽除腐蝕性氣體時需在進氣端加裝氣體中和裝置(如抽除酸性氣體加堿液中和塔),抽除易燃易爆氣體時需采用防爆電機(Ex d IIB T4),并在排氣端加裝阻火器,避免火花引發(fā)。安徽螺桿真空泵干式螺桿真空泵傳動系統(tǒng)多為 “電機 - 聯(lián)軸器 - 轉(zhuǎn)子” 直聯(lián),效率≥95%。

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螺桿真空泵作為一種干式真空泵,其**工作部件由一對相互嚙合的螺桿轉(zhuǎn)子組成。在電機驅(qū)動下,兩根螺桿以相反方向高速旋轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)子與泵殼之間形成周期性變化的容積腔室。當(dāng)氣體從進氣口進入腔室后,隨著螺桿的旋轉(zhuǎn),容積腔室不斷縮小,氣體被逐漸壓縮,**終從排氣口排出,實現(xiàn)抽真空過程。與傳統(tǒng)油式真空泵相比,它比較大的優(yōu)勢在于無油污染,避免了油蒸氣對被抽氣體和生產(chǎn)工藝的影響,尤其適用于半導(dǎo)體、食品醫(yī)藥等對潔凈度要求極高的行業(yè)。同時,其結(jié)構(gòu)簡單緊湊,運行時振動小、噪音低,單級抽氣就能達(dá)到較高的真空度,在中高真空領(lǐng)域展現(xiàn)出穩(wěn)定可靠的性能,大幅降低了后續(xù)真空系統(tǒng)的配置復(fù)雜度。

當(dāng)螺桿真空泵用于處理含粉塵氣體(如化工粉體輸送、金屬冶煉)時,粉塵進入泵體易造成轉(zhuǎn)子磨損、間隙增大,需設(shè)計多級前置過濾系統(tǒng)。一級過濾采用旋風(fēng)分離器,利用離心力分離粒徑≥10μm 的大顆粒粉塵,分離效率可達(dá) 90%;二級過濾選用覆膜濾筒,過濾精度達(dá) 1μm,攔截細(xì)小粉塵顆粒,同時具備反吹清灰功能,通過脈沖壓縮空氣定期清理濾筒表面積塵,避免堵塞;三級過濾為金屬燒結(jié)網(wǎng),進一步過濾殘留的微塵,確保進入泵體的氣體含塵量≤0.1mg/m3。此外,過濾系統(tǒng)需設(shè)置壓差監(jiān)測裝置,當(dāng)濾芯堵塞導(dǎo)致壓差超過 0.03MPa 時,自動報警提醒更換。某粉體加工廠采用該過濾設(shè)計后,螺桿真空泵的轉(zhuǎn)子磨損周期從 8000 小時延長至 20000 小時,設(shè)備維護成本降低 60%,同時避免了因粉塵堵塞導(dǎo)致的停機損失。12 英寸晶圓生產(chǎn)線常用進口螺桿泵。

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螺桿真空泵的抽氣效率**取決于轉(zhuǎn)子型線設(shè)計,目前主流有雙圓弧型線、擺線型線及漸開線型線三類。雙圓弧型線通過轉(zhuǎn)子齒頂與齒根的圓弧過渡,減少氣體在腔室內(nèi)的滯留死角,抽氣速率較傳統(tǒng)型線提升 15%-20%,適配半導(dǎo)體刻蝕等對抽速敏感的場景;擺線型線則憑借嚙合間隙小的優(yōu)勢,極限真空度可突破 10??Pa,多用于超高真空實驗裝置;漸開線型線因加工難度低、成本可控,廣泛應(yīng)用于中小型工業(yè)級螺桿泵。采用 “雙圓弧 - 漸開線復(fù)合型線” 設(shè)計的設(shè)備,在 1200m3/h 抽速下,容積效率仍能保持 92% 以上,既滿足大抽量需求,又兼顧真空度穩(wěn)定性,可適配 14nm 制程的半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)節(jié)。含顆粒物氣體處理需加前置過濾。甘肅干式無油螺桿真空泵選購建議

鋰電池干燥工藝依賴其穩(wěn)定抽氣能力。干式螺桿真空泵制造商

螺桿真空泵在低溫環(huán)境(-10℃至 - 30℃)運行時,易出現(xiàn)潤滑油黏度增大、密封件硬化、電氣元件失效等問題,需針對性改造。首先,潤滑系統(tǒng)需更換低溫**潤滑油,其黏度指數(shù)需≥140,傾點≤-40℃,確保低溫下仍能形成有效油膜;其次,密封件選用耐低溫氟橡膠材質(zhì),避免低溫導(dǎo)致的彈性下降與泄漏;電氣部分加裝加熱保溫裝置,對電機繞組、控制模塊進行恒溫保護,維持溫度在 5℃以上。此外,進氣口需設(shè)置除霜裝置,防止空氣中的水分凝結(jié)成霜堵塞氣道。某低溫實驗室通過上述改造,使螺桿真空泵在 - 25℃環(huán)境下連續(xù)運行 6000 小時,未出現(xiàn)任何故障,抽氣效率保持在額定值的 95% 以上,滿足了低溫真空實驗的穩(wěn)定需求。干式螺桿真空泵制造商

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