馬德寶螺桿真空泵系列產品涵蓋 LG 系列（LG50 至 LG360）與 LGB 系列（LGB70 至 LGB400），抽速范圍 50-480 L/S（50/60Hz），極限壓力 1-50 Pa，配用功率 5.5-55 KW，冷卻水量 2.5-3.5 L/min，進氣口徑 50-100mm、排氣口徑 40-65mm，重量 295-680 kg，噪音 72-89 dB (A)。例如 LG100 型抽速 100/120 L/S，極限壓力 2/1 Pa，功率 11/15 KW；LGB200A 型抽速 200/240 L/S，極限壓力 0.02/0.01 mbar，適配多種對真空度與抽速有不同需求的場景。此外，機組可防腐處理，用于抽除腐蝕性氣體，在化工制藥的脫水結晶、電力的真空浸漬等工藝中表現突出。干式螺桿真空泵靜密封用氟橡膠 O 型圈，耐溫 - 20-200℃，動密封為雙端面機械密封。貴州制藥螺桿真空泵

螺桿真空泵的抽氣性能受進氣壓力影響***。在粗真空階段（10?-103Pa），抽速隨壓力降低快速上升，壓力降至 103Pa 時達到額定抽速；在低真空階段（103-10?1Pa），抽速保持穩定（波動≤3%）；在高真空階段（10?1-10?3Pa），因泄漏量占比增大，抽速逐漸下降（壓力 10?3Pa 時抽速約為額定值的 80%）。基于此，在實際應用中，若需達到以下的高真空，需將干式螺桿真空泵與高真空泵（如分子泵）串聯，形成機組：干式螺桿泵作為前級泵，將壓力降至 10?1Pa，再由分子泵抽至目標真空度。這種機組組合可兼顧大抽速（干式螺桿泵）和高真空（分子泵），適配半導體芯片制造、真空鍍膜等高精度工藝。螺桿真空泵經銷商食品級螺桿泵符合 FDA 認證標準。

干式螺桿真空泵的安全注意事項明確：電氣安全方面，泵需接地（接地電阻≤4Ω），避免漏電；電機需加裝過載保護（電流設定為額定值 110%），防止燒毀；禁止在潮濕環境（相對濕度＞85%）或有易燃易爆氣體的環境中未采取防護措施開機。機械安全方面，開機時禁止打開泵腔端蓋，防止轉子旋轉傷人；拆機維護前需切斷電源并掛牌警示，待轉子完全停止（≥5 分鐘）后操作；禁止在無冷卻的情況下長時間運行，防止設備過熱損壞。氣體安全方面，抽除腐蝕性氣體時需在進氣端加裝氣體中和裝置（如抽除酸性氣體加堿液中和塔），抽除易燃易爆氣體時需采用防爆電機（Ex d IIB T4），并在排氣端加裝阻火器，避免火花引發。

螺桿真空泵的涂層是提升泵耐腐蝕性、耐磨性的**手段。常用涂層材料包括三類：氮化鈦（TiN）涂層，硬度達 2000-2500HV，適用于含固體顆粒的氣體工況，可減少轉子刮擦磨損；類金剛石涂層（DLC），摩擦系數低至 0.05-0.1，能降低轉子旋轉阻力，適配高轉速（6000r/min）工況，使能耗降低 5%-10%；氧化鋁陶瓷涂層，耐酸耐溫性優異（耐溫 800℃），可抵御 HCl、H?SO?等酸性蒸氣侵蝕。涂層制備以物***相沉積（PVD）為主，其中磁控濺射法可精確控制涂層厚度（3-10μm），且涂層與轉子基體附著力≥50N。經涂層處理后，轉子使用壽命延長 2-3 倍，在含腐蝕性氣體的工況中，泵的維護周期從 6 個月延長至 18 個月。精細化工用其保障反應釜真空度。

螺桿真空泵的涂層厚度控制對性能至關重要。涂層過薄（＜3μm）會導致防護不徹底，轉子基體易受腐蝕或磨損；涂層過厚（＞10μm）會增加轉子重量，增大電機負荷，且易產生內應力導致涂層剝落。因此，制備過程中需采用 “在線監控” 技術：磁控濺射法通過控制濺射功率（100-300W）和時間（30-60 分鐘）調節厚度，每 5 分鐘用膜厚儀（精度 0.1μm）測量一次；化學氣相沉積（CVD）法通過控制反應氣體流量（100-200sccm）和溫度（800-1000℃）調節厚度，每 10 分鐘取樣測量。此外，涂層厚度需均勻，同一轉子表面的厚度差≤1μm，避免局部過薄或過厚，確保整體性能一致。超大型螺桿泵適用于太空模擬艙。北京螺桿真空泵報價

12 英寸晶圓生產線常用進口螺桿泵。貴州制藥螺桿真空泵

螺桿真空泵的安裝環境需滿足溫度 5-40℃、相對濕度≤85%、振動加速度≤0.1g，且遠離易燃易爆氣體；管道連接采用法蘭密封，進氣法蘭直徑需與泵進氣口徑一致（常見口徑 50-200mm），密封墊片選用全氟醚橡膠，避免氣體腐蝕；排氣管道需加裝消聲器（降噪量≥20dB）和止回閥，防止大氣回流。開機前需完成三項檢查：油位、電源電壓（380V±10%，三相平衡）、密封狀態（無泄漏痕跡）。開機流程為：空載運行 5-10 分鐘→確認轉速穩定（3000-6000r/min）→緩慢開啟進氣閥→接入被抽系統，停機時需先關閉進氣閥→空載運行 3 分鐘→切斷電源，確保泵內無殘留氣體。貴州制藥螺桿真空泵

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