極測（南京）微環境控制系統設備內部濕度穩定性可達 ±0.5%@8h，有效防止因濕度變化引發的光學元件發霉、機械部件生銹等問題，延長立式干涉儀使用壽命。同時，系統可實現百級以上潔凈度控制，蕞高優于 ISO class3（設備工作區），避免灰塵等污染物影響光線傳播與干涉條紋，為干涉儀營造超凈工作空間。 智能功能助力運維極測微環境控制系統具備強大的數據實時記錄查詢功能。運行中的溫度、濕度等關鍵數據自動生成曲線，便于操作人員直觀掌握環境變化。微環境控制系統數據自動保存且可隨時導出，運行狀態與故障狀態同步記錄，方便進行數據分析、質量追溯與故障排查。此外，自動安全保護系統可實現故障自動保護，確保設備全天候穩定運行，減少因故障導致的測量中斷。系統采用高精密控溫算法，能將設備工作區域的溫度波動控制在±0.002℃范圍內（靜態工況下可達±2mK）。芯片精密溫控制造

毫開爾文級控制：精密溫控設備采用閉環氣流循環系統，通過EC風機驅動氣流以精密算法規劃的路徑均勻覆蓋設備內部，實現關鍵區域溫度波動控制在±2mK（靜態），溫度均勻性<16mK/m

動態響應機制：自主研發的高精密控溫技術實現0.1%的控制輸出精度，精密溫控設備對外界環境變化實現毫秒級響應

潔凈度標準：讓塵埃無處遁形超越傳統的潔凈標準：精密溫控設備通過多層高效粒子過濾器與動態氣流管理，工作區潔凈度達ISOClass3標準及以上，遠超傳統實驗室的ISOClass5標準

微粒攔截：精密溫控設備可攔截直徑0.3μm的塵埃顆粒，杜絕因微粒污染導致的集成電路短路或光學傳感器失效智能生態：看得見的穩定，可追溯的精zhun

環境“心電圖”：精密溫控設備智能監控系統自動生成帶時間戳的溫濕度曲線報告，支持一鍵導出，滿足ISO17025等國際標準對數據完整性的要求

靜音護航：精密溫控設備采用EC風機與高效隔音材質，運行噪音<45dB，營造舒適工作環境

靈活架構：按需定制的環境解決方案模塊化設計：精密溫控設備采用可拆卸鋁合金框架結構，支持大型設備現場組裝，突破空間限制

按需定制：從溫濕度穩定性、潔凈度等級到抗微振、防磁、隔音性能，提供全場景非標定制服務 防磁精密溫控報價系統由設備主柜體、潔凈過濾系統、局部氣浴、控制系統、氣流循環系統、制冷(熱)系統等組成。

超高潔凈環境保障：系統可實現蕞高ISO Class 1級的潔凈環境（每立方米≥0.1μm顆粒物≤10個），這一潔凈級別極大降低了因顆粒物導致的鍵合缺陷風險。
濕度與壓力協同控制：除了溫控精度與潔凈度，系統蕞高能將濕度穩定性維持在±0.3%RH，壓力波動控制在±3Pa以內。這種多參數協同控制能力，為鍵合工藝提供了全方wei、全時段的穩定環境保障。

打造波動 ±0.005℃、潔凈度 ISO Class 3 的精密環境是一項復雜的系統工程。通過明確目標、構建系統、智能監測和完善維護，能夠有效實現這一目標。極測（南京）精密溫控設備為高duan產業和科研活動提供穩定、可靠的環境保障，推動行業不斷向著更高精度、更高質量的方向發展。第一步，確定環境要求標準與目標。根據具體的生產或實驗需求，明確溫度、濕度、潔凈度等各項參數的目標值；以及對此環境所處的外部大環境參數進行確認。第二步，明確高精度環境要求空間大小，并構建環境控制系統。根據所需空間大小搭建外部框架，針對框架空間內的溫度控制，選擇相應精密溫控設備并合理布局，確保溫度在整個空間內均勻分布。第三步，實施智能監測與反饋。精密溫控設備通過部署高精度傳感器實時監測環境中的各項參數，并將數據傳輸至智能控制系統，進行智能調控，使環境恢復穩定。蕞后，建立完善的維護體系。定期對環境控制系統進行維護和保養，包括清潔設備、更換濾芯、校準傳感器等，確保精密溫控設備始終處于良好的運行狀態。
極測（南京）憑借其自主研發的精密環控系統，為鍵合設備提供了超穩定的運行環境，成為突破工藝的關鍵支撐。

控溫精度：提供業界前列的 ±0.002℃高精密溫度控制能力，溫度水平均勻性嚴格控制在 <16mK/m 范圍內，確保測量過程的穩定性和 0.1% 的控制輸出精度。

濕度與潔凈協同保障：設備同時實現 ±0.5%@8h 的高濕度穩定性，杜絕因濕度問題導致的零部件腐蝕和鏡片結霧風險。潔凈度控制可達百級以上，關鍵工作區蕞高優于 ISO class3 標準，嚴防塵埃顆粒干擾精密光路。
全方wei環境定制：極測具備強大的全場景非標定制能力，不僅能滿足嚴苛的溫濕度穩定性需求，還能根據用戶具體場景定制抗微振、防磁、隔音等綜合環境參數，為干涉儀量身打造理想的工作空間。 一般來說，潔凈室的潔凈度要達到Class 1到Class 100的標準。光刻機精密溫控設備采購

極測（南京）精密環控柜滿足用戶不同溫濕度穩定性、潔凈度，氣壓穩定性、抗微振、防磁、隔音等個性化需求。芯片精密溫控制造

打造高“溫度精度”，避免熱致誤差溫度是影響測量精度的首要因素。極測精密環控柜采用自主研發的高精度制冷/加熱控制系統，能夠實現高溫度精度和穩定性。蕞高將內部環境溫度波動控制在極小的范圍內（±2mK），確保每一次測量數據的重復性與可靠性。超凈空間，避免微粒污染除了溫控精度，潔凈度同樣至關重要。懸浮微粒一旦沉積在晶圓或設備光學鏡頭上，將造成缺陷或信號干擾。極測環控柜內部可維持蕞高ISO1級的超高潔凈環境，有效隔絕灰塵、顆粒物等污染物，為半導體量測設備提供干凈的環境，保護昂貴的光學組件和敏感樣品。智能集成，一站式環境配套我們的解決方案集成了精密溫控、潔凈控制、濕度控制（蕞高±0.3%RH）、及抗微振功能的綜合環境配套系統。支持根據您設備的特定型號和工藝要求進行非標定制，匹配不同半導體量測設備的精密需求。設備智能管理系統提供7x24小時實時數據監控與記錄，所有環境參數一目了然，數據可追溯，為質量分析和故障排查提供堅實依據。芯片精密溫控制造