晶圓制造是一項對環(huán)境極為敏感的工藝。無論是光刻、刻蝕，還是封裝環(huán)節(jié)，溫度的細微波動和空氣中的微小顆粒都可能帶來災難性后果，影響芯片的功能或造成短路或斷路，導致整片晶圓報廢。南京拓展科技旗下企業(yè)，極測（南京）技術(shù)有限公司推出的超精密恒溫潔凈棚，憑借突破性的環(huán)境控制技術(shù)，為晶圓構(gòu)建起無可比擬的操作空間，可實現(xiàn)±0.002℃，±0.005℃，±0.05℃，±0.01℃，±0.1℃等不同等級精度的溫度控制，及ISO class1-ISO class6不同等級的潔凈度，相比晶圓操作臺通過被動抵御環(huán)境溫度變化，極測精密恒溫潔凈棚通過其在溫度控制和潔凈度管理上的雙重突破，主動調(diào)控外部溫度，形成超精密恒溫潔凈間的 “黃金環(huán)境”，成為推動半導體產(chǎn)業(yè)向更高精度邁進的關(guān)鍵力量。半導體潔凈室中通常溫度需要嚴格控制在20°C至25°C范圍內(nèi)，且溫度波動不能超過±1°C。廣東微環(huán)境精密溫控

作為南京拓展科技旗下專注于微環(huán)境控制技術(shù)的關(guān)鍵企業(yè)，極測（南京）技術(shù)有限公司打造的超精密儀器室，通過集成自主研發(fā)的高精密微環(huán)境控制系統(tǒng)，為光刻機、立式干涉儀等精密儀器構(gòu)建了溫度波動極小、潔凈度極高（潔凈恒溫）的理想工作環(huán)境，精密儀器室成為支撐高精度測量與科研生產(chǎn)的關(guān)鍵基礎設施。
納米級溫控，超高精度溫度波動極測運用自主研發(fā)的高精密控溫技術(shù)，控制輸出精度達 0.1%，使得環(huán)境內(nèi)部溫度穩(wěn)定性關(guān)鍵區(qū)域可達 +/-2mK（靜態(tài)），溫度水平均勻性小于 16mK/m。實現(xiàn)±0.002℃，±0.005℃，±0.05℃，±0.01℃，±0.1℃等不同等級精度的溫度控制。為精密儀器打造高精密恒溫穩(wěn)定操作環(huán)境。 蕞高ISO class1級潔凈，打造無塵空間精密儀器室系統(tǒng)可實現(xiàn)百級以上潔凈度控制，蕞高優(yōu)于 ISO class3（設備工作區(qū)），達到ISO class1，避免灰塵等污染物影響光線傳播。設備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性可達 ±0.5%@8h，有效防止因濕度變化引發(fā)的光學元件發(fā)霉、機械部件生銹等問題，延長精密儀器使用壽命。 全場景非標定制，滿足多元化需求精密儀器室可根據(jù)用戶需求，滿足用戶不同的溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度，以及抗微振、防磁、隔音等多樣化的個性要求，保證用戶的正常使用。
廣東微環(huán)境精密溫控晶圓需要經(jīng)歷一系列高精度的蝕刻、涂層、光刻等工藝，這些工藝都需要在特定的溫度范圍內(nèi)進行。

這款高精密環(huán)控柜是我司單獨研發(fā)的精密環(huán)境控制設備，可達成ISOClass1-6級潔凈度，以及±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等多級溫度波動控制精度。依托全場景非標定制能力，能滿足用戶在溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度、抗微振、防磁、隔音等多方面的個性化需求。設備具備運行數(shù)據(jù)實時記錄與查詢功能，并配備自動安全防護系統(tǒng)，確保長期穩(wěn)定運行。其構(gòu)成包括主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過濾器、制冷（熱）系統(tǒng)、照明系統(tǒng)及局部氣浴等，專為光刻機、激光干涉儀等精密測量與制造設備，提供超高精度的溫濕度及潔凈度工作環(huán)境。該系統(tǒng)采用“外環(huán)境保障相對濕度、大環(huán)境穩(wěn)定絕dui含濕量”的邏輯，通過精zhun控溫實現(xiàn)倉內(nèi)濕度達標。為滿足嚴苛要求，采用大風量小溫差設計，快速循環(huán)過濾空氣并帶走余熱，使關(guān)鍵區(qū)域溫度波動低至±0.002℃；同時通過多級控溫（表冷盤降溫+多級電加熱升溫），將精度從±0.1℃逐步提升至±0.002℃。

半導體制造中鍵合設備對環(huán)境要求極高，需在恒溫、恒濕、高潔凈的環(huán)境中運行，同時嚴格控制振動與靜電。這些要求旨在確保鍵合界面的材料活性穩(wěn)定、設備機械精度達標，避免因溫濕度波動導致的鍵合偏差、顆粒污染引發(fā)的界面缺陷或靜電損壞芯片，從而保障微米級至亞微米級鍵合精度及產(chǎn)品良率與可靠性。 精密潔凈間的主柜體為內(nèi)部精密組件構(gòu)筑起穩(wěn)固的運作空間；依托高精密控溫技術(shù)，以0.1%的精密控制輸出精度。此外，精密潔凈間設備配備的氣流循環(huán)系統(tǒng)，通過風機驅(qū)動氣流定向循環(huán)，結(jié)合高效潔凈過濾器，不僅能確保設備內(nèi)部溫度均勻分布，更能達到百級以上的超高潔凈標準，工作區(qū)域潔凈度蕞高優(yōu)于ISO class3，為半導體光刻機、鍵合設備等對環(huán)境要求嚴苛的精密儀器，打造了近乎完美的研發(fā)生產(chǎn)環(huán)境。極測精密環(huán)控柜采用自主研發(fā)的高精度制冷/加熱控制系統(tǒng)，能夠?qū)崿F(xiàn)高溫度精度和穩(wěn)定性（±2mK）。

極測（南京）微環(huán)境控制系統(tǒng)設備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性可達 ±0.5%@8h，有效防止因濕度變化引發(fā)的光學元件發(fā)霉、機械部件生銹等問題，延長立式干涉儀使用壽命。同時，系統(tǒng)可實現(xiàn)百級以上潔凈度控制，蕞高優(yōu)于 ISO class3（設備工作區(qū)），避免灰塵等污染物影響光線傳播與干涉條紋，為干涉儀營造超凈工作空間。 智能功能助力運維極測微環(huán)境控制系統(tǒng)具備強大的數(shù)據(jù)實時記錄查詢功能。運行中的溫度、濕度等關(guān)鍵數(shù)據(jù)自動生成曲線，便于操作人員直觀掌握環(huán)境變化。微環(huán)境控制系統(tǒng)數(shù)據(jù)自動保存且可隨時導出，運行狀態(tài)與故障狀態(tài)同步記錄，方便進行數(shù)據(jù)分析、質(zhì)量追溯與故障排查。此外，自動安全保護系統(tǒng)可實現(xiàn)故障自動保護，確保設備全天候穩(wěn)定運行，減少因故障導致的測量中斷。極測（南京）高精密水冷冷凍水機組采用自主研發(fā)高精度溫度采集模塊，準確測量實驗艙內(nèi)實時的溫濕度。鍵合設備精密溫控穩(wěn)定性

精密測量要求環(huán)境高度潔凈，以防止微粒、塵埃和顆粒物影響測量精度。可以使用HEPA過濾器、潔凈工作臺等。廣東微環(huán)境精密溫控

極測精密溫控箱罩配備了先進的數(shù)據(jù)實時記錄查詢功能。在三坐標測量儀運行過程中，精密溫控箱罩的溫度、濕度等關(guān)鍵環(huán)境數(shù)據(jù)自動生成曲線，操作人員可直觀地觀察到環(huán)境參數(shù)的變化趨勢。數(shù)據(jù)自動保存且可隨時以表格形式導出，同時設備的運行狀態(tài)、故障狀態(tài)等事件也同步記錄。這不僅方便了生產(chǎn)過程中的質(zhì)量追溯與分析，還能幫助技術(shù)人員及時發(fā)現(xiàn)潛在問題，優(yōu)化測量流程。一旦設備出現(xiàn)異常，自動安全保護系統(tǒng)迅速啟動，故障自動保護程序確保設備全天候穩(wěn)定運行，實時聲光報警提醒工作人員，并支持遠程協(xié)助故障處理，蕞大程度減少因設備故障導致的生產(chǎn)停滯，保障生產(chǎn)效率。廣東微環(huán)境精密溫控