超高潔凈環境保障:系統可實現蕞高ISO Class 1級的潔凈環境(每立方米≥0.1μm顆粒物≤10個),這一潔凈級別極大降低了因顆粒物導致的鍵合缺陷風險。
濕度與壓力協同控制:除了溫控精度與潔凈度,系統蕞高能將濕度穩定性維持在±0.3%RH,壓力波動控制在±3Pa以內。這種多參數協同控制能力,為鍵合工藝提供了全方wei、全時段的穩定環境保障。
極測(南京)致力于為全球企業提供定制化的環境控制解決方案,以嚴格的溫濕度與潔凈度標準。激光精密溫控報價

合理的箱體結構有助于提升精密環控設備溫濕度的均勻性和控制效果,例如雙層保溫結構、優化風道設計等,能增強精密環控設備的保溫性能和控制精度。精密環控設備的外殼和內部材質應具備良好的耐磨性,部分還需要優良的保溫性能,以延長精密環控設備的使用壽命。極測的精密環控柜采用合理的柜體結構設計,主柜體為內部精密組件提供穩固物理空間,同時采用可拆卸鋁合金框架,方便大型設備在不同科研場所進行現場組裝,其箱體采用的高質量鈑金材質堅固耐用。 膜厚測量儀精密溫控場景極測(南京)專注于研發、生產和銷售高端定制化精密環控系統,目前已擁有結合全場景非標定制能力。

濕度穩定性:濕度過高可能導致光學鏡片表面結露、金屬部件銹蝕、光刻膠特性改變;濕度過低則容易產生靜電,吸附塵埃污染晶圓和設備。精確的濕度控制對確保工藝穩定性和材料性能至關重要。3、chao低振動:光刻機在曝光時需要極高的穩定性。任何來自地面(交通、施工、人員走動)、設備自身(空調、泵)或建筑物(風載荷)的振動,都會直接導致光學系統抖動,使投影到硅片上的圖形模糊或位置偏移。因此,光刻機通常安裝在深達地下的單獨地基或高性能主動/被動隔震平臺上,甚至采用磁懸浮等技術進行主動減振。
控制精度是衡量精密環控設備的關鍵指標,通常以溫度和濕度的偏差值表示,如 ±0.1℃和 ±1% RH,偏差值越小,精密環控設備的控制能力越強。極測(南京)技術有限公司的精密環控設備運用自主研發的高精密控溫技術,能達到 0.1% 的控制輸出精度。同時,精密環控設備內部的溫濕度均勻性也很重要,能確保各個位置的物品處于相同環境條件;而且在長時間運行中,精密環控設備的溫濕度控制需保持穩定,波動范圍越小越好,像極測的設備內部溫度穩定性關鍵區域可達 +/-2mK(靜態),溫度水平均勻性小于 16mK/m。 光學儀器行業通常要求相對濕度控制在40~60%RH之間,某些情況下可能要求更嚴格的范圍,如45~55%RH。

極測(南京)技術有限公司采用相對濕度由外環境保證,大環境控制空氣中的絕dui含濕量保持穩定,以實現環境倉內部濕度穩定性。其超精密環控艙內部構造先進,包括分區送風靜壓腔、分區回風流道、毫 K 級測溫采集模組 + 1/10Bpt100 矩陣式分布、中低頻吸 / 阻靜音設計方案等。自研高精密溫控技術,冷凍水的出水溫度蕞高精度可達 ±0.002℃。
在溫度控制方面,采用大風量小溫差的設計思想,通過快速循環空氣過濾并帶走熱量,使溫度波動處于極低數值,關鍵區域可達 ±0.002℃。同時采用多級控溫,將溫度精度逐步提升。針對光路部分設計密閉防護罩,表面開孔可有效降低發熱區域溫度,控制風速。對于局部發熱區域,采用局部氣浴進行溫度控制,確保該區域溫度在一定范圍內,且 30s 內的溫度變化率不超過 0.03℃。
精密環控系統安裝后,精度顯著提高。溫度穩定性從 ±2℃提升至 ±0.004℃,濕度穩定性從 ±10% RH 提升至 ±0.8% RH,潔凈度從 100 級提升至 10 級,噪音值從 70dB 降低至 55dB,測量誤差從 400 降低至 4。
例如,光刻工藝中,微小的溫度波動會導致曝光位置的漂移,進而影響線路的精確度。三坐標測量儀精密溫控報價
極測(南京)高精密水冷冷凍水機組采用自主研發高精度溫度采集模塊,準確測量實驗艙內實時的溫濕度。激光精密溫控報價
高精密冷凍水機組是一種專為工業及特殊環境設計的制冷設備,通過精確的溫度控制和高效制冷循環,為高精度制造、數據中心、醫藥生產等領域提供穩定可靠的冷卻解決方案。其關鍵特點在于高能效、低波動性及智能化控制,滿足嚴苛的溫控需求。極測(南京)技術有限公司采??研溫控技術,高精密冷凍水機組冷凍?的出?溫度蕞?精度可達±0.002℃。高精密冷凍水機組采用國際有名品牌壓縮機,配套高質量高效能銅管制作的板式換熱器及有名品牌電氣元器件。使機組具有精度高、體積小、噪音低、壽命長、操作簡便、高效節能等優點。高精密冷凍水機組采用自主研發高精度溫度采集模塊,準確測量實驗艙內實時的溫濕度數值并傳輸給控制器,冷凍水閥無級調節、無級調節電加熱器、模擬量控制加濕器可根據實際實驗艙需求調節輸出功率。專為高精度恒溫恒濕控制設計的PID算法,在運行過程中進行比例、積分、微分的計算并輸出控制,使實驗室內溫度濕度處于穩定狀態,絕dui焓濕量的控制策略,使控制實驗艙內濕度控制快速準確,沒有誤操作誤判斷。激光精密溫控報價