控溫精度：提供業界前列的 ±0.002℃高精密溫度控制能力，溫度水平均勻性嚴格控制在 <16mK/m 范圍內，確保測量過程的穩定性和 0.1% 的控制輸出精度。

濕度與潔凈協同保障：設備同時實現 ±0.5%@8h 的高濕度穩定性，杜絕因濕度問題導致的零部件腐蝕和鏡片結霧風險。潔凈度控制可達百級以上，關鍵工作區蕞高優于 ISO class3 標準，嚴防塵埃顆粒干擾精密光路。
全方wei環境定制：極測具備強大的全場景非標定制能力，不僅能滿足嚴苛的溫濕度穩定性需求，還能根據用戶具體場景定制抗微振、防磁、隔音等綜合環境參數，為干涉儀量身打造理想的工作空間。 除了溫控精度與潔凈度，系統蕞高能將濕度穩定性維持在±0.3%RH，壓力波動控制在±3Pa以內。半導體量測精密溫控房

在光學領域，干涉儀扮演著無可替代的 “基準量具” 角色。其測量精度直接受到工作環境的影響，包括溫度、濕度、氣壓波動等影響因素，尤其是溫度控制的細微偏差，都可能成為測量結果失準的 “系統性誤差源”。極測（南京）自研生產的精密環控系統，為干涉儀打造穩定的外部運行環境，包括精密溫度控制，以及濕度穩定性，氣壓穩定性，噪聲等。同時針對內部腔體區域采用局部氣浴的模式，保證內部檢測腔環境的穩定性，是許多半導體企業的選擇。0.01精密溫控單元極測（南京）技術有限公司，作為成熟的高精密環境控制設備制造商，專注于高精密事業創新與發展。

高精密環控柜由我司自主研發，是一款精密環境控制產品，可實現ISOClass1-6級潔凈度，以及±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等不同精度的溫度波動控制。擁有全場景非標定制能力，能針對用戶的個性化需求（如溫濕度穩定性、潔凈度、抗微振、防磁、隔音等）提供解決方案。設備運行數據實時記錄查詢，且配備自動安全保護系統，確保長時間運行無憂。其構成部分包括設備主柜體、控制系統、氣流循環系統、潔凈過濾器、制冷（熱）系統、照明系統、局部氣浴等，主要為光刻機、激光干涉儀等精密測量與制造設備，提供超高精度的溫濕度及潔凈度工作環境。濕度控制采用 “外環境保證相對濕度、大環境穩定絕dui含濕量” 的方式，通過精確控溫實現環境倉內部濕度穩定。為達成溫濕度及潔凈度要求，采用大風量小溫差設計，通過空氣快速循環過濾帶走余熱，使溫度波動保持在極低數值（關鍵區域 ±0.002℃）；并通過多級控溫（先經表冷盤降溫，再由多級電加熱逐步升溫），將溫度精度從 ±0.1℃升級至 ±0.002℃。

晶圓制造是一項對環境極為敏感的工藝。無論是光刻、刻蝕，還是封裝環節，溫度的細微波動和空氣中的微小顆粒都可能帶來災難性后果，影響芯片的功能或造成短路或斷路，導致整片晶圓報廢。南京拓展科技旗下企業，極測（南京）技術有限公司推出的超精密恒溫潔凈棚，憑借突破性的環境控制技術，為晶圓構建起無可比擬的操作空間，可實現±0.002℃，±0.005℃，±0.05℃，±0.01℃，±0.1℃等不同等級精度的溫度控制，及ISO class1-ISO class6不同等級的潔凈度，相比晶圓操作臺通過被動抵御環境溫度變化，極測精密恒溫潔凈棚通過其在溫度控制和潔凈度管理上的雙重突破，主動調控外部溫度，形成超精密恒溫潔凈間的 “黃金環境”，成為推動半導體產業向更高精度邁進的關鍵力量。極測（南京）致力于為芯片半導體、電子信息、光學儀器、精密制造、新能源等行業提供高精密環境解決方案。

精密環境受到多種因素的影響。溫度波動會導致儀器設備、被測樣品等產生形變，影響空氣對光的折射波動；濕度波動會影響空氣折射率，濕度過高還易造成電器故障；二氧化碳濃度、壓力梯度波動會影響空氣折射率；微振動會造成儀器設備等抖動，影響光路；電磁干擾、接地電阻過大會影響儀器設備正常工作。
極測（南京）技術有限公司針對不同環境控制需求，提供了完善的解決方案。普通環境控制需求溫度控制精度為 ±2℃，濕度控制精度為 ±5~15%，潔凈度等級為十萬級到百級，采用恒溫恒濕超凈間；精密環境控制需求溫度控制精度為 ±0.5~1℃，濕度控制精度為 ±2~5%，潔凈度等級為萬級到百級，采用精密恒溫恒濕超凈間；高精密環境控制需求溫度控制精度為 ±0.1~0.3℃，濕度控制精度為 ±2~5%，潔凈度等級為千級到百級，采用高精密恒溫恒濕超凈間；超精密環境控制需求溫度控制精度為 ±0.002~0.1℃，濕度控制精度為 ±1~5%，潔凈度等級為百級到十級，在高精密恒溫恒濕超凈間中搭建精密環控系統，同時氣流 / 風速 / 壓差控制、CO?濃度調節、噪音控制、環境參數閉環控制。
極測精密溫控設備已成為半導體企業、典型通信設備商、顯示面板前列品牌及眾多重量級實驗室的合作伙伴。微環境精密溫控艙

極測精密環控柜采用自主研發的高精度制冷/加熱控制系統，能夠實現高溫度精度和穩定性（±2mK）。半導體量測精密溫控房

極測設備的智能化設計為干涉儀的穩定運行增添強力保障：數據全流程可溯：實時記錄并圖形化顯示溫度、濕度等關鍵環境參數變化曲線，數據自動存儲并支持表格導出。設備運行狀態、故障事件完整記錄，為科研數據的溯源分析、生產質量管理提供堅實、透明的依據。智能閉環監控：內置自動安全保護系統，異常情況即時響應，故障自動處理機制確保設備 7x24 小時無憂運行。遠程協助功能極大縮短故障排除時間，蕞大限度保障干涉儀測量工作的連續性。
匠心靈活設計：按需定制無懼干擾靈活部署：采用可拆卸鋁合金框架結構，大型設備現場輕松組裝，大幅節省安裝成本和時間。堅固美觀：高質量鈑金箱體堅固耐用，外觀顏色可按需定制，完美融入現代化實驗室環境。靜謐運行：應用 EC 風機與高效隔音材料，運行噪音低于 45dB，營造安靜專注的工作氛圍，避免噪音對精密操作和干涉儀調試產生干擾。
半導體量測精密溫控房