極測（南京）技術有限公司的精密水冷冷凍水機組融合多項專li技術，打造超精密溫控關鍵能力：高精密控溫技術：動態(tài)平衡的 “神經(jīng)中樞”機組搭載自主研發(fā)高精度溫度采集模塊，實時捕捉供水溫度數(shù)據(jù)并傳輸至控制器，通過冷凍水閥無級調節(jié)與電加熱器協(xié)同工作，結合PID 算法及逐級控溫專li技術實現(xiàn)溫度偏差的精zhun計算與動態(tài)調節(jié)。例如，在半導體極紫外光刻工藝中，該技術可將精密水冷冷凍水機組的出水溫度波動控制在±0.001℃，滿足納米級制造對溫度穩(wěn)定性的嚴苛要求。光學儀器對溫濕度、潔凈度、抗微振等有嚴格的要求，主要源于光學儀器的高精密性和對生產(chǎn)環(huán)境的敏感性。湖北精密溫控房

在半導體制造、精密光學檢測等領域，環(huán)境參數(shù)的微小偏差都可能導致產(chǎn)品性能大幅下降。想要實現(xiàn)波動 ±0.005℃的精密溫度控制與 ISO Class 3 的潔凈度，需要突破傳統(tǒng)環(huán)境控制的技術瓶頸。 南京拓展科技旗下企業(yè)，極測（南京）作為專業(yè)的精密溫控設備供應商，其對環(huán)境溫度控制精度可達 ±0.002℃，潔凈度可達一級（優(yōu)于ISO class1），這一數(shù)據(jù)在行業(yè)內(nèi)處于前列水平。為精密制造和精密儀器的運行提供了可靠的環(huán)境保障。精密溫控設備現(xiàn)已服務多家芯片半導體令頁軍企業(yè)，以及國家重點實驗室。精密溫控通過以下方式根據(jù)用戶的不同需求進行設備的非標定制。集成電路精密溫控設計極測（南京）憑借其自主研發(fā)的精密環(huán)控系統(tǒng)，為鍵合設備提供了超穩(wěn)定的運行環(huán)境，成為突破工藝的關鍵支撐。

控制精度是衡量精密環(huán)控設備的關鍵指標，通常以溫度和濕度的偏差值表示，如 ±0.1℃和 ±1% RH，偏差值越小，精密環(huán)控設備的控制能力越強。極測（南京）技術有限公司的精密環(huán)控設備運用自主研發(fā)的高精密控溫技術，能達到 0.1% 的控制輸出精度。同時，精密環(huán)控設備內(nèi)部的溫濕度均勻性也很重要，能確保各個位置的物品處于相同環(huán)境條件；而且在長時間運行中，精密環(huán)控設備的溫濕度控制需保持穩(wěn)定，波動范圍越小越好，像極測的設備內(nèi)部溫度穩(wěn)定性關鍵區(qū)域可達 +/-2mK（靜態(tài)），溫度水平均勻性小于 16mK/m。  

高精密環(huán)境控制設備是一款自主研發(fā)的精密環(huán)境控制產(chǎn)品，主要由設備主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過濾器、制冷(熱)系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、局部氣浴等組成，為光刻機、激光干涉儀等精密測量、精密制造設備提供招高精度溫濕度、潔凈度的工作環(huán)境。該設備內(nèi)部通過風機引導氣流以一定的方向循環(huán)，控制系統(tǒng)對循環(huán)氣流的每個環(huán)節(jié)進行處理，從而使柜內(nèi)的溫濕度達到超高的控制精度。溫度穩(wěn)定性蕞高可達±0.002°C，濕度穩(wěn)定性蕞高可達±0.3%RH，潔凈等級蕞高可實現(xiàn) ISO class 1級。半導體生產(chǎn)過程中使用的許多材料對濕度也非常敏感。例如，光刻膠在高濕環(huán)境下容易吸濕，影響其固化效果。

極測微環(huán)境控制系統(tǒng)運用自主研發(fā)的高精密控溫技術，控制輸出精度達 0.1%，設備內(nèi)部溫度穩(wěn)定性關鍵區(qū)域可達 +/-2mK（靜態(tài)），溫度水平均勻性小于 16mK/m。這一精度確保了在立式干涉儀運行時，光學元件與機械結構不受溫度波動干擾，始終維持在蕞佳工作狀態(tài)，微環(huán)境控制系統(tǒng)為精zhun測量提供穩(wěn)定基礎。 精密測量需要在恒溫條件下進行，因為各種工程材料都有熱膨脹性。標準測量溫度通常為20℃。光學元件精密溫控設計

穩(wěn)定電子元件內(nèi)部結構，應用于超聲波清洗、真空鍍膜等場景，防止清洗劑揮發(fā)并保障鍍膜質量。湖北精密溫控房

極測（南京）微環(huán)境控制系統(tǒng)設備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性可達 ±0.5%@8h，有效防止因濕度變化引發(fā)的光學元件發(fā)霉、機械部件生銹等問題，延長立式干涉儀使用壽命。同時，系統(tǒng)可實現(xiàn)百級以上潔凈度控制，蕞高優(yōu)于 ISO class3（設備工作區(qū)），避免灰塵等污染物影響光線傳播與干涉條紋，為干涉儀營造超凈工作空間。 智能功能助力運維極測微環(huán)境控制系統(tǒng)具備強大的數(shù)據(jù)實時記錄查詢功能。運行中的溫度、濕度等關鍵數(shù)據(jù)自動生成曲線，便于操作人員直觀掌握環(huán)境變化。微環(huán)境控制系統(tǒng)數(shù)據(jù)自動保存且可隨時導出，運行狀態(tài)與故障狀態(tài)同步記錄，方便進行數(shù)據(jù)分析、質量追溯與故障排查。此外，自動安全保護系統(tǒng)可實現(xiàn)故障自動保護，確保設備全天候穩(wěn)定運行，減少因故障導致的測量中斷。湖北精密溫控房