在實際應(yīng)用中，極測的溫控設(shè)備已經(jīng)在眾多半導(dǎo)體制造企業(yè)中發(fā)揮了重要作用。某有名芯片制造企業(yè)在引入極測的溫控設(shè)備后，光刻工藝的精度得到了明顯提升。由于溫度控制更加精zhun，芯片上的電路圖案更加清晰、準確，有效減少了因溫度問題導(dǎo)致的圖案偏差和缺陷，產(chǎn)品良率大幅提高?，F(xiàn)已服務(wù)多家芯片半導(dǎo)體前列企業(yè)與國家重點實驗室。 同時極測（南京）具備全場景非標定制能力?？筛鶕?jù)不同客戶的需求根據(jù)溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度，以及抗微振、防磁、隔音等個性化參數(shù)，進行靈活定制。極測（南京）憑借其自主研發(fā)的精密環(huán)控系統(tǒng)，為鍵合設(shè)備提供了超穩(wěn)定的運行環(huán)境，成為突破工藝的關(guān)鍵支撐。刻蝕精密溫控室

極測（南京）致力于為全球高精密需求用戶打造超精密穩(wěn)定的研發(fā)與生產(chǎn)環(huán)境，專注于研發(fā)、生產(chǎn)和銷售高端定制化精密環(huán)控系統(tǒng)，目前已擁有結(jié)合全場景非標定制能力，滿足用戶不同溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度，氣壓穩(wěn)定性、抗微振、防磁、隔音等個性化需求。科學技術(shù)成果認定為國際先進水平。服務(wù)行業(yè)覆蓋：半導(dǎo)體芯片、精密光學、精密測量、新能源、航空航天、通信技術(shù)等行業(yè)。極測在新技術(shù)浪潮中奮力向前，攀登環(huán)境控制新高度！為用戶提供精zhun、穩(wěn)定、可靠的高精密環(huán)境！廣東毫K級精密溫控現(xiàn)已服務(wù)多家全球半導(dǎo)體、通信設(shè)備、顯示面板企業(yè)與國家重點實驗室。

極測（南京）專注精密環(huán)境控制解決方案，現(xiàn)已服務(wù)多家全球半導(dǎo)體、通信設(shè)備、顯示面板企業(yè)與國家重點實驗室，應(yīng)用于眾多科研與生產(chǎn)場景。目前，高精密環(huán)境控制設(shè)備已實現(xiàn)蕞高溫控精度±0.002℃，潔凈度十級以上。擁有結(jié)合全場景非標定制能力，可滿足用戶不同環(huán)境參數(shù)及使用需求，比如溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度，抗微振、防磁、隔音等，持續(xù)領(lǐng)跑超高精密環(huán)控技術(shù)革新。當前半導(dǎo)體行業(yè)處于快速發(fā)展與技術(shù)迭代的關(guān)鍵期，本土供應(yīng)鏈的完善與升級至關(guān)重要。極測（南京）技術(shù)此次業(yè)績表現(xiàn)，不僅標志著公司在市場拓展與業(yè)務(wù)運營上實現(xiàn)突破，展現(xiàn)出強勁的增長態(tài)勢，更體現(xiàn)了其在半導(dǎo)體精密環(huán)控領(lǐng)域的核心競爭力持續(xù)提升，為后續(xù)發(fā)展奠定了堅實基礎(chǔ)。

極測（南京）技術(shù)有限公司的精密水冷冷凍水機組憑借毫 K 級控溫精度（±0.001℃）、快速響應(yīng)能力及高穩(wěn)定性設(shè)計，成為半導(dǎo)體制造中蝕刻與沉積設(shè)備、晶圓制造、芯片測試等關(guān)鍵環(huán)節(jié)的標配溫控設(shè)備。本文結(jié)合半導(dǎo)體工藝對溫度的嚴苛需求，解析該機組如何通過專li技術(shù)實現(xiàn)全流程溫度精zhun控制，助力提升芯片良率與生產(chǎn)效率，為半導(dǎo)體行業(yè)用戶提供溫控設(shè)備選型與應(yīng)用參考。
在半導(dǎo)體制造向 3nm 甚至更小制程突破的today，精密水冷冷凍水機組已從 “輔助設(shè)備” 升級為 “關(guān)鍵工藝設(shè)備”。極測（南京）技術(shù)有限公司的產(chǎn)品憑借毫 K 級控溫、全流程適配及高可靠性，正在助力國內(nèi)晶圓廠、封測廠及研發(fā)機構(gòu)攻克溫度敏感型工藝難題。對于半導(dǎo)體行業(yè)而言，選擇一款能夠精zhun匹配蝕刻、沉積、晶圓生長、芯片測試等全場景需求的溫控設(shè)備，不僅是提升良率的關(guān)鍵，更是在全球半導(dǎo)體競爭中構(gòu)建技術(shù)壁壘的重要一環(huán)。
數(shù)據(jù)全流程可溯：實時記錄并圖形化顯示溫度、濕度等關(guān)鍵環(huán)境參數(shù)變化曲線，數(shù)據(jù)自動存儲并支持表格導(dǎo)出。

在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中，溫度波動是導(dǎo)致芯片缺陷的關(guān)鍵因素之一：

蝕刻與沉積環(huán)節(jié)：極紫外（EUV）光刻、等離子蝕刻等工藝需將溫度波動控制在±0.01℃以內(nèi)，若溫度漂移超過閾值，可能導(dǎo)致刻蝕深度不均、薄膜應(yīng)力開裂等問題；

晶圓生長與加工：硅單晶生長過程中，溫度梯度變化會引起晶格缺陷，影響晶圓電學性能；

芯片測試環(huán)節(jié)：環(huán)境溫度波動可能導(dǎo)致測試儀器誤差增大，造成芯片分選誤判。極測精密水冷冷凍水機組以±0.001℃控溫精度（遠超行業(yè)標準）及動態(tài)負載適應(yīng)能力，精zhun解決上述痛點，成為半導(dǎo)體工藝的“溫度守護者”。 潔凈室內(nèi)需配置無塵空氣過濾與流通系統(tǒng)，保證氣流分布合理，無死角，使?jié)崈艨諝獬浞值竭_每個角落。青海精密溫控室

通過整體環(huán)境溫度的精密調(diào)控，以及針對局部發(fā)熱點進行局部氣浴，配套控制潔凈度及減振處理等。刻蝕精密溫控室

打造高“溫度精度”，避免熱致誤差溫度是影響測量精度的首要因素。極測精密環(huán)控柜采用自主研發(fā)的高精度制冷/加熱控制系統(tǒng)，能夠?qū)崿F(xiàn)高溫度精度和穩(wěn)定性。蕞高將內(nèi)部環(huán)境溫度波動控制在極小的范圍內(nèi)（±2mK），確保每一次測量數(shù)據(jù)的重復(fù)性與可靠性。超凈空間，避免微粒污染除了溫控精度，潔凈度同樣至關(guān)重要。懸浮微粒一旦沉積在晶圓或設(shè)備光學鏡頭上，將造成缺陷或信號干擾。極測環(huán)控柜內(nèi)部可維持蕞高ISO1級的超高潔凈環(huán)境，有效隔絕灰塵、顆粒物等污染物，為半導(dǎo)體量測設(shè)備提供干凈的環(huán)境，保護昂貴的光學組件和敏感樣品。智能集成，一站式環(huán)境配套我們的解決方案集成了精密溫控、潔凈控制、濕度控制（蕞高±0.3%RH）、及抗微振功能的綜合環(huán)境配套系統(tǒng)。支持根據(jù)您設(shè)備的特定型號和工藝要求進行非標定制，匹配不同半導(dǎo)體量測設(shè)備的精密需求。設(shè)備智能管理系統(tǒng)提供7x24小時實時數(shù)據(jù)監(jiān)控與記錄，所有環(huán)境參數(shù)一目了然，數(shù)據(jù)可追溯，為質(zhì)量分析和故障排查提供堅實依據(jù)?？涛g精密溫控室