合理的箱體結(jié)構(gòu)有助于提升精密環(huán)控設備溫濕度的均勻性和控制效果，例如雙層保溫結(jié)構(gòu)、優(yōu)化風道設計等，能增強精密環(huán)控設備的保溫性能和控制精度。精密環(huán)控設備的外殼和內(nèi)部材質(zhì)應具備良好的耐磨性，部分還需要優(yōu)良的保溫性能，以延長精密環(huán)控設備的使用壽命。極測的精密環(huán)控柜采用合理的柜體結(jié)構(gòu)設計，主柜體為內(nèi)部精密組件提供穩(wěn)固物理空間，同時采用可拆卸鋁合金框架，方便大型設備在不同科研場所進行現(xiàn)場組裝，其箱體采用的高質(zhì)量鈑金材質(zhì)堅固耐用。  控溫精度：提供業(yè)界前列的 ±0.002℃高精密溫度控制能力，溫度水平均勻性嚴格控制在 <16mK/m 范圍內(nèi)。安徽半導體精密溫控

在實際應用中，極測的溫控設備已經(jīng)在眾多半導體制造企業(yè)中發(fā)揮了重要作用。某有名芯片制造企業(yè)在引入極測的溫控設備后，光刻工藝的精度得到了明顯提升。由于溫度控制更加精zhun，芯片上的電路圖案更加清晰、準確，有效減少了因溫度問題導致的圖案偏差和缺陷，產(chǎn)品良率大幅提高。現(xiàn)已服務多家芯片半導體前列企業(yè)與國家重點實驗室。 同時極測（南京）具備全場景非標定制能力。可根據(jù)不同客戶的需求根據(jù)溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度，以及抗微振、防磁、隔音等個性化參數(shù)，進行靈活定制。極測精密溫控方案極測（南京）技術(shù)有限公司，作為成熟的高精密環(huán)境控制設備制造商，專注于高精密事業(yè)創(chuàng)新與發(fā)展。

在半導體制造領(lǐng)域，每一納米的變化都可能直接影響芯片的性能與良率。作為高精度檢測的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，半導體量測設備（如電子顯微鏡、膜厚測量儀、OCD量測等）自身對運行環(huán)境的要求也極為苛刻。環(huán)境的細微波動，都會引入測量誤差。 除整體環(huán)境外，半導體量測設備通常配備高精度光學成像器件（廣義上的“照相機”），其中光源，電子控制單元，運動部件等都有可能產(chǎn)生局部發(fā)熱源，蕞終影響環(huán)境的穩(wěn)定性，以及晶圓表面溫度穩(wěn)定性。極測（南京）技術(shù)有限公司深刻理解這一需求，憑借在微環(huán)境控制領(lǐng)域的深厚技術(shù)積累，專為高duan半導體量測設備設計精密環(huán)控系統(tǒng)，做好設備配套。系統(tǒng)由設備主柜體（設備維護結(jié)構(gòu)模塊）、潔凈過濾系統(tǒng)、局部氣浴、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、制冷(熱)系統(tǒng)等組成。通過整體環(huán)境溫度的精密調(diào)控，以及針對局部發(fā)熱點進行局部氣浴，配套控制潔凈度及減振處理等，為半導體檢測設備打造精密穩(wěn)定，恒溫潔凈的運行環(huán)境。

這款高精密環(huán)控柜是我司單獨研發(fā)的精密環(huán)境控制設備，可達成ISOClass1-6級潔凈度，以及±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等多級溫度波動控制精度。依托全場景非標定制能力，能滿足用戶在溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度、抗微振、防磁、隔音等多方面的個性化需求。設備具備運行數(shù)據(jù)實時記錄與查詢功能，并配備自動安全防護系統(tǒng)，確保長期穩(wěn)定運行。其構(gòu)成包括主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過濾器、制冷（熱）系統(tǒng)、照明系統(tǒng)及局部氣浴等，專為光刻機、激光干涉儀等精密測量與制造設備，提供超高精度的溫濕度及潔凈度工作環(huán)境。該系統(tǒng)采用“外環(huán)境保障相對濕度、大環(huán)境穩(wěn)定絕dui含濕量”的邏輯，通過精zhun控溫實現(xiàn)倉內(nèi)濕度達標。為滿足嚴苛要求，采用大風量小溫差設計，快速循環(huán)過濾空氣并帶走余熱，使關(guān)鍵區(qū)域溫度波動低至±0.002℃；同時通過多級控溫（表冷盤降溫+多級電加熱升溫），將精度從±0.1℃逐步提升至±0.002℃。一般來說，溫度要求在20~25℃之間，但某些精密的光學儀器可能要求更嚴格的溫度穩(wěn)定性要求，比如±0.005℃。

半導體制造：光刻工藝的“守護神”在芯片光刻環(huán)節(jié)，溫度波動Jin0.1℃就足以導致光學元件熱變形，造成曝光位置漂移。極測精密溫控設備提供的±0.002℃恒溫環(huán)境，使光刻機光學系統(tǒng)保持穩(wěn)定，直接提升芯片良品率。在蝕刻工藝中，溫濕度波動可能引發(fā)刻蝕過度或不足。精密溫控設備提供的穩(wěn)定環(huán)境保障了刻蝕速率的均勻性，確保芯片電路完整性。航空航天：微米級精度的幕后功臣航空發(fā)動機渦輪葉片加工中，0.05℃的溫度波動可能導致機床熱變形，使葉片加工精度不達標。極測精密溫控設備維持的恒溫環(huán)境，保障了葉片曲面精度和表面質(zhì)量。在航空航天材料測試環(huán)節(jié)，設備將濕度波動精確控制在±2%RH內(nèi)，滿足極端嚴苛的測試要求。光學儀器：純凈與穩(wěn)定的雙重保障在光學鏡片研磨中，溫度波動會導致研磨盤與鏡片材料熱膨脹系數(shù)差異，影響鏡片曲率精度。恒溫環(huán)境確保研磨精度穩(wěn)定。同時，潔凈環(huán)境防止鏡片表面污染，避免后續(xù)鍍膜工序產(chǎn)生缺陷。新能源電池：水分與溫度的雙重管控在電極涂布工藝中，濕度變化會影響漿料水分含量，導致涂布不均勻。極測精密溫控設備提供的±0.5%RH濕度穩(wěn)定性，確保電極涂布一致性。在電池組裝環(huán)節(jié)，恒溫環(huán)境避免了不同材料熱脹冷縮差異導致的密封不良問題。極測（南京）冷水機組冷凍水的出水溫度蕞高精度可達±0.002℃，配置過載保護、液位監(jiān)測、漏液檢測等功能。上海毫K級精密溫控

潔凈室內(nèi)需配置無塵空氣過濾與流通系統(tǒng)，保證氣流分布合理，無死角，使?jié)崈艨諝獬浞值竭_每個角落。安徽半導體精密溫控

光刻機是半導體制造中的關(guān)鍵設備，其功能是通過光學投影方式，將掩模版上的集成電路圖形精確轉(zhuǎn)移到涂有光刻膠的晶圓表面，實現(xiàn)電路圖形的圖形化轉(zhuǎn)移工序。在芯片制造流程中，光刻環(huán)節(jié)是蕞為復雜且成本高昂的工藝步驟，其成本占晶圓制造總成本的三分之一，耗時占比達到 40%-60%，直接決定了芯片的制程精度與生產(chǎn)良率。其關(guān)鍵原理是利用高能激光作為光源，光束穿透掩模版后，經(jīng)過聚光鏡系統(tǒng)進行 1/16 比例的縮小，隨后精zhun聚焦于晶圓表面，使光刻膠發(fā)生感光反應，從而完成電路圖形的高精度復制。相當于在頭發(fā)絲上刻出一座城市的地圖，其復雜程度和技術(shù)挑戰(zhàn)可想而知，也對運行使用環(huán)境有極高的要求。安徽半導體精密溫控