技術實現要素：本發明提供了一種閃存htol測試方法，以解決閃存htol測試中讀點失效的問題。本發明提供的閃存htol測試方法，包括：提供待測閃存，所述閃存包括閃存參考單元和閃存陣列單元；所述閃存參考單元中捕獲有空穴；對所述閃存參考單元循環進行編譯和擦除，以在所述閃存參考單元中引入電子；對所述閃存進行htol測試，所述引入電子在所述htol測試過程中部分丟失，以對htol測試過程中所述空穴的丟失形成補償。進一步的，所述閃存參考單元包括襯底、位于所述襯底中的導電溝道、位于所述導電溝道兩側的源極和漏極，位于所述導電溝道上方的柵極單元，所述柵極單元從下到上依次包括隧穿氧化層、浮柵、柵間介質層以及控制柵，所述柵極單元的兩側分布有側墻。 上海頂策科技有限公司智能一體化HTOL測試機TH801全程數據記錄，讓HTOL問題更容易分析，更有追溯性。HTOL測試機多少錢

第二時間點讀點、第三時間點讀點至第n時間點讀點。在每個時間點讀點過程為：將閃存參考單元的輸出電流iref與閃存陣列單元的輸出電流i的差值經由讀出放大器進行比對判斷，若iref＜i，則閃存讀出“1”；若iref＞i，則閃存讀出“0”。具體的，在閃存(例如norflash)產品htol可靠性驗證的階段的測試流程例如依次為：初始(***時間點)讀點、48小時(第二時間點)讀點、168小時(第三時間點)讀點、500小時(第四時間點)讀點、1000小時(第n時間點)讀點。本發明實施例的閃存參考單元未經過編譯和擦除循環而直接進行htol測試時，發現閃存htol可靠性驗證在48小時(hrs)讀點失效。在線HTOL測試機設計上海頂策科技有限公司提供芯片可靠性測試一條龍解決方案。

    AEC-Q1001.對于非易失性存儲器樣品，在HTOL之前進行預處理：等級0：150℃，1000h等級1：125℃，1000h等級2：105℃，1000h等級3：85℃，1000h2.各等級溫度對應的時間是比較低要求，通過計算或測量獲取HTOL的Tj（結溫）；3.當進行HTOL的器件Tj大于或等于最高工作溫度時的Tj，那么Tj可以代替Ta（環境溫度），但是要低于***比較大Tj；4.如果Tj被用來作為HTOL的條件，在Ta和1000h條件下的器件需要使用；(max)需要保證交直流參數。————————————————版權聲明：本文為CSDN博主「月丶匈」的原創文章，遵循，轉載請附上原文出處鏈接及本聲明。原文鏈接：。

包括：將所述源極101和漏極102均懸空，在所述控制柵106上施加***擦除電壓vc1，在所述襯底100上施加第二擦除電壓vc2；其中，所述***擦除電壓vc1為負電壓，所述第二擦除電壓vc2為正電壓。所述***擦除電壓vc1的范圍為-10v～-8v，本實施例中例如為-9v；所述第二擦除電壓vc2的范圍為8v～10v，本實施例中例如為9v；擦除過程中的脈沖寬度為10ms～20ms。本實施例中，閃存參考單元的擦除原理是基于fowler-nordheim隧穿(簡稱為fn隧穿)，通過在襯底100上施加正電壓，在控制柵106上施加負電壓，以在隧穿氧化層103中注入空穴，同時減少浮柵104中的電子。上海頂策科技有限公司自主研發智能一體化HTOL測試機TH801實時監測并記錄環境溫度。

    4.失效判據標準失效判據備注JESD22-A108F-2017如果器件不符合采購文件要求，則認為失效。：1.四種標準的失效判據都根據相應的標準執行。————————————————版權聲明：本文為CSDN博主「月丶匈」的原創文章，遵循，轉載請附上原文出處鏈接及本聲明。原文鏈接：。4.失效判據標準失效判據備注JESD22-A108F-2017如果器件不符合采購文件要求，則認為失效。：1.四種標準的失效判據都根據相應的標準執行。————————————————版權聲明：本文為CSDN博主「月丶匈」的原創文章，遵循，轉載請附上原文出處鏈接及本聲明。原文鏈接：。 TH801智能老化系統，方便靈活配置芯片狀態、施加信號，提高HTOLdebug及Setup效率。HTOL測試機多少錢

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